特徴
- ・卓上でも使える小型標準機
- ・高性能かつ低価格で研究・実験用に最適
- ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
- ・安全カバーには滴下用穴(スライドフタ付)があり回転中も滴下が可能
- ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
- ・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室~大手企業・大学、官公庁
カタログ
製品カタログについては下記よりご覧下さい。
デモ機・サンプルテスト
無償でデモ機の貸し出しやサンプルテストを承っております。
ご依頼は下記よりお問い合わせ下さい。
ご依頼は下記よりお問い合わせ下さい。
仕様
基板サイズ
Φ5~Φ100mm(Max.Φ4インチ、□70㎜)基板対応
ワーク(基板)の重量
200g以下(ご相談ください)
カップ内径
Φ220mm
外形寸法
W250×D330×H扉閉272(扉開500)mm
電源
1Φ 100V-10A(ACサーボモーター200W)50 / 60Hz
回転制御速度 / 回転精度
0~7000rpm/±1rpm以下(負荷時)
基板吸着圧力
-70 ~ -80kPa
真空ポンプ排気量 12L/min以上
(装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
(装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
プログラムステップ数・パターン数
表示画面
液晶表示(表示20文字4行)
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法
マイコン制御(テンキー入力でプログラム簡単)
本体外装カバー・カップ材質
SUS304 電解研磨(オプションにてテフロンコーティング可)
安全カバー材質
透明エンビ(スライドカバー付滴下用穴あり)
安全対策
安全カバーマグネットセンサ付インターロック機能
(カバー開時レシピスタートしない&回転中カバー開で自動回転停止)
基板吸着圧力のインターロック機能(未吸着時は回転しない)
(カバー開時レシピスタートしない&回転中カバー開で自動回転停止)
基板吸着圧力のインターロック機能(未吸着時は回転しない)
重量
約18kg
受注後の標準納期
約30日間(本体在庫通常有り、試料台30日間程度、都度ご確認ください)
特徴
- ・卓上でも使える小型標準機
- ・高性能かつ低価格で研究~生産用と幅広く適合
- ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
- ・安全カバーには滴下用穴(スライドフタ付)があり回転中も滴下が可能
- ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
- ・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
- ・自動搬送ロボットにも対応可能(特注仕様)
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室~大手企業・大学、官公庁
カタログ
製品カタログについては下記よりご覧下さい
デモ機・サンプルテスト
無償でデモ機の貸し出しやサンプルテストを承っております。
ご依頼は下記よりお問い合わせ下さい。
ご依頼は下記よりお問い合わせ下さい。
仕様
基板サイズ
Φ5~Φ150mm (Max.Φ6インチ、□110mm) 基板対応
ワーク(基板)の重量
300g以下 (ご相談ください)
カップ内径
Φ300mm
外形寸法
W350×D450×H扉閉325(扉開640)mm
電源
1Φ 100V-10A(ACサーボモーター200W)50 / 60Hz
回転制御速度 / 回転精度
0~6000rpm/±1rpm以下 (負荷時)
基板吸着圧力
-70 ~ -80kPa
真空ポンプ排気量 12L/min以上
(装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
(装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
プログラムステップ数・パターン数
表示画面
液晶表示(表示20文字4行)
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法
マイコン制御(テンキー入力でプログラム簡単)
本体外装カバー・カップ材質
SUS304 電解研磨(オプションにてテフロンコーティング可)
安全カバー材質
透明エンビ(スライドカバー付滴下用穴あり)
安全対策
安全カバーマグネットセンサ付インターロック機能
(カバー開時レシピスタートしない&回転中カバー開で自動回転停止)
基板吸着圧力のインターロック機能(未吸着時は回転しない)
(カバー開時レシピスタートしない&回転中カバー開で自動回転停止)
基板吸着圧力のインターロック機能(未吸着時は回転しない)
重量
約22kg
受注後の標準納期
約30日間(本体在庫通常有り、試料台30日間程度、都度ご確認ください)
特徴
- ・高性能で費用対効果が高く、研究~生産用と幅広く適合
- ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
- ・安全カバーには滴下用穴(スライドフタ付)があり回転中も滴下が可能
- ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
- ・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
- ・自動搬送ロボットにも対応可能(特注仕様)
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室~大手企業・大学、官公庁
カタログ
製品カタログについては下記よりご覧下さい
デモ機・サンプルテスト
ACT-400AⅡは往復送料お客様ご負担にてデモ機のお貸出をしております。サンプルテストは無償です。
ご依頼は下記よりお問い合わせ下さい。
ご依頼は下記よりお問い合わせ下さい。
仕様
基板サイズ
Φ5~Φ200mm (Max.Φ8インチ、□150mm) 基板対応
ワーク(基板)の重量
300g以下 (ご相談ください)
カップ内径
Φ400mm
外形寸法
W450×D550×H扉閉313(扉開745)mm
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
電源
1Φ 100V-10A(ACサーボモーター400W)50 / 60Hz
回転制御速度 / 回転精度
0~5000rpm/±1rpm以下 (負荷時)
※基板サイズ等の条件が合えば6000rpmも可能 ご相談ください
※基板サイズ等の条件が合えば6000rpmも可能 ご相談ください
基板吸着圧力
-70 ~ -80kPa
真空ポンプ排気量 12L/min以上
(装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
(装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
プログラムステップ数・パターン数
