スピンコーター(スピンコート機)なら株式会社アクティブ

アクティブのスピンコーターなら

コンパクトな卓上サイズでありながら非常に高い回転精度を持ち、10ステップ×100レシピのプログラムが組めるアクティブのスピンコーターはきっとご満足いただける1台になることと思います。

標準機で満たせないご要望は特注機として組み込んでいくことができます。

お客様にとって必要十分なスピンコーターをご提供できること、それが長年スピンコートに携わってきたアクティブの強みです。

スピンコーターの機種ラインナップも豊富です。

まずは目的やサイズ、予算から近しい製品をご覧ください。

各製品ページには詳細なスペックを掲載しています。

また、オプション機能や特注機の事例も豊富です。

サンプル機種の貸し出し等も行っておりますので、ご希望の際にはお申し付けください。

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シリコンウエハ、液晶ガラス基板、太陽光パネル、セラミック、光学レンズ、有機ELパネル等のスピン処理

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どのようなワーク・基板材質をスピンコートできる?
対応ワーク・対応基板材質
ガラス(スマホ・PC画面)
半導体(ガリヒソ・シリコン・ウエハ)
金属類(箔)
セラミックプレート
フィルム基盤
どのような塗布液(コーティング液)に対応している?
対応塗布液
レジスト
ワックス
ハードコート
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有機溶媒
酸系
アルカリ系
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