レシピの設定方法とステップの考え方

アクティブのスピンコーターは10ステップ・100パターンのレシピが全機種に標準装備されています。

1レシピは10ステップに区分できます。
1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定する仕組みです。
これにより簡単に意図した動作を実現でき、多彩な試験状況の設定が可能です。

※ご注文時にご指定頂くことで20ステップ・50パターン、あるいは50ステップ・20パターンに変更も可能です。
※ACT-220AⅡとACT-300AⅡはレシピのステップ1行挿入、1行削除が可能です。（ソフトver.6.001にて機能追加）
スピンコーター　レシピ設定方法・ステップの考え方

20ステップ・50パターン／50ステップ・20パターンも可能！

ご購入時にご指定いただくことで20ステップ・50パターン、あるいは50ステップ・20パターンに変更可能です。

登録（メモリー）できるパターン数は減りますが、1レシピを細かく設定したい場合は必要に応じて標準仕様の10ステップから20ステップ、あるいは50ステップに増やすことができます。

※この変更はACT-Aシリーズ(ACサーボモータ搭載機)で可能です。ACT-Dシリーズ（現在は生産終了しております）は対応しておりません。
こちらの記事もおすすめ

スピンエッチング装置・スピン洗浄機・スピン乾燥機

試料台材質の物性・耐薬データ

アクティブスピンコーターに必須のオプションである試料台の材質別データです。
一般的なデータを記載したもので、製品における保証値ではありません。

〇物性表
〇耐薬データ…
続きはこちら

この記事を書いた人

株式会社アクティブ 技術担当T
株式会社アクティブへ2014年入社。営業や総務を担当し、以降製品の技術担当としてスピンコーター製品の保守管理サポートを行う。

スピンコーター標準機（卓上型）一覧

How to スピンコーター