スピンコーター

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スピンコーターならActive(アクティブ)

コンパクトな卓上サイズでありながら非常に高い回転制度を持ち、10ステップ×100レシピのプログラムが組めるアクティブのスピンコーターはきっとご満足いただける1台になることと思います。

標準機で満たせないご要望は特注機として組み込んでいくことができます。お客様にとって必要十分なスピンコーターをご提供できること、それが長年スピンコートに携わってきたアクティブの強みです。

ACT-220DⅡ

スピンコーターの種類をお選びください

スピンコーター標準機
スピンコーター標準機
基板サイズ
Φ5mm~Φ500(□360mm)対応
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スピンコーター特注機
スピンコーター特注機

自動滴下、製造インライン装置、

ユーザー特別仕様も可能です。

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スピン洗浄機・乾燥機
スピン洗浄機・乾燥機

シリコンウエハ、液晶ガラス基板、

LCDパネルの次世代洗浄システム

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※該当するスピンコーターのページ、およびスピンコーター特注機製作事例のページに飛びます。
※塗布液(コーディング液)に関しては下記対応しております。

 

ワックス/レジスト/プライマー/ハードコート/曇り止めコート/有機溶媒/酸系/アルカリ系等

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1位  ACT-220AⅡ
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2位  ACT-300AⅡ

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(Φ150/□110mm基板)対応

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3位 S-1:自動滴下スピンコーター

Φ6インチウェハ対応
(Φ150/□110mm基板)対応

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スピンコーターとは

スピンコーターとは

 

 

 

スピンコーターは高速回転の遠心力を使い、平面な基材に塗膜を構成させる装置です。

高品質の塗膜を能率よく生成する手段として、半導体工場で使われるほか、金属類・レンズ等のコーティング、洗浄・乾燥のためにご利用いただいております。



<スピンコーターの選び方>

まずは基板の最大サイズで機種を選定します。

スピンコートしたい基板がフィルム上で薄い、厚みがある、基板材質が軽く浮きやすいものである、粘度の高い液体をスピンコートしたい、など求められる条件はお客様により様々です。求める性能、基板の材質・形状や、滴下する薬液によって適切なオプションも異なります。お気軽にご相談下さい。

また、実機購入を悩んでいるお客様の為にデモ機の貸し出しサンプルテストのご依頼も承っておりますので是非ご利用ください。

アクティブのスピンコーター

 

スピンコート製品例

 

 

スピンコート製品例

 

<受注実績>

 

 総数 1770
 国内 1710
 輸出     60


輸出国:

中国、台湾、タイ、ドイツ、スリランカ、エジプト、韓国 

 

日本全国対応します!!
当社は埼玉にありますが、東京や神奈川などの関東圏はもちろん大阪や愛知、京都、兵庫等ご要望に合わせて駆けつけます!

 

 

<アクティブのスピンコーターの強み>
 
アクティブのスピンコーターはお客様の課題に合わせてサイズが選べ、様々なカスタマイズが可能です。

機器を設置する場所がなかったり、ご予算が限られていたり、お悩みは千差万別です。そんな時、アクティブの小型卓上スピンコーターなら必ずお役に立てます。

卓上サイズであっても、お客様のご要望に合わせ、10ステップ・100パターンと多彩な試験設定が可能です。細かく設定することにより、意図する動作環境を作り出すことができます。

スピンコーター本体の操作画面には、リアルタイムで回転数やバキューム圧力が表示され、状況を把握しやすいのも特徴です。

また、ご用途に合う試料台を使用することで能率も上がり求める塗膜を得やすくなる為、試料台は受注製作としております。

まずは課題やご要望をお聞かせください。
ヒアリングを元に、お客様にあったスピンコーターをご提案させていただきます。

スピンコーター新着情報

■2019/08/05
【スピンコーターテンキー色変更のお知らせ】
スピンコーターのテンキーの色を白から黄色に順次変更しております。新しいテンキーの色はACT-220AⅡの写真にてご確認ください。

■2019/05/16
【スピンコーター検索機能充実化のお知らせ】
サイズ別に検索できるようになりました。詳しくはスピンコータートップページを御覧ください。

■2018/06/01
【スピンコーターの製品一部リニューアルのお知らせ】
スピンコーター製品の商品が一部変更となりました。 旧製品に関して、2023年までサポートは続けてまいります。 詳しくはお問い合わせ下さい。 048-687-7470

How to スピンコーター

スピンコーターの構造  

スピンコーターの構造

スピンコーターの構造・部品の解説と、カップ内径・基板のサイズについて解説いたします。

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スピンコーターの設定について  

スピンコーターの設定について

アクティブのスピンコーターは、使用目的に合わせて、「回転数」「加減速」「キープ時間」を多彩に設定することが可能です。

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スピンコート操作画面  

操作画面

アクティブのスピンコーターは、多彩なプログラムと操作がパネルで一覧。確認しながら操作できます。

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スピンコート試料台物性表・資料耐薬データ  

試料台物性表・資料耐薬データ

スピンコーターの試料台物性表、および試料台耐薬データを紹介します。

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スピンコーターコラム

スピンコーターの膜圧  

スピンコーターの膜厚とは

膜厚(膜の厚さ)を一定にするためには技術が必要ですが、スピンコーターを使用することで高品質の塗膜を効率よく均一に生成することができます。

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小型・卓上スピンコーターのメリットとは?  

小型・卓上スピンコーターのメリットとは?

小型や卓上サイズのスピンコーターは、小さくても頼れる存在であるため、購入をご検討されている企業様は非常に多いです。

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スピンコーターの熱問題。どう解決する?  

スピンコーターの熱問題。どう解決する?

スピンコーターは、効率良く塗膜を生成する機器です。均一の塗膜生成には薬液の粘度や温度などの条件が関係していて、条件が変わると膜の厚さを均一にすることができなくなります。

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スピンコーターを低価格で買うと・・・?  

スピンコーターを低価格で買うと・・・?

低価格のスピンコーターを購入した場合、考えられるデメリットとしては様々なことが挙げられます。

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