ACT-200SM-S
MAX6万rpmの超高速回転
Φ3～φ50mm基板対応
スピンコーター　ACT-200SM-S（～φ50）
超高速回転スピンコーター
（スピンコート機）
ACT-200SM-S
特徴
  • ・MAX6万rpmの超高速回転仕様スピンコーター
  • ・φ20mm基板にて実績あり
  • ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
  • ・非常停止ボタンを標準装備
  • ・1ステップ×1パターン
  • ・回転時間設定は0.1-999.9secか1-9999sec
  • ・両面テープやピン保持による基板保持（真空吸着による保持方法はなし）
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室～大手企業・大学、官公庁
デモ機・サンプルテスト
標準機の220・300サイズは無償でデモ機の貸し出しやサンプルテストを承っております。
ご依頼は下記よりお問い合わせ下さい。
仕様
基板サイズ
Φ3～Φ50ｍｍ基板対応
Φ20mm基板における実績あり
※試料台の外形サイズと最大回転数については要相談
カップ内径（mm）
Φ200 アルミ製（オプションにてテフロンコーティング可）
本体外形寸法（mm）
W355×D250×H326（安全カバー閉時、アジャスタ付水平調整可能）
電源
1Φ　100Ｖ－10Ａ （スピンドルモーター最大出力350Ｗ） 50／60Ｈｚ
回転制御速度 / 回転精度
1,000～60,000rpm/±1rpm以下 (φ20mm試料台負荷での実績値)
出荷時リミッタ設定可能
最高回転数までの加速時間
60,000rpm/2sec以下（φ20mm試料台標準負荷時）
基板固定方法
両面テープ・ピン保持（一般的な真空吸着による保持方法は無し）
プログラムステップ数・パターン数
1ステップ・1パターン
回転時間設定：0.1～999.9sec or 1～9999sec
表示画面
液晶表示 ： 設定回転数、設定回転時間の表示
制御方法
モータコントローラー、設定タイマーによる制御
本体外装カバー材質
SUS304 電解研磨（オプションにてテフロンコーティング可）
安全対策
安全カバーマグネットセンサ付インターロック機能
（カバー開時レシピスタートしない＆回転中カバー開で自動回転停止）
非常停止ボタン
重量
約18kg
受注後の標準納期
都度ご確認ください
※仕様詳細はお打ち合わせの上、ご要望に沿うように決定してまいります。
※上記基本スペックは搭載オプション・仕様により変更になる可能性がございます。
※是非一度お問い合わせ下さい。
価格表
オプション価格
基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択：SUS304
別途御見積
レシピスタート ～ 終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない
￥145,000
カップ＆インナーカップのテフロンコーティング
別途御見積
¥110,000～仕様による
Q&A
  • スピンコーター標準機に求める性能がないのですが？
    • 特注対応もしておりますので一度ご相談ください。

    例えば、自動滴下やエッジリンス、バックリンス、クリーンユニット、排気をとる機能、廃液の回収機能など、 お客様のご希望の仕様に合わせたスピンコーターを製作できます。
  • 購入した商品の不具合や故障には対応してもらえますか？
    • ご対応致します。

    スピンコーター本体の背面に記載しております機種名（MODEL）とシリアル番号（S/No）、 症状をご連絡頂ければ担当者がサポートします。
  • 購入前にアクティブスピンコーターを試したいのですが？
    • 卓上型標準機においては、デモ機として2週間無料レンタルをしております。
    またスピンコートのサンプルテストも行っております。
    ※ご返送時の送料はご負担願います。
    ※試料台は弊社所持の試料台であれば無償ですが、新規製作の場合は有償となります。
  • 思うような成膜ができません。アドバイスはもらえますか？
    • ご対応致します。

    膜厚が均一化されず塗布ムラがある、実験テーマが変わった、基板・薬液を変えたら上手くいかない、などお困りの状況をお知らせいただけましたら、知りうる情報をご提供いたします。
    当社との取引が無い場合でも無料で膜厚相談を承っております。

      以下の内容でお問い合わせを送信します。
      よろしければ「この内容で送信」ボタンを押してください。

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