スピンコーター(スピンコート機)なら株式会社アクティブ

コンパクトな卓上型
最高級の精度

株式会社アクティブは創立から20年以上スピンコーターの
設計・製造・販売を手掛けています。

特に小型で卓上に置けるサイズ感でありながら十分な性能
を追求したアクティブのスピンコーターは、国内だけではなく
海外でも販売実績を伸ばし、スピンコーター業界では
トップクラスの納品数を誇ります。

スピンコーターに関するご相談は株式会社アクティブに
ご相談ください

ACT-300A2S スピンコーター

アクティブのスピンコーターなら

コンパクトな卓上サイズでありながら非常に高い回転精度を持ち、10ステップ×100レシピのプログラムが組めるアクティブのスピンコーターはきっとご満足いただける1台になることと思います。

小型卓上機で満たせないご要望は特注機として組み込んでいくことができます。

お客様にとって必要十分なスピンコーターをご提供できること、それが長年スピンコートに携わってきたアクティブの強みです。

スピンコーターの機種ラインナップも豊富です。

まずは目的やサイズ、予算から近しい製品をご覧ください。

各製品ページには詳細なスペックを掲載しています。

また、オプション機能や特注機の事例も豊富です。

サンプル機種の貸し出し等も行っておりますので、ご希望の際にはお申し付けください。

小型、卓上、低価格のスピンコーター一覧

スピンコーターを探す

価格で探す

選び方シュミレーション

スピンコーターは、基板サイズ・設置環境・必要な機能によって最適な機種が変わります。以下の質問に答えるだけで、お客様の用途に合った標準機の目安がわかります。

診断結果はあくまで目安です。迷った場合はテスト塗布(サンプルテスト)も承りますので、お気軽にご相談ください。

QUESTION 1
スピンコートする最大の基板サイズは φ300mm(□220×220mm)以下ですか?

QUESTION 2
基板は φ100mm(□70×70mm)以下で、設置スペースはできるだけコンパクトにしたいですか?

QUESTION 3
グローブボックス内への設置など、スペースを有効活用するためにさらに小さい装置をお探しですか?

QUESTION 3
非常停止スイッチは必要ですか?

QUESTION 2
自動滴下・エッジリンス・バックリンスなど、追加したい機能がたくさんありますか?

おすすめ: ACT-220AⅡ(小型卓上機)

φ100mm・□70×70mm 基板まで対応。当社ラインナップで最も安価な、研究室の卓上に置けるコンパクトモデルです。

ACT-220AⅡを見る

おすすめ: 電装ボックス分離型(特注仕様)

操作部と回転部を分離し、グローブボックス内などの限られたスペースを有効活用できる特注仕様をご提案可能です。

電装ボックス分離型を見る

おすすめ: ACT-300AⅡ / ACT-400AⅡ(最大基板サイズでご選定ください)

小型卓上機一覧を見る

おすすめ: ACT-450AⅡ / ACT-500AⅡ(最大基板サイズでご選定ください)

ご希望仕様に応じて、専用架台付や自立型でのご提案も可能です。

小型卓上機一覧を見る

おすすめ: ACT-600AⅡ / ACT-700AⅡ(自立型大型機・最大基板サイズでご選定ください)

もっと大きい基板の場合はご相談ください(□1000mm 対応スピンコーターの製作実績があります)。

大型基板のご相談・お見積り

おすすめ: 特注機のご相談

当社はお客様のご希望仕様にあわせて、自動滴下・エッジリンス・バックリンスなど各種仕様を組み合わせた装置の設計製作を得意としています。まずはご相談ください。

特注機の事例を見る ご相談・お見積り

必要なスピンコーター(スピンコート機)のイメージを掴む

どのようなワーク・基板材質をスピンコートできる?
対応ワーク・対応基板材質
ガラス(スマホ・PC画面)
半導体(ガリヒソ・シリコン・ウエハ)
金属類(箔)
セラミックプレート
フィルム基盤
どのような塗布液(コーティング液)に対応している?
対応塗布液
レジスト
ワックス
ハードコート
曇り止めコート
有機溶媒
酸系
アルカリ系
その他ご相談ください
スピンコーターの膜厚のムラ・均一化に関する無料相談

人気製品ランキング

スピンコーター小型卓上機 ACT-220AⅡ
Φ4インチウェハ対応
(Φ100/□70mm基板)対応
スピンコーター小型卓上機 ACT-300AⅡ
Φ6インチウェハ対応
(Φ150/□110mm基板)対応
スピンコーターact300a2s
Φ6インチウェハ対応
(Φ150/□110mm基板)対応

スピンコーター新着情報&重要なお知らせ

How to スピンコーター

スピンコーターコラム

各種お問い合わせ窓口

スピンコーターの膜厚のムラ・均一化に関する無料相談