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項目 ACT-220AⅡ ～φ100mm基板 ACT-300AⅡ ～φ150mm基板 ACT-400AⅡ ～φ200mm基板 ACT-450AⅡ ～φ250mm基板 ACT-500AⅡ ～φ300mm基板
製品画像 ACT-220AⅡ 卓上小型スピンコーター ACT-300AⅡ 卓上小型スピンコーター ACT-400AⅡ スピンコーター ACT-450AⅡ スピンコーター ACT-500AⅡ 卓上小型スピンコーター
対応基板サイズ ～φ100mm
Max.4インチ／□70mm		 ～φ150mm
Max.6インチ／□110mm		 ～φ200mm
Max.8インチ／□150mm		 ～φ250mm
Max.10インチ／□180mm		 ～φ300mm
Max.12インチ／□220mm
カップ内径 φ220mm φ300mm φ400mm φ450mm φ500mm
最高回転数 7,000rpm 6,000rpm 5,000rpm
※条件次第で6,000rpm		 5,000rpm
※条件次第で6,000rpm		 5,000rpm
ワーク（基板）
重量		 200g以下 300g以下 300g以下 300g以下 要相談
本体重量 約18kg 約22kg 約35kg 約40kg 約45kg
受注後の
標準納期		 約30日 約30日 約45日 約45日 都度確認
デモ機
貸出		 無償 無償 送料負担 代替機で対応 代替機で対応
詳細 仕様詳細を見る 仕様詳細を見る 仕様詳細を見る 仕様詳細を見る 仕様詳細を見る

※上記は主要仕様の抜粋です。各機種の詳細仕様（電源・吸着圧力・安全対策など）は下記の各機種詳細をご覧ください。

ACT-220AⅡ

スピンコーター　ACT-220AⅡ（～φ100）
卓上小型スピンコーター小型卓上機
（スピンコート機）
ACT-220AⅡ
特徴
  • ・卓上でも使える小型小型卓上機
  • ・高性能かつ低価格で研究・実験用に最適
  • ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
  • ・安全カバーには滴下用穴（スライドフタ付）があり回転中も滴下が可能
  • ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
  • ・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室～大手企業・大学、官公庁
カタログ
製品カタログについては下記よりご覧下さい。
カタログダウンロード
デモ機・サンプルテスト
無償でデモ機の貸し出しやサンプルテストを承っております。
ご依頼は下記よりお問い合わせ下さい。
仕様
基板サイズ
Φ5～Φ100mm（Max.Φ4インチ、□70㎜）基板対応
ワーク（基板）の重量
200g以下（ご相談ください）
カップ内径
Φ220mm
外形寸法
W250×D330×H扉閉272(扉開500)mm
電源
1Φ 100V-10A（ACサーボモーター200W）50 / 60Hz
回転制御速度 / 回転精度
0～7000rpm/±1rpm以下（負荷時）
基板吸着圧力
-70 ～ -80kPa
真空ポンプ排気量　12L/min以上
（装置側　外径Φ6チューブワンタッチ接続）
プログラムステップ数・パターン数
10ステップ・100パターン（プログラムメモリ機能標準）
20ステップ・50パターンに変更可能（ご注文時にご指定ください）
50ステップ・20パターンに変更可能（ご注文時にご指定ください）
表示画面
液晶表示（表示20文字4行）
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法
マイコン制御（テンキー入力でプログラム簡単）
本体外装カバー・カップ材質
SUS304（オプションにてテフロンコーティング可）
安全カバー材質
透明エンビ（スライドカバー付滴下用穴あり）
安全対策
安全カバーマグネットセンサ付インターロック機能
（カバー開時レシピスタートしない＆回転中カバー開で自動回転停止）
基板吸着圧力のインターロック機能（未吸着時は回転しない）
重量
約18kg
受注後の標準納期
約30日間（本体在庫通常有り、試料台30日間程度、都度ご確認ください）

