ACT-700AⅡ
高性能・自立型・特注対応
Φ20インチウェハ対応
丸基板ならMAXφ500mm、四角基板ならMAX□360mmまで対応
スピンコーター act700a2
スピンコーター標準機
(スピンコート機)
ACT-700AⅡ
特徴
  • ・高性能で費用対効果が高く、研究~生産用と幅広く適合
  • ・キャスター付で移動も楽な自立型
  • ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
  • ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
  • ・非常停止ボタンを標準装備
  • ・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
  • ・自動搬送ロボットにも対応可能(特注仕様)
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室~大手企業・大学、官公庁
更に大きな基板にも対応可能

<自立型スピンコーターACT-700AⅡ>は標準機としてご紹介している中で最も大型のスピンコーターです。

カップサイズφ500mmを越えてくると装置サイズも大きく重くなります。卓上にのせると作業高さが使いにくくなるのもあり、自立型として製作しております。自立型はアジャスターを縮めることでキャスターが接地するので移動も楽です。

カップサイズφ700mmでスピンコートできる基板サイズはφ500mm(□360mm)になりますが、これ以上の基板サイズに対応するスピンコーターも製作可能です。例えば□1000mm基板をスピンコートする課題にカップサイズφ1800mmのスピンコーターを製作した実績がございます。

是非ご相談下さい。

仕様
基板サイズ
Φ5~Φ500mm (Max.Φ20インチ、□360mm) 基板対応
ワーク(基板)の重量
ワークの重量についてはご相談ください
カップ内径
Φ700mm
外形寸法
W848(ダンパー・排気口含め983)×D962×H扉閉996(扉開1650)mm
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
電源
電源とACサーボモータの出力は基板サイズと重量により別途決定致します
回転制御速度 / 回転精度
0~3000rpm/±2rpm以下 (負荷に応じて要相談)
基板吸着圧力
-70 ~ -80kPa
真空ポンプ排気量 40L/min以上必要
(装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
プログラムステップ数・パターン数
10ステップ・100パターン(プログラムメモリ機能標準)
20ステップ・50パターンに変更可能(ご注文時にご指定ください)
50ステップ・20パターンに変更可能(ご注文時にご指定ください)
表示画面
液晶表示(表示20文字4行)
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力を表示
制御方法
マイコン制御(テンキー入力でプログラム簡単)
本体外装カバー・カップ材質
SUS304 電解研磨(オプションにてテフロンコーティング可)
安全対策
インターロックセンサー付き安全カバー(回転中カバー開で自動回転停止)
基板吸着圧力のインターロック機能付き(未吸着時は回転しない)
非常停止ボタン
重量
約350kg
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
受注後の標準納期
約3ヶ月間(都度ご確認ください)
価格表
製品価格
本体価格
自立型機種
要御見積
梱包・運賃費
車上渡し
別途御見積
オプション価格
基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択:POM、PCTFE、PTFE、PEEK、アルミ
※アルミはテフロンコーティング選択可
別途御見積
¥65,000~仕様による
真空ポンプ
(基板吸着用)
・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ40S 接続口改造
・排気速度(L/min):40/46(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6 × 3m 透明ウレタン製
¥85,000
レシピスタート ~ 終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない
¥145,000
カップ&インナーカップ 接液部のテフロンコーティング
¥150,000
基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製(POM+SUS304製)
別途御見積
¥60,000~仕様による
他社との比較
アクティブ
他社
サポート
製造・販売・コンサルまでアクティブ内で一貫サポート
納品後のサポートもメーカーであるアクティブが直接行うのでスムーズで安心
製造・営業・販売・コンサルがそれぞれ別会社や別部署になっているケースがある
使いやすさ
プログラムの組みやすさ、シンプルで見やすい液晶画面、発熱対策・膜圧の均一化(ムラを無くすノウハウ)など
長年の経験と実績で、お客様ごとのニーズに合わせた使いやすさとコストバランスを追求
既製品だと思う仕様にできず、結果的に使いにくさが出ることがある
価格
特注機は同じ仕様であれば他社より安く提供できる場合が多いものの、 シンプルながらも使いやすさを目指した標準機は差別化できるほど安くはない
価格のみを重視して探すなら、アクティブより安い機種はある
スピード
見積もり:2週間以内
納期:1~2ヶ月
※特注機の場合、要望や仕様により上記よりも時間がかかります。
※コロナ禍と半導体盛況の影響により、納期に遅れが出る可能性がございます。
定形の試料台・プログラムを扱う場合は早いこともある
製造・営業・販売が一社で完結していないケースでは時間がかかる
Q&A
  • スピンコーター標準機に求める性能がないのですが?
  • 特注対応もしておりますので一度ご相談ください。

    例えば、自動滴下やエッジリンス、バックリンス、クリーンユニット、排気をとる機能、廃液の回収機能など、 お客様のご希望の仕様に合わせたスピンコーターを製作できます。
  • 購入した商品の不具合や故障には対応してもらえますか?
  • ご対応致します。

    スピンコーター本体の背面に記載しております機種名(MODEL)とシリアル番号(S/No)、 症状をご連絡頂ければ担当者がサポートします。
  • 購入前にアクティブスピンコーターを試したいのですが?
  • 卓上型標準機においては、デモ機として2週間無料レンタルをしております。
    またスピンコートのサンプルテストも行っております。
    ※ご返送時の送料はご負担願います。
    ※試料台は弊社所持の試料台であれば無償ですが、新規製作の場合は有償となります。
  • 思うような成膜ができません。アドバイスはもらえますか?
  • ご対応致します。

    膜厚が均一化されず塗布ムラがある、実験テーマが変わった、基板・薬液を変えたら上手くいかない、などお困りの状況をお知らせいただけましたら、知りうる情報をご提供いたします。
    当社との取引が無い場合でも無料で膜厚相談を承っております。

    各種お問い合わせ窓口

    How to スピンコーター