ACT-300AⅡ-H
内蔵ヒーターで試料台を温めながらスピンコート
Φ6インチウェハ対応
丸基板ならMAXφ150mm、四角基板ならMAX□110mmまで対応
スピンコーター ACT-300AⅡ-H(~φ150)
特徴
  • ・熱硬化が必要なスピンコート液に効果的なスピンコーター
  • ・アルミ製試料台の直下にヒーターを内蔵
  • ・表面温度:常温~150℃±5℃(PID制御)
  • ・温度安定迄の時間:約20分間
  • ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
  • ・安全カバーには滴下用穴(スライドフタ付)があり回転中も滴下が可能
  • ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室~大手企業・大学、官公庁
仕様
基板サイズ
Φ5~Φ150mm (Max.Φ6インチ、□110mm) 基板対応
カップ内径
Φ300mm
外形寸法(mm)
W350×D450×H338(安全カバー閉時、アジャスタ付水平調整可能)
電源
1Φ 100V-10A(ACサーボモーター200W)50 / 60Hz
回転制御速度 / 回転精度
0~6000rpm/±1rpm以下 (負荷時)
最高回転数までの加速時間
6000rpm/1.5sec以下(標準負荷時)
基板吸着圧力
-70 ~ -80kPa
真空ポンプ排気量 12L/min以上
(装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
プログラムステップ数・パターン数
10ステップ・100パターン(プログラムメモリ機能標準)
20ステップ・50パターンに変更可能(ご注文時にご指定ください)
50ステップ・20パターンに変更可能(ご注文時にご指定ください)
表示画面
液晶表示(表示20文字4行)
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法
マイコン制御(テンキー入力でプログラム簡単)
本体外装カバー・カップ材質
SUS304 電解研磨(オプションにてテフロンコーティング可)
安全対策
インターロックセンサー付き安全カバー(回転中カバー開で自動回転停止)
基板吸着圧力のインターロック機能付き(未吸着時は回転しない)
重量
約30kg
受注後の標準納期
約60日間(都度ご確認ください)
※仕様詳細はお打ち合わせの上、ご要望に沿うように決定してまいります。
※上記基本スペックは搭載オプション・仕様により変更になる可能性がございます。
※是非一度お問い合わせ下さい。
価格表
オプション価格
基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択:アルミ(テフロンコーティング選択可)
別途御見積
¥65,000~仕様による
真空ポンプ
(基板吸着用)
・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ30S 接続口改造
・排気速度(L/min):24/30(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6 × 3m 透明ウレタン製
¥73,000
・小型ダイアフラム式ドライ真空ポンプ12S 接続口改造
・排気速度(L/min):12/14(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥40,000
レシピスタート ~ 終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない
¥120,000
カップ&インナーカップ内面テフロンコーティング
¥50,000
基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製(デルリン製)
別途御見積
¥60,000~仕様による
・50mlディスポシリンジ加圧式(滴下量時間制御)
・1L加圧タンク方式(滴下量時間制御)
・マイクロシリンジ方式(滴下量マイクロリットル制御)
・電動マイクロピペッター方式(滴下量マイクロリットル制御)
別途御見積
お客様の希望に合わせて安価に設計・製作いたします。
別途御見積
How to スピンコーター
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