スピンコーター

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半導体製造工程でのウエハーへのレジスト塗布に欠かせないスピンコーティング技術。
アクティブのスピンコーターACTシリーズは仕様選択が可能ですので、多種多様なニーズに応えます。

ACT-220DⅡ

スピンコーターの種類をお選びください

スピンコーター標準機
スピンコーター標準機
基板サイズ
Φ5mm~Φ500(□400mm)対応
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スピンコーター特注機
スピンコーター特注機

自動滴下、製造インライン装置、

ユーザー特別仕様も可能です。

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スピン洗浄機・乾燥機
スピン洗浄機・乾燥機

シリコンウエハ、液晶ガラス基板、

LCDパネルの次世代洗浄システム

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スピンコーターとは

スピンコーターとは   高速回転の遠心力を使って、平面な基材に塗膜を構成させる装置がスピンコーターです。
高品質の塗膜を能率よく生成する手段として、半導体工場や、金属類・レンズ等のコーティングや洗浄・乾燥のためにご利用いただいております。

<スピンコーターの選び方>
基板の最大サイズで機種選定が決まります。 基板の材質(軽くて浮いてしまう)や、滴下する薬液の粘度が高いなどにはカスタマイズが必要となるかの判断が要りますので、事前にご相談いただくか、デモ機の貸し出し、サンプルテストのご依頼なども承っております。

アクティブのスピンコーター

 

 

 

 

 

 

 

 

 <受注実績>


 総数 1770
 国内 1710
 輸出 60
 輸出国:中国、台湾、タイ、ドイツ、スリランカ、エジプト、韓国 

日本全国対応します!!
当社は埼玉にありますが、東京や神奈川などの関東圏はもちろん大阪や愛知、京都、兵庫等ご要望に合わせて駆けつけます!

 

<アクティブのスピンコーターの強み>
 
アクティブのスピンコーターはお客様の課題に合わせて、様々なカスタマイズが可能です。

各企業様によって、機器を設置する場所がなかったり、ご予算が限られていたり、お悩みは千差万別です。

そんな時、アクティブのスピンコーターなら必ずお役に立てます。
例えば、お客様のご要望に合わせ、10ステップ・100パターンの多彩な試験設定が可能です。
細かく設定することにより、意図する動作環境を作り出すことができます。

スピンコーター本体の操作画面では、リアルタイムで回転数やバキューム圧力を表示させることが可能となり、容易且つ多彩なプログラム設定が可能です。

試料台に関しても、様々な性質をご用意しておりますので、用途によってこちらもカスタマイズが可能です。
デモ機の貸し出し、サンプルテストのご依頼なども承っております。
まずは課題やご要望をお聞かせください。
ヒアリングを元に、各企業様にあったスピンコーターをご提案させていただきます。

How to スピンコーター

スピンコーターの構造  

スピンコーターの構造

スピンコーターの構造・部品の解説と、カップ内径・基板のサイズについて解説いたします。

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スピンコーターの設定について  

スピンコーターの設定について

アクティブのスピンコーターは、使用目的に合わせて、「回転数」「加減速」「キープ時間」を多彩に設定することが可能です。

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操作画面  

操作画面

アクティブのスピンコーターは、多彩なプログラムと操作がパネルで一覧。確認しながら操作できます。

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試料台物性表・資料耐薬データ  

試料台物性表・資料耐薬データ

スピンコーターの試料台物性表、および試料台耐薬データを紹介します。

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