スピンコーター性能・価格・オプション比較表アクティブスピンコーター各機種の基本性能と価格、オプションをまとめています。 詳細は各機種のページでご確認ください。 〇スピンコーター標準機 〇スピンコーター高精度・高速回転仕様 スピンコーターは本体だけでは使用できません。オプションの試料台と真空ポンプ（基板吸着用）は必ず必要になります。 ※真空吸着によらない基板固定方法の場合は真空ポンプは不要です。スピンコーター標準機・オプション価格表（価格単位：円） 標準機 ACT-220AⅡ ACT-300AⅡ ACT-400AⅡ ACT-450AⅡ ACT-500AⅡ ACT-600AⅡ ACT-700AⅡ 本体価格 700,000円 800,000円 1,500,000円 見積(ワーク重量等ご要望により仕様が変動する為、下記は目安です) 2,500,000円～ 3,000,000円～ 3,500,000円～ 5,000,000円～ 対応基板MAXサイズ(mm) φ100 φ150 φ200 φ250 φ300 φ400 φ500 □70 □110 □150 □180 □220 □300 □360 回転数(rpm)～MAX 0～7000 0～6000 0～5000条件により6000も可 0～5000負荷により要相談 0～3000負荷により要相談 回転制御 ±1rpm ±2rpm 納期 25日間 40日間 3ヶ月間 梱包運賃（国内） 10,000円（軒先渡し） 見積（軒先渡し・車上渡し） 見積（車上渡し） 試料台 65,000円～（材質・サイズ・仕様によって変わります） 真空ポンプ 12S排気量12L/min 45,000円 — 40S排気量40L/min — 85,000円 安全カバー電磁ロック 145,000円 カップテフロンコート 110,000円 120,000円 130,000円 140,000円 150,000円 150,000円～ センターリング治具 70,000円～（基板サイズと材質によって変わります） ※詳細情報は各機種のページにてご確認ください。 ※標準納期となります。納期は受注の混み具合によっても変動いたします。都度ご確認ください。 ※真空ポンプの排気量は50Hzの際のものです。 ※梱包・運賃は標準機の場合です。特注機は都度お見積りとなります。スピンコーター標準機（卓上型・自立型）一覧 ACT-220AⅡ 本体価格 ： ￥700,000 Φ4インチウェハ対応 (Φ100／□70mm基板) 小型・卓上型 詳細を見る ACT-300AⅡ 本体価格 ： ￥800,000 Φ6インチウェハ対応 (Φ150／□110mm基板) 小型・卓上型 詳細を見る ACT-400AⅡ 本体価格 ： ￥1,500,000 Φ8インチウェハ対応 (Φ200／□150mm基板） 卓上型 詳細を見る ACT-450AⅡ 本体価格 ： 要見積 Φ10インチウェハ対応 (Φ250／□180mm基板) 卓上型 詳細を見る ACT-500AⅡ 本体価格 : 要見積 Φ12インチウェハ対応 (Φ300／□220mm基板) 卓上型 詳細を見る ACT-600AⅡ 本体価格 : 要見積 Φ16インチウェハ対応 (Φ400／□300mm基板) 自立型 詳細を見る ACT-700AⅡ 本体価格 : 要見積 Φ20インチウェハ対応 (Φ500／□360mm基板) 自立型 詳細を見る スピンコーター高精度・高速回転仕様・オプション価格表（価格単位：円） 高速回転仕様 ACT-220AⅡ-HS ACT-300AⅡ-HS ACT-400AⅡ-HS ACT-450AⅡ-HS ACT-500AⅡ-HS ACT-600AⅡ-HS ACT-700AⅡ-HS 回転数(rpm)～MAX 0～12000 標準仕様よりも高回転仕様にすることは可能ですご相談ください 回転制御 ±2rpm 対応基板MAXサイズ(mm) φ100 φ150 φ200 φ250 φ300 φ400 φ500 □70 □110 □150 □180 □220 □300 □360 納期 45日間 見積 試料台 65,000円～（材質・サイズ・仕様によって変わります） 真空ポンプ 12S排気量12L/min 45,000円 — 40S排気量40L/min — 85,000円 安全カバー電磁ロック 145,000円 カップテフロンコート 見積 センターリング治具 70,000円～（基板サイズと材質によって変わります） スイングアーム＆滴下ユニット 見積 特注 見積 ※φ50mm程度の小さい基板であればMAX6万rpmまでの超高回転仕様ACT-200SM-Sもご検討ください。 ※高回転仕様でだせる回転数はスピンコートしたい基板等の条件により変わり、記載のMAX回転数に安全面からも設定できない場合がございます。回転数の詳細はご相談にて決定いたします。 ※真空ポンプの排気量は50Hzの際のものです。スピンコーター ご依頼の多い特注機 ACT-300AⅡ-HS 高精度・高回転 MAX12,000±2rpm Φ6インチウェハ対応 (Φ150／□110mm基板) 詳細を見る ACT-200SM-S 超高速回転 1,000～60,000rpm±1%以下 φ20mm基板用試料台実績値 (Φ3～50mm基板対応) 詳細を見る ACT-300AⅡ-H 試料台加熱式 常温～150℃±5℃(PID制御) Φ6インチウェハ対応 (Φ150／□100mm基板) 詳細を見る ACT-220AⅡ-4axis 4軸（枚）同時スピンコート可能 Φ4インチウェハ対応 (Φ100／□70mm基板) 詳細を見る アクティブのサポート体制について
