ACT-300AⅡ-H
内蔵ヒーターで試料台を温めながらスピンコート
Φ6インチウェハ対応（Φ150／□110mm基板）対応
特徴
  • ・熱硬化が必要なスピンコート液に効果的なスピンコーター
  • ・アルミ製試料台の直下にヒーターを内蔵
  • ・表面温度：常温～150℃±5℃（PID制御）
  • ・温度安定迄の時間：約20分間
  • ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
  • ・安全カバーには滴下用穴（スライドフタ付）があり回転中も滴下が可能
  • ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室～大手企業・大学、官公庁
仕様
基板サイズ
Φ5～Φ150mm （Max.Φ6インチ、□110mm） 基板対応
カップ内径
Φ300mm
外形寸法（mm）
W350×D450×H338（安全カバー閉時、アジャスタ付水平調整可能）
電源
1Φ 100V-10A（ACサーボモーター200W）50 / 60Hz
回転制御速度 / 回転精度
0～6000rpm/±1rpm以下 (負荷時)
最高回転数までの加速時間
6000rpm/1.5sec以下（標準負荷時）
基板吸着圧力
-70 ～ -80kPa
真空ポンプ排気量　12L/min以上
（装置側　外径Φ6チューブワンタッチ接続）
プログラムステップ数・パターン数
10ステップ・100パターン（プログラムメモリ機能標準）
20ステップ・50パターンに変更可能（ご注文時にご指定ください）
50ステップ・20パターンに変更可能（ご注文時にご指定ください）
表示画面
液晶表示（表示20文字4行）
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法
マイコン制御（テンキー入力でプログラム簡単）
本体外装カバー・カップ材質
SUS304 電解研磨（オプションにてテフロンコーティング可）
安全対策
インターロックセンサー付き安全カバー（回転中カバー開で自動回転停止）
基板吸着圧力のインターロック機能付き（未吸着時は回転しない）
重量
約30kg
受注後の標準納期
約60日間（都度ご確認ください）
※仕様詳細はお打ち合わせの上、ご要望に沿うように決定してまいります。
※上記基本スペックは搭載オプション・仕様により変更になる可能性がございます。
※是非一度お問い合わせ下さい。
価格表
オプション価格
基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択：アルミ（テフロンコーティング選択可）
別途御見積
¥65,000～仕様による
真空ポンプ
（基板吸着用）
・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ30S　接続口改造
・排気速度(L/min)：24/30(50/60Hz)
・真空チューブ　Φ6 × 3m　透明ウレタン製
￥73,000
・小型ダイアフラム式ドライ真空ポンプ12S　接続口改造
・排気速度(L/min)：12/14(50/60Hz)
・真空チューブ　Φ6×3ｍ　透明ウレタン製
￥40,000
レシピスタート ～ 終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない
￥120,000
カップ＆インナーカップ内面テフロンコーティング
￥50,000
基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製（デルリン製）
別途御見積
¥60,000～仕様による
・50mlディスポシリンジ加圧式（滴下量時間制御）
・1L加圧タンク方式（滴下量時間制御）
・マイクロシリンジ方式（滴下量マイクロリットル制御）
・電動マイクロピペッター方式（滴下量マイクロリットル制御）
別途御見積
お客様の希望に合わせて安価に設計・製作いたします。
別途御見積
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