▶ACT-220AⅡ（～φ100）製品ページはこちら

ACT-300AⅡ

スピンコーター　ACT-300AⅡ（～φ150）
卓上小型スピンコーター小型卓上機
（スピンコート機）
ACT-300AⅡ
特徴
  • ・卓上でも使える小型小型卓上機
  • ・高性能かつ低価格で研究～生産用と幅広く適合
  • ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
  • ・安全カバーには滴下用穴（スライドフタ付）があり回転中も滴下が可能
  • ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
  • ・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
  • ・自動搬送ロボットにも対応可能（特注仕様）
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室～大手企業・大学、官公庁
カタログ
製品カタログについては下記よりご覧下さい
カタログダウンロード
デモ機・サンプルテスト
無償でデモ機の貸し出しやサンプルテストを承っております。
ご依頼は下記よりお問い合わせ下さい。
仕様
基板サイズ
Φ5～Φ150mm （Max.Φ6インチ、□110ｍｍ） 基板対応
ワーク（基板）の重量
300ｇ以下 （ご相談ください）
カップ内径
Φ300mm
外形寸法
W350×D450×H扉閉325(扉開640)mm
電源
1Φ 100V-10A（ACサーボモーター200W）50 / 60Hz
回転制御速度 / 回転精度
0～6000rpm/±1rpm以下 (負荷時)
基板吸着圧力
-70 ～ -80kPa
真空ポンプ排気量　12L/min以上
（装置側　外径Φ6チューブワンタッチ接続）
プログラムステップ数・パターン数
10ステップ・100パターン（プログラムメモリ機能標準）
20ステップ・50パターンに変更可能（ご注文時にご指定ください）
50ステップ・20パターンに変更可能（ご注文時にご指定ください）
表示画面
液晶表示（表示20文字4行）
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法
マイコン制御（テンキー入力でプログラム簡単）
本体外装カバー・カップ材質
SUS304（オプションにてテフロンコーティング可）
安全カバー材質
透明エンビ（スライドカバー付滴下用穴あり）
安全対策
安全カバーマグネットセンサ付インターロック機能
（カバー開時レシピスタートしない＆回転中カバー開で自動回転停止）
基板吸着圧力のインターロック機能（未吸着時は回転しない）
重量
約22kg
受注後の標準納期
約30日間（本体在庫通常有り、試料台30日間程度、都度ご確認ください）

▶ACT-300AⅡ（～φ150）製品ページはこちら

ACT-400AⅡ

スピンコーター　ACT-400AⅡ（～φ200）
スピンコーター小型卓上機
（スピンコート機）
ACT-400AⅡ
特徴
  • ・高性能で費用対効果が高く、研究～生産用と幅広く適合
  • ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
  • ・安全カバーには滴下用穴（スライドフタ付）があり回転中も滴下が可能
  • ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
  • ・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
  • ・自動搬送ロボットにも対応可能（特注仕様）
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室～大手企業・大学、官公庁
カタログ
製品カタログについては下記よりご覧下さい
カタログダウンロード
デモ機・サンプルテスト
ACT-400AⅡは往復送料お客様ご負担にてデモ機のお貸出をしております。サンプルテストは無償です。
ご依頼は下記よりお問い合わせ下さい。
仕様
基板サイズ
Φ5～Φ200mm （Max.Φ8インチ、□150ｍｍ） 基板対応
ワーク（基板）の重量
300ｇ以下 （ご相談ください）
カップ内径
Φ400mm
外形寸法
W450×D550×H扉閉313(扉開745)mm
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
電源
1Φ 100V-10A（ACサーボモーター400W）50 / 60Hz
回転制御速度 / 回転精度
0～5000rpm/±1rpm以下 (負荷時)
※基板サイズ等の条件が合えば6000rpmも可能 ご相談ください
基板吸着圧力
-70 ～ -80kPa
真空ポンプ排気量　12L/min以上
（装置側　外径Φ6チューブワンタッチ接続）
プログラムステップ数・パターン数
10ステップ・100パターン（プログラムメモリ機能標準）
20ステップ・50パターンに変更可能（ご注文時にご指定ください）
50ステップ・20パターンに変更可能（ご注文時にご指定ください）
表示画面
液晶表示（表示20文字4行）
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法
マイコン制御（テンキー入力でプログラム簡単）
本体外装カバー・カップ材質
SUS304（オプションにてテフロンコーティング可）
安全カバー材質
透明エンビ（スライドカバー付滴下用穴あり）
安全対策
安全カバーマグネットセンサ付インターロック機能
（カバー開時レシピスタートしない＆回転中カバー開で自動回転停止）
基板吸着圧力のインターロック機能（未吸着時は回転しない）
重量
約35kg
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
受注後の標準納期
約45日間（都度ご確認ください）

