丸基板ならMAXφ150mm、四角基板ならMAX□110mmまで対応
特徴
- ・卓上でも使える小型標準機
- ・高性能かつ低価格で研究~生産用と幅広く適合
- ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
- ・安全カバーには滴下用穴(スライドフタ付)があり回転中も滴下が可能
- ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
- ・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
- ・自動搬送ロボットにも対応可能(特注仕様)
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室~大手企業・大学、官公庁
デモ機・サンプルテスト
無償でデモ機の貸し出しやサンプルテストを承っております。
ご依頼は下記よりお問い合わせ下さい。
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仕様
基板サイズ
Φ5~Φ150mm (Max.Φ6インチ、□110mm) 基板対応
ワーク(基板)の重量
300g以下 (ご相談ください)
カップ内径
Φ300mm
外形寸法
W350×D450×H扉閉325(扉開640)mm
電源
1Φ 100V-10A(ACサーボモーター200W)50 / 60Hz
回転制御速度 / 回転精度
0~6000rpm/±1rpm以下 (負荷時)
基板吸着圧力
-70 ~ -80kPa
真空ポンプ排気量 12L/min以上
(装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
(装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
プログラムステップ数・パターン数
10ステップ・100パターン(プログラムメモリ機能標準)
レシピのステップ 1行挿入、1行削除可能(ソフトver.6.001にて機能追加)
※20ステップ・50パターンに変更可能(ご注文時にご指定ください)
※50ステップ・20パターンに変更可能(ご注文時にご指定ください)
レシピのステップ 1行挿入、1行削除可能(ソフトver.6.001にて機能追加)
※20ステップ・50パターンに変更可能(ご注文時にご指定ください)
※50ステップ・20パターンに変更可能(ご注文時にご指定ください)
表示画面
液晶表示(表示20文字4行)
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法
マイコン制御(テンキー入力でプログラム簡単)
本体外装カバー・カップ材質
SUS304 電解研磨(オプションにてテフロンコーティング可)
安全カバー材質
透明エンビ(スライドカバー付滴下用穴あり)
安全対策
安全カバーマグネットセンサ付インターロック機能
(カバー開時レシピスタートしない&回転中カバー開で自動回転停止)
基板吸着圧力のインターロック機能(未吸着時は回転しない)
(カバー開時レシピスタートしない&回転中カバー開で自動回転停止)
基板吸着圧力のインターロック機能(未吸着時は回転しない)
重量
約22kg
受注後の標準納期
約30日間(本体在庫通常有り、試料台30日間程度、都度ご確認ください)
価格表
オプション価格
真空ポンプ
(基板吸着用)
(基板吸着用)
・小型ダイアフラム式ドライ真空ポンプ12S 接続口改造
・排気速度(L/min):12/14(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
・排気速度(L/min):12/14(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥45,000
正転・逆転
正転・逆転 機能を追加
¥100,000
Q&A
例えば、自動滴下やエッジリンス、バックリンス、クリーンユニット、排気をとる機能、廃液の回収機能など、 お客様のご希望の仕様に合わせたスピンコーターを製作できます。
スピンコーター本体の背面に記載しております機種名(MODEL)とシリアル番号(S/No)、 症状をご連絡頂ければ担当者がサポートします。
またスピンコートのサンプルテストも行っております。
※ご返送時の送料はご負担願います。
※試料台は弊社所持の試料台であれば無償ですが、新規製作の場合は有償となります。
膜厚が均一化されず塗布ムラがある、実験テーマが変わった、基板・薬液を変えたら上手くいかない、などお困りの状況をお知らせいただけましたら、知りうる情報をご提供いたします。
当社との取引が無い場合でも無料で膜厚相談を承っております。
製品についてお問い合わせ
※機種選定にお悩みの方、ご質問などもこちらから受け付けております。