高精度・高速回転スピンコーターのカップサイズφ220mm、ACT-220AⅡ-HSを製作することは可能です。

ただし標準機のACT-220AⅡとは異なり、本体サイズが小さくなりません。筐体に納める電装などが標準機に比べ多く、標準機のようにコンパクトにまとめることができない為です。

筐体のサイズ（外形）はACT-300AⅡ-HSと同等になり、コスト的にも差がありません。

現時点の課題ではφ100mm（□70mm）基板までスピンコートできれば十分であっても、将来的にスピンコートしたい基板が増えることも考え、カップサイズφ300mmのACT-300AⅡ-HSをご依頼いただくケースが多いです。

機種選定のご参考にして頂ければ幸いです。