必要にあわせたカスタマイズが可能なスピンコーター特注機
アクティブのスピンコーターACTシリーズは標準機も7サイズご用意し、オプションにて仕様選択も可能で多種多様なニーズに応えます。多段式で10ステップ・100パターン プログラムメモリを標準で搭載し、ご購入時にご指定いただくことで50ステップ・20パターンに変更も可能です。様々な薬液(溶液)を用いた開発や評価にも対応できます。

半導体製造工程でのウエハーへのレジスト塗布に欠かせないスピンコーティング技術ですが、標準機だけでは対応しきれない要望もあることと思います。そんな時は是非ご相談ください。自動滴下、エッジリンス、バックリンス、簡易防爆仕様、電装BOX分離式、自動ロボット搬送対応など標準機にない機能も特注機として承っております。
特注機のメリット
アクティブのスピンコーター特注機は、お客様の目的や要望を元に必要な各種ユニットを組み合わせて造り上げます。小規模な簡易スピンコート目的の装置から、大型基盤を用いた大掛かりな装置まで今までに何台も製作してまいりました。

ユーザー仕様のスピンコーターになる為、用途に合わせて使いやすく、かつ無駄のないスピンコーターをご提供可能です。
アクティブが特注機に強い理由
アクティブに多く寄せられるスピンコーター特注機の特徴として、例えば下記が挙げられます。

・薬液の自動滴下
・液垂れ防止
・エッジリンス、バックリンス対応

これらは卓上機で実装している事が少ないため、アクティブ独自の強みでもあります。
プロセスに関してのノウハウも提供可能です。

また、自動搬送ロボットにも対応しています。基板を自動で指定の箇所へ搬送させる技術です。
お客様が用意されている自動搬送ロボットとドッキングさせ使用して頂くことも可能です。

