ACT-200SM-S
MAX6万rpmの超高速回転
Φ3~φ50mm基板対応
スピンコーター ACT-200SM-S(~φ50)
特徴
  • ・MAX6万rpmの超高速回転仕様スピンコーター
  • ・φ20mm基板にて実績あり
  • ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
  • ・非常停止ボタンを標準装備
  • ・1ステップ×1パターン
  • ・回転時間設定は0.1-999.9secか1-9999sec
  • ・両面テープによる基板保持(真空吸着による保持方法はなし)
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室~大手企業・大学、官公庁
仕様
基板サイズ
Φ3~Φ50mm基板対応
Φ20mm基板における実績あり
※試料台の外形サイズと最大回転数については要相談
カップ内径(mm)
Φ200 アルミ製(オプションにてテフロンコーティング可)
本体外形寸法(mm)
W355×D250×H326(安全カバー閉時、アジャスタ付水平調整可能)
電源
1Φ 100V-10A (スピンドルモーター最大出力350W) 50/60Hz
回転制御速度 / 回転精度
1,000~60,000rpm/±1rpm以下 (φ20mm試料台負荷での実績値)
出荷時リミッタ設定可能
最高回転数までの加速時間
60,000rpm/2sec以下(φ20mm試料台標準負荷時)
基板固定方法
両面テープ(一般的な真空吸着による保持方法は無し)
プログラムステップ数・パターン数
1ステップ・1パターン
回転時間設定:0.1~999.9sec or 1~9999sec
表示画面
液晶表示 : 設定回転数、設定回転時間の表示
制御方法
モータコントローラー、設定タイマーによる制御
本体外装カバー材質
SUS304 電解研磨(オプションにてテフロンコーティング可)
安全対策
インターロックセンサー付き安全カバー(回転中カバー開で自動回転停止)
非常停止ボタンを標準装備
重量
約18kg
受注後の標準納期
約45日間(都度ご確認ください)
※仕様詳細はお打ち合わせの上、ご要望に沿うように決定してまいります。
※上記基本スペックは搭載オプション・仕様により変更になる可能性がございます。
※是非一度お問い合わせ下さい。
価格表
オプション価格
基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択:SUS304
別途御見積
レシピスタート ~ 終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない
¥120,000
カップ&インナーカップ内面テフロンコーティング
¥50,000
How to スピンコーター
スピンコーター ご依頼の多い特注機