丸基板ならMAXφ300mm、四角基板ならMAX□220mmまで対応
（スピンコート機）
ACT-500AⅡ
特徴
- ・高性能で費用対効果が高く、研究～生産用と幅広く適合
- ・卓上型が可能な最大サイズ
- ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
- ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
- ・非常停止ボタンを標準装備
- ・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
- ・自動搬送ロボットにも対応可能（特注仕様）
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室～大手企業・大学、官公庁
デモ機・サンプルテスト
220・300・400サイズであればデモ機の貸し出しやサンプルテストを承っております。
ご依頼は下記よりお問い合わせ下さい。
ご依頼は下記よりお問い合わせ下さい。
仕様
基板サイズ
Φ5～Φ300mm （Max.Φ12インチ、□220ｍｍ） 基板対応
ワーク（基板）の重量
ワークの重量についてはご相談ください
カップ内径
Φ500mm
外形寸法
W560(ダンパー含め625)×D660(排気口付762)×H扉閉365(扉開893)mm
※仕様（設置場所制限により高さ抑えています）によって変わりますので参考値とお考え下さい
※仕様（設置場所制限により高さ抑えています）によって変わりますので参考値とお考え下さい
電源
電源とACサーボモータの出力は基板サイズと重量により別途決定いたします
回転制御速度 / 回転精度
0～5000rpm/±1rpm以下 (負荷に応じて要相談）
基板吸着圧力
-70 ～ -80kPa
真空ポンプ排気量 12L/min以上必要
（装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続）
（装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続）
プログラムステップ数・パターン数
表示画面
液晶表示（表示20文字4行）
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法
マイコン制御（テンキー入力でプログラム簡単）
本体外装カバー・カップ材質
SUS304 電解研磨（オプションにてテフロンコーティング可）
安全カバー材質
透明エンビ
安全対策
安全カバーマグネットセンサ付インターロック機能
（カバー開時レシピスタートしない＆回転中カバー開で自動回転停止）
基板吸着圧力のインターロック機能（未吸着時は回転しない）
非常停止ボタン
（カバー開時レシピスタートしない＆回転中カバー開で自動回転停止）
基板吸着圧力のインターロック機能（未吸着時は回転しない）
非常停止ボタン
重量
約45kg
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
受注後の標準納期
都度ご確認ください
価格表
オプション価格
Q&A
例えば、自動滴下やエッジリンス、バックリンス、クリーンユニット、排気をとる機能、廃液の回収機能など、 お客様のご希望の仕様に合わせたスピンコーターを製作できます。
スピンコーター本体の背面に記載しております機種名（MODEL）とシリアル番号（S/No）、 症状をご連絡頂ければ担当者がサポートします。
またスピンコートのサンプルテストも行っております。
※ご返送時の送料はご負担願います。
※試料台は弊社所持の試料台であれば無償ですが、新規製作の場合は有償となります。
膜厚が均一化されず塗布ムラがある、実験テーマが変わった、基板・薬液を変えたら上手くいかない、などお困りの状況をお知らせいただけましたら、知りうる情報をご提供いたします。
当社との取引が無い場合でも無料で膜厚相談を承っております。
製品についてお問い合わせ
※機種選定にお悩みの方、ご質問などもこちらから受け付けております。
関連製品
各種お問い合わせ窓口
