スピンコーターの熱問題
スピンコーターは、効率良く塗膜を生成する機器です。

均一の塗膜生成には薬液の粘度や温度などの条件が関係していて、条件が変わると膜の厚さを均一にすることができなくなります。

今回は、そんなスピンコーターの熱問題を解決するための方法について、ご紹介していきます。
スピンコーターの熱問題と対策
発熱による影響とは
スピンコーターの発熱問題は、どのメーカーのスピンコーターでも課題になっている部分です。
スピンコーターにはモーターが内蔵されていて、これによって高速で塗膜が生成されます。

しかし、モーターが動き続けることで熱が発せられ、温度が徐々に上がってしまいます。この温度変化が原因で最初と最後の方では塗膜の厚みに変化が出てくる場合があります。

例えば、1回目と10回目の塗膜生成においては、膜厚に差が出てしまう可能性があり、膜厚の差はムラとなってしまいます。
熱により膜厚に差が生じることはわかっていても、溶液など諸条件によってどの程度影響があるかは異なるため、使ってみないとわからない部分でもあります。

そのため、デリケートな課題の場合、スピンコーターの発熱対策はしっかりと講じておくと良いでしょう。
スピンコーターの発熱対策
では、スピンコーターの発熱対策にはどんな方法が挙げられるのでしょうか?
空冷式
機器の中にファンを取り付け中に溜まった熱を外に逃がす方法です。
連続使用することで中に熱が残ってしまうこともあるので、継続的な連続使用は避けましょう。
しばらくストップさせ、冷めたことを確認してから使うなど、インターバルの活用がおすすめです。
水冷式
冷却水を循環して冷やす方法です。
熱を効率良く抑えることができますが、チラーが必要となるためコストがあがります。
これらの方法以外にも、試料台を工夫する方法や、最初から機器を作動させておき(ならし運転後)、発熱した段階でスピンコートにかけて膜厚の差をなくす方法もあります。

スピンコーターが標準機であっても、熱問題を軽くすることは可能です。
新規購入であれば事前に熱問題についてご一考いただき、すでにお持ちであればこのような工夫で発熱問題にアプローチいただくとよいでしょう。
How to スピンコーター
スピンコーターコラム