多彩なプログラムと操作が一覧できるパネル

試験条件の設定と確認が容易
アクティブスピンコーターの操作画面は、運転中はリアルタイムで回転数とバキューム圧力を表示します。 多彩なプログラムも容易に入力できるシンプルなパネルです。

スピンコーター標準機で使用しているキャラクタ表示液晶モジュールは、最大80文字(20文字×4行)まで表示可能です。特注機では仕様内容に応じて最大160文字(40文字×4行)を採用することがあります。
スピンコーター 操作画面について

メニュー画面 (20文字×4行) 運転操作の仕方

メニュー画面
スピンコーター 操作画面について
1:「1:EXCUTE」 ⇒ 運転
2:「2:EDIT」 ⇒ レシピ入力、削除、コピー
3:「3:TEST」 ⇒ テスト運転
4:「4:POSITION」 ⇒ 停止位置の設定
5:「TEST」はメーカー設定モードの設定にて表示しないことも出来る。
6:テンキーを押すと「ENT」入力なしで先に進む。
7:メーカー設定モード設定により「TEST」がない場合には「POSITION」を3番につめる。
運転前:レシピ選択
スピンコーター 操作画面について
1:レシピ番号位置で文字ブリンクする。
2:テンキーでレシピ番号を入力。
3:レシピ番号を2桁入力した時点で選択したレシピの内容を表示する。
4:「↑」「↓」キーでレシピのステップをスクロールする。
5:レシピ中のステップ番号は「NO」ではなく「ST」に変更する。
6:「ESC」を押すとメニューに戻る。
7:「ENT」を押と運転前状態となる。
運転前
スピンコーター 操作画面について
1:「START」スイッチを押すと運転を開始する。その時にEMGスイッチがOFF、バキュームスイッチがONになっていないと運転開始しない。
2:「ESC」を押すとレシピ選択へ戻る。
3:右上にバキューム圧を表示する。
運転
スピンコーター 操作画面について
1:画面中の「V=56」は圧力値を表わす。(-56kPa)
2:4行目の「SP」は現在の回転数。
3:「SL」「TM」は動作時点の時間を表わす。「SLsec」とは加速・減速時間を表わす。「TMsec」とは指令回転数到達後のキープ時間を表わす。
4:運転中「VACUUM」スイッチは電気的に無視され、基板吸着状態を保持する。
5:圧力(-50kPa)より下がったら緊急停止する。
6:安全カバーが開いたら緊急停止する。
7:「STOP」スイッチを押すとその時点で停止しレシピ選択へ戻る。
8: 運転中は「START」スイッチLEDは点灯する。
運転終了
スピンコーター 操作画面について
1: 運転終了で1~2秒間、終了画面を表示する
2: 時間経過後、運転前状態に戻る。
緊急停止1
スピンコーター 操作画面について
安全カバーが開いた時は緊急停止する。
「STOP」を押すとメニュー画面に戻る。
緊急停止2
スピンコーター 操作画面について
バキュームが設定値以下になった時に緊急停止する。
・「STOP」を押した時にEMGスイッチがOFFであればメニュー画面に戻る。
・EMGスイッチがONの時はエラー音を出す。
停止位置の設定
スピンコーター 操作画面について
・「POSITION」に角度を設定する 。(0~359度)
・「Action」にストップポジション設定の使用の有無を設定する。
ON (1のキー) ⇒ 有効
OFF(0のキー) ⇒ 無効
・「ENT」を押すと回転を始め、設定した位置に移動する。

メニュー画面 (20文字×4行) レシピ設定の仕方

レシピ:メニュー画面
スピンコーター 操作画面について
1:「SET」 ⇒ レシピの入力・修正
2:「COPY」 ⇒ レシピのコピー
3:「ERASE」 ⇒ レシピの消去
4: 1,2,3のキーで各画面に進む。
5:「ESC」キーを押すとメニューに戻る。
レシピ設定
スピンコーター 操作画面について
1:レシピ番号位置で文字ブリンクする。
2:2桁入力でレシピの内容を表示する。
3:「↑」「↓」キーでレシピのステップをスクロールする。
4:「ENT」を押すとステップ1にカーソルが移る。
スピンコーター 操作画面について
5:「↑」「↓」「←」「→」を押して変更したい項目へカーソルを移動させる。
6:ブリンク位置にてテンキーで数値入力する。
7:「ESC」を押すとレシピ選択に戻る。

特注機 メニュー画面 (40文字×4行) 運転操作の仕方

メニュー画面
スピンコーター 操作画面について
1:「1:EXCUTE」 ⇒ 運転
2:「2:EDIT」 ⇒ レシピ入力、削除、コピー
3:「3:TEST」 ⇒ テスト運転
4:「4:POSITION 」⇒ 停止位置の設定1,2,3のキーで各画面に進む。
5:「 5:DISPENSE」 ⇒ ディスペンサ動作確認
運転
スピンコーター 操作画面について
ディスペンス動作確認
スピンコーター 操作画面について
1:「←」「→」を押すと設定・動作する項目へカーソルが移動する。
2:POSITION位置 ・ホームポジション:「HM」選択で「ENT」を押すとアームが原点に戻る。 ・移動位置:「0.0」選択は、アームの移動位置を数値入力する。また「ENT」を押すとその位置へアームが移動する。
3:[SPD]選択は、アームの移動速度を数値入力する。「END」を押すとそのスピードで移動する。
4:「DIS」選択は設定時間で滴下を行う。
5:「↑」「↓」 ⇒ アーム上昇・下降移動。
6:「ESC」で前画面に戻る。アーム位置が原点に戻っていない時には、原点復帰を行い前画面に戻る。
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この記事を書いた人

株式会社アクティブ 技術担当T
株式会社アクティブへ2014年入社。営業や総務を6年担当し、以降製品の技術担当としてスピンコーター製品の保守管理サポートを行う。

How to スピンコーター