丸基板ならMAXφ150mm、四角基板ならMAX□110mmまで対応
マイクロシリンジポンプ式
（スピンコート機）
ACT-300AⅡS
上記製作例では下記等も搭載されております
- ・天面にクリーンエアーの吸気口
- ・スピンコート時のフタ閉め機構
特徴
- ・積層（多層膜）の成膜作成に適した高精度な自動滴下スピンコーター
- ・マイクロシリンジポンプは最大で15台連結可能
- ・シリンジ容量は2.5ml・5ml・10mlより選択可能
- ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
- ・非常停止ボタンを標準装備
- ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
- ・スピンドル部のチラー冷却により成膜の安定性が向上
- ・角基板の4隅部の成膜性向上ユニット搭載
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室～大手企業・大学、官公庁
デモ機・サンプルテスト
標準機の220・300サイズは無償でデモ機の貸し出しやサンプルテストを承っております。
ご依頼は下記よりお問い合わせ下さい。
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仕様
基板サイズ
Φ5～Φ150mm （Max.Φ6インチ、□110mm） 基板対応
カップ内径
Φ300mm
外形寸法（mm）
W785×D700×H900（アジャスタ付水平調整可能）
マイクロシリンジポンプ3台搭載時 搭載台数変更時は別途決定
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
マイクロシリンジポンプ3台搭載時 搭載台数変更時は別途決定
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
電源
1Φ 100Ｖ－10Ａ （ACサーボモータ200Ｗ） 50／60Ｈｚ
回転制御速度 / 回転精度
0～6000rpm/±1rpm以下 (負荷時)
最高回転数までの加速時間
6000rpm/1.5sec以下（標準負荷時）
基板吸着圧力
-70 ～ -80kPa
真空ポンプ排気量 12L/min以上
（装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続）
（装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続）
プログラムステップ数・パターン数
表示画面
液晶表示 (表示40文字4行)
レシピNo.、吸着圧力、回転数、加減速時間、回転時間、ノズル選択、ノズルSTART・STOP座標入力 が常時表示
レシピNo.、吸着圧力、回転数、加減速時間、回転時間、ノズル選択、ノズルSTART・STOP座標入力 が常時表示
制御方法
マイコン制御（テンキー入力でプログラム簡単）
本体外装カバー・カップ材質
SUS304 電解研磨（オプションにてテフロンコーティング可）
安全対策
安全カバーマグネットセンサ付インターロック機能
（カバー開時レシピスタートしない＆回転中カバー開で自動回転停止）
基板吸着圧力のインターロック機能（未吸着時は回転しない） 非常停止ボタン
（カバー開時レシピスタートしない＆回転中カバー開で自動回転停止）
基板吸着圧力のインターロック機能（未吸着時は回転しない） 非常停止ボタン
重量
約40kg
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
受注後の標準納期
都度ご確認ください
価格表
オプション価格
Q&A
例えば、自動滴下やエッジリンス、バックリンス、クリーンユニット、排気をとる機能、廃液の回収機能など、 お客様のご希望の仕様に合わせたスピンコーターを製作できます。
スピンコーター本体の背面に記載しております機種名（MODEL）とシリアル番号（S/No）、 症状をご連絡頂ければ担当者がサポートします。
またスピンコートのサンプルテストも行っております。
※ご返送時の送料はご負担願います。
※試料台は弊社所持の試料台であれば無償ですが、新規製作の場合は有償となります。
膜厚が均一化されず塗布ムラがある、実験テーマが変わった、基板・薬液を変えたら上手くいかない、などお困りの状況をお知らせいただけましたら、知りうる情報をご提供いたします。
当社との取引が無い場合でも無料で膜厚相談を承っております。
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