ACT-220AⅡ
小型・卓上型・低価格
Φ4インチウェハ対応
丸基板ならMAXφ100mm、四角基板ならMAX□70mmまで対応
スピンコーター ACT-220AⅡ(~φ100)
特徴
  • ・高性能かつ低価格で研究・実験用に最適
  • ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
  • ・安全カバーには滴下用穴(スライドフタ付)があり回転中も滴下が可能
  • ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
  • ・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室~大手企業・大学、官公庁
製品動画
※ 動画の装置は特注仕様で安全カバー中央の穴とフタが無いですが、標準機にはついております。
小窓があることで、回転中に安全カバーを開けなくとも手動でスピンコート液の滴下が可能です。
メリット

アクティブの人気機種<卓上型スピンコーターACT-220AⅡ>は弊社のスピンコーター標準機の中で最も小型のスピンコーターです。約18kgと女性でも持てる程度の重さで持ち運びができるため、場所を選ばずご使用いただけます。

低価格ながら10ステップ100パターンのプログラムで求める条件をだしやすいのも特徴です。

インターロックセンサー付きで基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で回転停止、と安全面にも配慮しています。

操作パネルがシンプルで簡単です。納品後すぐにご利用いただけます。わかりやすいマニュアルもお付けします。

スピンコートしたい基板がΦ100㎜または□70㎜以下であればおすすめのタイプです。

仕様
基板サイズ
Φ5~Φ100mm(Max.Φ4インチ、□70㎜)基板対応
ワーク(基板)の重量
200g以下(ご相談ください)
カップ内径
Φ220mm
外形寸法
W250×D330×H扉閉272(扉開500)mm
電源
1Φ 100V-10A(ACサーボモーター200W)50 / 60Hz
回転制御速度 / 回転精度
0~7000rpm/±1rpm以下(負荷時)
基板吸着圧力
-70 ~ -80kPa
真空ポンプ排気量 12L/min以上
(装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
プログラムステップ数・パターン数
10ステップ・100パターン(プログラムメモリ機能標準)
20ステップ・50パターンに変更可能(ご注文時にご指定ください)
50ステップ・20パターンに変更可能(ご注文時にご指定ください)
表示画面
液晶表示(表示20文字4行)
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法
マイコン制御(テンキー入力でプログラム簡単)
本体外装カバー・カップ材質
SUS304 電解研磨(オプションにてテフロンコーティング可)
安全対策
インターロックセンサー付き安全カバー(回転中カバー開で自動回転停止)
基板吸着圧力のインターロック機能付き(未吸着時は回転しない)
重量
約18kg
受注後の標準納期
約25日間(都度ご確認ください)
価格表
製品価格
本体価格
小型・卓上型・低価格機種
¥650,000
梱包・運賃費
国内一律 / 軒先渡し
¥10,000
オプション価格
基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択:POM、ダイフロン、テフロン、PEEK、アルミ
※アルミはテフロンコーティング選択可
別途御見積
¥65,000~仕様による
真空ポンプ
(基板吸着用)
・小型ダイアフラム式ドライ真空ポンプ12S 接続口改造
・排気速度(L/min):12/14(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥40,000
レシピスタート ~ 終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない
¥145,000
カップ&インナーカップ内面テフロンコーティング
¥50,000
各種お問い合わせ窓口
How to スピンコーター