スピンコーターの機種選定について
まずは回したい基板の最大サイズからスピンコーターの機種を選定いたします。

カップサイズφ500mmまでは卓上型で製作可能です。

それ以上のサイズは大型機として自立型で製作しております。

スピンコートしたい基板がフィルム状で薄い、厚みがある、基板材質が軽く浮きやすいものである、粘度の高い液体をスピンコートしたい、など求められる条件はお客様により様々です。求める性能、基板の材質・形状や、滴下する薬液によって適切なオプションも異なります。お気軽にご相談下さい。

機種

基板サイズ(mm)

φ5~100

φ150

φ200

φ250

φ300

φ400

φ500

□5~70

□110

□150

□180

□220

□300

□360

ACT-700AⅡ

ACT-600AⅡ

 

ACT-500AⅡ

 

 

ACT-450AⅡ

 

 

 

ACT-400AⅡ

 

 

 

 

ACT-300AⅡ

 

 

 

 

 

ACT-220AⅡ

 

 

 

 

 

 

スピンコーター大型機(自立型)一覧
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