表示画面
液晶表示(表示20文字4行)
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法
マイコン制御(テンキー入力でプログラム簡単)
本体外装カバー・カップ材質
SUS304 電解研磨(オプションにてテフロンコーティング可)
安全カバー材質
透明エンビ(スライドカバー付滴下用穴あり)
安全対策
安全カバーマグネットセンサ付インターロック機能
(カバー開時レシピスタートしない&回転中カバー開で自動回転停止)
基板吸着圧力のインターロック機能(未吸着時は回転しない)
(カバー開時レシピスタートしない&回転中カバー開で自動回転停止)
基板吸着圧力のインターロック機能(未吸着時は回転しない)
重量
約35kg
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
受注後の標準納期
約45日間(都度ご確認ください)
特徴
- ・高性能で費用対効果が高く、研究~生産用と幅広く適合
- ・ご要望の多い角基板サイズに対応
- ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
- ・安全カバーには滴下用穴(スライドフタ付)があり回転中も滴下が可能
- ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
- ・非常停止ボタンを標準装備
- ・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
- ・自動搬送ロボットにも対応可能(特注仕様)
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室~大手企業・大学、官公庁
カタログ
製品カタログについては下記よりご覧下さい
デモ機・サンプルテスト
220・300・400サイズであればデモ機の貸し出しやサンプルテストを承っております。
ご依頼は下記よりお問い合わせ下さい。
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仕様
基板サイズ
Φ5~Φ250mm (Max.Φ10インチ、□180mm) 基板対応
ワーク(基板)の重量
300g以下 (ご相談ください)
カップ内径
Φ450mm
外形寸法
W580(ダンパー含め639)×D680(排気口付782)×H扉閉380(扉開880)mm
※仕様によって変わります(排気口はオプション)ので参考値とお考え下さい
※仕様によって変わります(排気口はオプション)ので参考値とお考え下さい
電源
1Φ 100V-10A(ACサーボモーター400W)50 / 60Hz
回転制御速度 / 回転精度
0~5000rpm/±1rpm以下 (負荷時)
※基板サイズ等の条件が合えば6000rpmも可能 ご相談ください
※基板サイズ等の条件が合えば6000rpmも可能 ご相談ください
基板吸着圧力
-70 ~ -80kPa
真空ポンプ排気量 12L/min以上必要
(装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
(装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
プログラムステップ数・パターン数
表示画面
液晶表示(表示20文字4行)
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法
マイコン制御(テンキー入力でプログラム簡単)
本体外装カバー・カップ材質
SUS304 電解研磨(オプションにてテフロンコーティング可)
安全カバー材質
透明エンビ(スライドカバー付滴下用穴あり)
安全対策
安全カバーマグネットセンサ付インターロック機能
(カバー開時レシピスタートしない&回転中カバー開で自動回転停止)
基板吸着圧力のインターロック機能(未吸着時は回転しない)
非常停止ボタン
(カバー開時レシピスタートしない&回転中カバー開で自動回転停止)
基板吸着圧力のインターロック機能(未吸着時は回転しない)
非常停止ボタン
重量
約40kg
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
受注後の標準納期
約45日間(都度ご確認ください)
特徴
- ・高性能で費用対効果が高く、研究~生産用と幅広く適合
- ・卓上型が可能な最大サイズ
- ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
- ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
- ・非常停止ボタンを標準装備
- ・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
- ・自動搬送ロボットにも対応可能(特注仕様)
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室~大手企業・大学、官公庁
カタログ
製品カタログについては下記よりご覧下さい
デモ機・サンプルテスト
220・300・400サイズであればデモ機の貸し出しやサンプルテストを承っております。
ご依頼は下記よりお問い合わせ下さい。
ご依頼は下記よりお問い合わせ下さい。
仕様
基板サイズ
Φ5~Φ300mm (Max.Φ12インチ、□220mm) 基板対応
ワーク(基板)の重量
ワークの重量についてはご相談ください
カップ内径
Φ500mm
外形寸法
W560(ダンパー含め625)×D660(排気口付762)×H扉閉365(扉開893)mm
※仕様(設置場所制限により高さ抑えています)によって変わりますので参考値とお考え下さい
※仕様(設置場所制限により高さ抑えています)によって変わりますので参考値とお考え下さい
電源
電源とACサーボモータの出力は基板サイズと重量により別途決定いたします
回転制御速度 / 回転精度
0~5000rpm/±1rpm以下 (負荷に応じて要相談)
基板吸着圧力
-70 ~ -80kPa
真空ポンプ排気量 12L/min以上必要
(装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
(装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
プログラムステップ数・パターン数
表示画面
液晶表示(表示20文字4行)
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法
マイコン制御(テンキー入力でプログラム簡単)
本体外装カバー・カップ材質
SUS304 電解研磨(オプションにてテフロンコーティング可)
安全カバー材質
透明エンビ
安全対策
安全カバーマグネットセンサ付インターロック機能
(カバー開時レシピスタートしない&回転中カバー開で自動回転停止)
基板吸着圧力のインターロック機能(未吸着時は回転しない)
非常停止ボタン
(カバー開時レシピスタートしない&回転中カバー開で自動回転停止)
基板吸着圧力のインターロック機能(未吸着時は回転しない)
非常停止ボタン
重量
約45kg
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
受注後の標準納期
都度ご確認ください