丸基板ならMAXφ150mm、四角基板ならMAX□110mmまで対応
（スピンコート機）
ACT-300AⅡ
特徴
- ・卓上でも使える小型標準機
- ・高性能かつ低価格で研究～生産用と幅広く適合
- ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
- ・安全カバーには滴下用穴（スライドフタ付）があり回転中も滴下が可能
- ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
- ・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
- ・自動搬送ロボットにも対応可能（特注仕様）
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室～大手企業・大学、官公庁
デモ機・サンプルテスト
無償でデモ機の貸し出しやサンプルテストを承っております。
ご依頼は下記よりお問い合わせ下さい。
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製品情報
仕様
基板サイズ
Φ5～Φ150mm （Max.Φ6インチ、□110ｍｍ） 基板対応
ワーク（基板）の重量
300ｇ以下 （ご相談ください）
カップ内径
Φ300mm
外形寸法
W350×D450×H扉閉325(扉開640)mm
電源
1Φ 100V-10A（ACサーボモーター200W）50 / 60Hz
回転制御速度 / 回転精度
0～6000rpm/±1rpm以下 (負荷時)
基板吸着圧力
-70 ～ -80kPa
真空ポンプ排気量 12L/min以上
（装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続）
（装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続）
プログラムステップ数・パターン数
10ステップ・100パターン（プログラムメモリ機能標準）
レシピのステップ 1行挿入、1行削除可能（ソフトver.6.001にて機能追加）
※20ステップ・50パターンに変更可能（ご注文時にご指定ください）
※50ステップ・20パターンに変更可能（ご注文時にご指定ください）
レシピのステップ 1行挿入、1行削除可能（ソフトver.6.001にて機能追加）
※20ステップ・50パターンに変更可能（ご注文時にご指定ください）
※50ステップ・20パターンに変更可能（ご注文時にご指定ください）
表示画面
液晶表示（表示20文字4行）
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法
マイコン制御（テンキー入力でプログラム簡単）
本体外装カバー材質
SUS304（オプションにてテフロンコーティング可）
カップ材質
SUS304 電解研磨（オプションにてテフロンコーティング可）
安全カバー材質
透明エンビ（スライドカバー付滴下用穴あり）
安全対策
安全カバーマグネットセンサ付インターロック機能
（カバー開時レシピスタートしない＆回転中カバー開で自動回転停止）
基板吸着圧力のインターロック機能（未吸着時は回転しない）
（カバー開時レシピスタートしない＆回転中カバー開で自動回転停止）
基板吸着圧力のインターロック機能（未吸着時は回転しない）
重量
約22kg
受注後の標準納期
約30日間（本体在庫通常有り、試料台30日間程度、都度ご確認ください）
価格表
オプション価格
真空ポンプ
（基板吸着用）
（基板吸着用）
・小型ダイアフラム式ドライ真空ポンプ12S 接続口改造
・排気速度(L/min)：12/14(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3ｍ 透明ウレタン製
・排気速度(L/min)：12/14(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3ｍ 透明ウレタン製
￥45,000
正転・逆転
正転・逆転 機能を追加
￥100,000
Q&A
例えば、自動滴下やエッジリンス、バックリンス、クリーンユニット、排気をとる機能、廃液の回収機能など、 お客様のご希望の仕様に合わせたスピンコーターを製作できます。
スピンコーター本体の背面に記載しております機種名（MODEL）とシリアル番号（S/No）、 症状をご連絡頂ければ担当者がサポートします。
またスピンコートのサンプルテストも行っております。
※ご返送時の送料はご負担願います。
※試料台は弊社所持の試料台であれば無償ですが、新規製作の場合は有償となります。
膜厚が均一化されず塗布ムラがある、実験テーマが変わった、基板・薬液を変えたら上手くいかない、などお困りの状況をお知らせいただけましたら、知りうる情報をご提供いたします。
当社との取引が無い場合でも無料で膜厚相談を承っております。
製品についてお問い合わせ
※機種選定にお悩みの方、ご質問などもこちらから受け付けております。
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