ACT-700AⅡ
高性能・自立型・特注対応
Φ20インチウェハ対応
丸基板ならMAXφ500mm、四角基板ならMAX□360mmまで対応
スピンコーター act700a2
特徴
  • ・高性能で費用対効果が高く、研究~生産用と幅広く適合
  • ・キャスター付で移動も楽な自立型
  • ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
  • ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
  • ・非常停止ボタンを標準装備
  • ・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
  • ・自動搬送ロボットにも対応可能(特注仕様)
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室~大手企業・大学、官公庁
更に大きな基板にも対応可能

<自立型スピンコーターACT-700AⅡ>は標準機としてご紹介している中で最も大型のスピンコーターです。

カップサイズφ500mmを越えてくると装置サイズも大きく重くなります。卓上にのせると作業高さが使いにくくなるのもあり、自立型として製作しております。自立型はアジャスターを縮めることでキャスターが接地するので移動も楽です。

カップサイズφ700mmでスピンコートできる基板サイズはφ500mm(□360mm)になりますが、これ以上の基板サイズに対応するスピンコーターも製作可能です。例えば□1000mm基板をスピンコートする課題にカップサイズφ1800mmのスピンコーターを製作した実績がございます。

是非ご相談下さい。

仕様
基板サイズ
Φ5~Φ500mm (Max.Φ20インチ、□360mm) 基板対応
ワーク(基板)の重量
ワークの重量についてはご相談ください
カップ内径
Φ700mm
外形寸法
W848(ダンパー・排気口含め983)×D962×H扉閉996(扉開1650)mm
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
電源
電源とACサーボモータの出力は基板サイズと重量により別途決定致します
回転制御速度 / 回転精度
0~3000rpm/±2rpm以下 (負荷に応じて要相談)
基板吸着圧力
-70 ~ -80kPa
真空ポンプ排気量 40L/min以上必要
(装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
プログラムステップ数・パターン数
10ステップ・100パターン(プログラムメモリ機能標準)
20ステップ・50パターンに変更可能(ご注文時にご指定ください)
50ステップ・20パターンに変更可能(ご注文時にご指定ください)
表示画面
液晶表示(表示20文字4行)
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力を表示
制御方法
マイコン制御(テンキー入力でプログラム簡単)
本体外装カバー・カップ材質
SUS304 電解研磨(オプションにてテフロンコーティング可)
安全対策
インターロックセンサー付き安全カバー(回転中カバー開で自動回転停止)
基板吸着圧力のインターロック機能付き(未吸着時は回転しない)
非常停止ボタン
重量
約350kg
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
受注後の標準納期
約3ヶ月間(都度ご確認ください)
価格表
製品価格
本体価格
自立型機種
要御見積
梱包・運賃費
車上渡し
別途御見積
オプション価格
基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択:POM、ダイフロン、テフロン、PEEK、アルミ
※アルミはテフロンコーティング選択可
別途御見積
¥65,000~仕様による
真空ポンプ
(基板吸着用)
・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ40S 接続口改造
・排気速度(L/min):40/46(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6 × 3m 透明ウレタン製
¥85,000
レシピスタート ~ 終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない
¥120,000
カップ&インナーカップ内面テフロンコーティング
¥150,000
基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製(デルリン製)
別途御見積
¥60,000~仕様による
How to スピンコーター