その他、お客様のご希望の仕様に合わせてコアユニットを組み合わせていくことが可能です。
長年スピンコート技術を提供してきたアクティブだからこそアドバイスできる点や、ノウハウもございます。
ご要望やご不明点などお伺いいたしますので、お気軽にお申し付けください。
特殊仕様 製品動画
※他のスピンコーター動画もアクティブのYouTubeでご覧いただけます※
特殊仕様 製作事例
S-1:自動滴下スピンコーター
自動滴下スピンコーター
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  • 瞬間スピンコーティング
  • 角基板の膜圧高精度対応
  • 自動滴下ユニット
  • カップ外周排気
自動スイングアーム付きスピンコーター
マイクロシリンジポンプ 精密滴下装置
基板サイズ
φ5~φ100 (Max.φ6インチ、□110mm)基板対応
AC100V Max.5000rpm
SIZE
620w×560d×900h (ACT-300AⅡS)
受注後納期
45日間
S-2:枚葉式リンサードライヤー
枚葉式リンサードライヤー
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  • HEPAチャンバーユニット
  • 純水滴下ユニット
自動スイングアーム式滴下ユニット
超純水による洗浄→クリーンN2ブローによる乾燥
基板サイズ
Φ4インチ基板
AC100V Max.5000rpm
SIZE
650W×550D×690H (ACT-300AⅡDry)
受注後納期
60日間
S-3:自動滴下ユニット付属型
スピン洗浄機(乾燥機)
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  • 自動滴下ユニット
  • 簡易センタリング治具
  • カップ外周排気機能
自動スイングアーム式滴下ユニット バックリンス付
(左:薬液50ccシリンジ方式  右:エッチリンス加圧タンク方式)
基板サイズ
Φ2~6インチ基板
AC100V Max.5000rpm
SIZE
740W×775D×715H (ACT-300AⅡS)
受注後納期
50日間
S-4:自動滴下ユニット+HEPAユニット付属型
自動滴下ユニット付属型
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  • HEPAユニット
  • 自動滴下ユニット
自動スイングアーム式滴下ユニット 加圧タンク供給
HEPAユニット付 クリーンブル内での自動滴下によるスピンコーティング
基板サイズ
Φ5~10mmガラス基板
AC100V Max.3000rpm
SIZE
500W×670D×890H (ACT-400AⅡS)
受注後納期
45日間
S-5:エッジリンス装置
エッジリンス装置
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  • エッジリンス装置
  • 自動滴下ユニット
  • バックリンス付
自動スイングアーム式滴下 バックリンス付
(左:薬液滴下 加圧タンク方式  右:エッチリンス 加圧タンク方式)
基板サイズ
MaxΦ200mm基板
三相200V Max.3000rpm
SIZE
970W×650D×520H (ACT-500AⅡS)
受注後納期
60日間
S-6:手動滴下ユニット付属型
手動滴下ユニット付属型
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  • 手動滴下ユニット
手動スイングアーム式滴下ユニット (50ccシリンジ方式)
シリンジに薬液を必要量入れ滴下させることが可能で実験に最適
基板サイズ
MaxΦ150mm基板
AC100V Max.6000rpm
SIZE
470W×460D×470H (ACT-300AⅡS)
受注後納期
30日間
S-7:UV樹脂コーティング
UV樹脂コーティング
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  • UV硬化樹脂コーティング
UV硬化樹脂のコーティング(UVランプを上部に設置することで可能)
本体カバー上部に石英板取付
基板サイズ
Max.Φ8インチ及び□150mm基板
AC100V Max.5000rpm
SIZE
530W×640D×550H (ACT-400AS)
受注後納期
40日間
S-8:自動滴下ユニット増設機
自動滴下ユニット増設機
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  • 自動滴下ユニット
ACT-300AⅡに自動スイングアーム式滴下ユニットを増設
基板サイズ
MaxΦ150mm基板
AC100V Max.5000rpm
SIZE
スピンコーター本体350W×450D×335H
増設部180W×450D×500H (ACT-300AⅡS)
受注後納期
40日間
S-9:手動滴下ユニット エッチリンス装置
手動滴下ユニット エッチリンス装置
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  • 手動滴下ユニット
  • バックリンス付
手動スイングアーム式滴下ユニット
(左:薬液 50ccシリンジ方式 右:エッチリンス 加圧タンク方式)
手動スイング式バックリンスノズル付
基板サイズ
MaxΦ150mm基板
AC100V Max.5000rpm
SIZE
745W×575D×765H (ACT-300AⅡS)
受注後納期
45日間
S-10:乾燥機コントローラ付属
乾燥機コントローラ付属
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  • 自動滴下ユニット
  • ブロー乾燥
自動スイングアーム式滴下ユニット
(左:薬液Aノズル 加圧タンク方式+乾燥ブローノズル 右:薬液Bノズル 加圧タンク方式)
ホットエアーによるブロー乾燥
外部出力インターフェイス対応
基板サイズ
Φ3インチウエハー基板
AC100V Max.6000rpm
SIZE
995W×600D×460H (ACT-300AⅡS)
受注後納期
60日間
S-11:UVランプユニット搭載機
UVランプユニット搭載機
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  • UVランプユニット
UV硬化樹脂対応
手動上下機構及び手動シャッター付きUVランプユニット
基板サイズ
Max.□110×110×2t(mm)ガラス基板
三相200V Max.9985rpm
SIZE
890W×675D×690H (ACT-300AⅡS)
受注後納期
50日間
S-12:有機ELパネル基板作製用スピンコーター
有機ELパネル基板作製用スピンコーター
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  • 自動滴下ユニット
自動スイングアーム式滴下 50ccSUS製シリンジ×4本搭載
基板サイズ
Max.Φ150mm、□110mmウエハー及びガラス基板
AC100V Max.6000rpm
SIZE
580W×575D×580H (ACT-300AⅡS)
受注後納期
50日間
S-13:自動開閉式フタ 簡易密閉カップ付属型
自動開閉式フタ 簡易密閉カップ付属型
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  • 自動開閉式フタ
  • 簡易密閉カップ
  • 滴下用電動ポンプ
自動スイングアーム式滴下(薬液、エアーブロー 各1系統)
基板サイズ
□5インチ×0.3~2.5t(mm)ガラス基板
AC100V Max.5000rpm
SIZE
600W×750D×700H (ACT-400AⅡS)
受注後納期
60日間
S-14:遠赤外線ヒーター付属電装部分離型
遠赤外線ヒーター付属電装部分離型
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  • 遠赤外線ヒーター
  • 電装部分離型
特徴
ホットプレートにより基板を加熱する機能と耐熱対策を有している装置
基板サイズ
Max.Φ6インチウエハー及び□110×2t(mm)ガラス基板
三相200V Max.8000rpm
SIZE
スピンコーター本体365W×350D×405H
電装部480W×480D×275H (ACT-300DⅡS)
受注後納期
60日間
S-15:シリンジポンプ付属型
シリンジポンプ付属型
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  • 自動滴下ユニット
  • シリンジポンプ
自動スイングアーム式滴下 (薬液1系統)
特徴
シリンジポンプにより一定量の薬液を滴下できる
基板サイズ
Max.□110mmガラス基板
AC100V Max.6000rpm
SIZE
500W×600D×730H (ACT-300AⅡS)
受注後納期
50日間
S-16:メガネレンズ用スピンコーター(自立型)
メガネレンズ用スピンコーター(自立型)
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  • 電動スライダー
  • レーザーセンサー
  • タッチパネル
電動スライダー
(左:プライマー塗布、調光液塗布 右:調光液伸ばし用ヘラ、レンズ端面スクレイパ)
レンズ中心高さ測定レーザーセンサー付
基板サイズ
Φ60~90メガネレンズ
AC100V Max.6000rpm
SIZE
900W×1045D×2000H (ACT-300AⅡS)
受注後納期
75日間
S-17:スプレー滴下+遠赤外線ヒーター付属型(自立型)
スプレー滴下+遠赤外線ヒーター付属型(自立型)
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  • 自動滴下ユニット
  • スプレー滴下ユニット
  • 遠赤外線ヒーター
特徴
自動スイングアーム式滴下
(左:スプレーノズル 右:50ccシリンジ方式)
特徴
薬液滴下→スピンコート→加熱工程により薄膜形成を行う装置
基板サイズ
Max.Φ6インチウエハー基板
スピンコーター本体AC100V Max.5000rpm
遠赤外線ヒーター単相200V
SIZE
750W×845D×1650H (ACT-300AⅡS)
受注後納期
75日間
S-18:カップ回転式装置
カップ回転式装置
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  • 上下動式2重カバー付
  • 廃液カップ着脱機構
特徴
中型基板対応
基板サイズ
□300×400ガラス基板
三相200V Max.2000rpm
SIZE
1400W×1300D×1500H (ACT-900AⅡ)
受注後納期
80日間
S-19:カップ回転式装置(手乗せ蓋付)
カップ回転式装置(手乗せ蓋付)
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  • 22kwモーター搭載
  • 基板セット簡易治具付
特徴
大型基板対応
基板サイズ
□1000×1000×20t 30kg基板
三相200V Max.1000rpm
SIZE
2000W×2000D×1200H (ACT-1800AⅡS)
受注後納期
90日間
S-20:ドラフトチャンバー付装置
ドラフトチャンバー付装置
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  • 廃液、排気は2系統
  • 簡易防爆仕様
特徴
廃液、排気(有機用、耐酸用)各2系統自動切替付
基板サイズ
□400×239×0.5t ガラス基板
三相200V Max.2000rpm
SIZE
1250W×1250D×2000H (ACT-900AS)
受注後納期
90日間