▶ACT-400AⅡ（～φ200）製品ページはこちら

ACT-450AⅡ

スピンコーター　 ACT-450AⅡ（～φ250）
スピンコーター小型卓上機
（スピンコート機）
ACT-450AⅡ
特徴
  • ・高性能で費用対効果が高く、研究～生産用と幅広く適合
  • ・ご要望の多い角基板サイズに対応
  • ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
  • ・安全カバーには滴下用穴（スライドフタ付）があり回転中も滴下が可能
  • ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
  • ・非常停止ボタンを標準装備
  • ・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
  • ・自動搬送ロボットにも対応可能（特注仕様）
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室～大手企業・大学、官公庁
カタログ
製品カタログについては下記よりご覧下さい
カタログダウンロード
デモ機・サンプルテスト
220・300・400サイズであればデモ機の貸し出しやサンプルテストを承っております。
ご依頼は下記よりお問い合わせ下さい。
仕様
基板サイズ
Φ5～Φ250mm （Max.Φ10インチ、□180ｍｍ） 基板対応
ワーク（基板）の重量
300ｇ以下 （ご相談ください）
カップ内径
Φ450mm
外形寸法
W580(ダンパー含め639)×D680(排気口付782)×H扉閉380(扉開880)mm
※仕様によって変わります（排気口はオプション）ので参考値とお考え下さい
電源
1Φ 100V-10A（ACサーボモーター400W）50 / 60Hz
回転制御速度 / 回転精度
0～5000rpm/±1rpm以下 (負荷時)
※基板サイズ等の条件が合えば6000rpmも可能 ご相談ください
基板吸着圧力
-70 ～ -80kPa
真空ポンプ排気量　12L/min以上必要
（装置側　外径Φ6チューブワンタッチ接続）
プログラムステップ数・パターン数
10ステップ・100パターン（プログラムメモリ機能標準）
20ステップ・50パターンに変更可能（ご注文時にご指定ください）
50ステップ・20パターンに変更可能（ご注文時にご指定ください）
表示画面
液晶表示（表示20文字4行）
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法
マイコン制御（テンキー入力でプログラム簡単）
本体外装カバー・カップ材質
SUS304（オプションにてテフロンコーティング可）
安全カバー材質
透明エンビ（スライドカバー付滴下用穴あり）
安全対策
安全カバーマグネットセンサ付インターロック機能
（カバー開時レシピスタートしない＆回転中カバー開で自動回転停止）
基板吸着圧力のインターロック機能（未吸着時は回転しない）
非常停止ボタン
重量
約40kg
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
受注後の標準納期
約45日間（都度ご確認ください）

▶ACT-450AⅡ（～φ250）製品ページはこちら

ACT-500AⅡ

スピンコーター　ACT-500AⅡ（～φ300）
卓上小型スピンコーター小型卓上機
（スピンコート機）
ACT-500AⅡ
※試料台は別売
特徴
  • ・高性能で費用対効果が高く、研究～生産用と幅広く適合
  • ・卓上型が可能な最大サイズ
  • ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
  • ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
  • ・非常停止ボタンを標準装備
  • ・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
  • ・自動搬送ロボットにも対応可能（特注仕様）
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室～大手企業・大学、官公庁
カタログ
製品カタログについては下記よりご覧下さい
カタログダウンロード
デモ機・サンプルテスト
220・300・400サイズであればデモ機の貸し出しやサンプルテストを承っております。
ご依頼は下記よりお問い合わせ下さい。
仕様
基板サイズ
Φ5～Φ300mm （Max.Φ12インチ、□220ｍｍ） 基板対応
ワーク（基板）の重量
ワークの重量についてはご相談ください
カップ内径
Φ500mm
外形寸法
W560(ダンパー含め625)×D660(排気口付762)×H扉閉365(扉開893)mm
※仕様（設置場所制限により高さ抑えています）によって変わりますので参考値とお考え下さい
電源
電源とACサーボモータの出力は基板サイズと重量により別途決定いたします
回転制御速度 / 回転精度
0～5000rpm/±1rpm以下 (負荷に応じて要相談）
基板吸着圧力
-70 ～ -80kPa
真空ポンプ排気量　12L/min以上必要
（装置側　外径Φ6チューブワンタッチ接続）
プログラムステップ数・パターン数
10ステップ・100パターン（プログラムメモリ機能標準）
20ステップ・50パターンに変更可能（ご注文時にご指定ください）
50ステップ・20パターンに変更可能（ご注文時にご指定ください）
表示画面
液晶表示（表示20文字4行）
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法
マイコン制御（テンキー入力でプログラム簡単）
本体外装カバー・カップ材質
SUS304（オプションにてテフロンコーティング可）
安全カバー材質
SUS304（スライドカバー付滴下用穴あり）
安全対策
安全カバーマグネットセンサ付インターロック機能
（カバー開時レシピスタートしない＆回転中カバー開で自動回転停止）
基板吸着圧力のインターロック機能（未吸着時は回転しない）
非常停止ボタン
重量
約45kg
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
受注後の標準納期
都度ご確認ください

▶ACT-500AⅡ（～φ300）製品ページはこちら