丸基板ならMAXφ150mm、四角基板ならMAX□110mmまで対応
特徴
- ・加熱が必要なスピンコート液に効果的なスピンコーター
- ・アルミ製試料台の直下にヒーターを内蔵
- ・表面温度:常温~150℃±5℃(PID制御)
- ・温度安定迄の時間:約20分間
- ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
- ・安全カバーには滴下用穴(スライドフタ付)があり回転中も滴下が可能
- ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室~大手企業・大学、官公庁
サンプルテスト承ります
φ150mm基板であれば、ご来社いただいてのサンプルテストが可能です。
お問い合わせ下さい。
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仕様
基板サイズ
Φ5~Φ150mm (Max.Φ6インチ、□110mm) 基板対応
カップ内径
Φ300mm
外形寸法(mm)
W350×D450×H338(安全カバー閉時、アジャスタ付水平調整可能)
電源
1Φ 100V-10A(ACサーボモーター200W)50 / 60Hz
回転制御速度 / 回転精度
0~6000rpm/±1rpm以下 (負荷時)
最高回転数までの加速時間
6000rpm/1.5sec以下(標準負荷時)
基板吸着圧力
-70 ~ -80kPa
真空ポンプ排気量 12L/min以上
(装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
(装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
プログラムステップ数・パターン数
表示画面
液晶表示(表示20文字4行)
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法
マイコン制御(テンキー入力でプログラム簡単)
本体外装カバー・カップ材質
SUS304 電解研磨(オプションにてテフロンコーティング可)
安全対策
インターロックセンサー付き安全カバー(回転中カバー開で自動回転停止)
基板吸着圧力のインターロック機能付き(未吸着時は回転しない)
基板吸着圧力のインターロック機能付き(未吸着時は回転しない)
重量
約30kg
受注後の標準納期
約60日間(都度ご確認ください)
価格表
オプション価格
真空ポンプ
(基板吸着用)
(基板吸着用)
・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ30S 接続口改造
・排気速度(L/min):24/30(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6 × 3m 透明ウレタン製
・排気速度(L/min):24/30(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6 × 3m 透明ウレタン製
¥73,000
・小型ダイアフラム式ドライ真空ポンプ12S 接続口改造
・排気速度(L/min):12/14(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
・排気速度(L/min):12/14(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥40,000
・50mlディスポシリンジ加圧式(滴下量時間制御)
・1L加圧タンク方式(滴下量時間制御)
・マイクロシリンジ方式(滴下量マイクロリットル制御)
・電動マイクロピペッター方式(滴下量マイクロリットル制御)
・1L加圧タンク方式(滴下量時間制御)
・マイクロシリンジ方式(滴下量マイクロリットル制御)
・電動マイクロピペッター方式(滴下量マイクロリットル制御)
別途御見積