ACT-400AⅡ
高性能・卓上型・特注対応
Φ8インチウェハ対応
丸基板ならMAXφ200mm、四角基板ならMAX□150mmまで対応
スピンコーター ACT-400AⅡ(~φ200)
特徴
  • ・高性能で費用対効果が高く、研究~生産用と幅広く適合
  • ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
  • ・安全カバーには滴下用穴(スライドフタ付)があり回転中も滴下が可能
  • ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
  • ・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
  • ・自動搬送ロボットにも対応可能(特注仕様)
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室~大手企業・大学、官公庁
仕様
基板サイズ
Φ5~Φ200mm (Max.Φ8インチ、□150mm) 基板対応
ワーク(基板)の重量
300g以下 (ご相談ください)
カップ内径
Φ400mm
外形寸法
W450×D550×H扉閉313(扉開745)mm
電源
1Φ 100V-10A(ACサーボモーター400W)50 / 60Hz
回転制御速度 / 回転精度
0~5000rpm/±1rpm以下 (負荷時)
※基板サイズ等の条件が合えば6000rpmも可能 ご相談ください
基板吸着圧力
-70 ~ -80kPa
真空ポンプ排気量 12L/min以上
(装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
プログラムステップ数・パターン数
10ステップ・100パターン(プログラムメモリ機能標準)
20ステップ・50パターンに変更可能(ご注文時にご指定ください)
50ステップ・20パターンに変更可能(ご注文時にご指定ください)
表示画面
液晶表示(表示20文字4行)
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法
マイコン制御(テンキー入力でプログラム簡単)
本体外装カバー・カップ材質
SUS304 電解研磨(オプションにてテフロンコーティング可)
安全対策
インターロックセンサー付き安全カバー(回転中カバー開で自動回転停止)
基板吸着圧力のインターロック機能付き(未吸着時は回転しない)
重量
約35kg
受注後の標準納期
約40日間(都度ご確認ください)
価格表
製品価格
本体価格
卓上型機種
¥1,500,000
梱包・運賃費
国内一律 / 軒先渡し
¥30,000
オプション価格
基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択:POM、ダイフロン、テフロン、PEEK、アルミ
※アルミはテフロンコーティング選択可
別途御見積
¥65,000~仕様による
真空ポンプ
(基板吸着用)
・小型ダイアフラム式ドライ真空ポンプ12S 接続口改造
・排気速度(L/min):12/14(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥40,000
レシピスタート ~ 終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない
¥120,000
カップ&インナーカップ内面テフロンコーティング
¥60,000
基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製(デルリン製)
別途御見積
¥60,000~仕様による
How to スピンコーター