スピンコーター高精度・高速回転仕様・オプション価格表
(価格単位:円)
高速回転仕様 ACT-
220AⅡ-HS
ACT-
300AⅡ-HS
ACT-
400AⅡ-HS
ACT-
450AⅡ-HS
ACT-
500AⅡ-HS
ACT-
600AⅡ-HS
ACT-
700AⅡ-HS
回転数(rpm)
~MAX
0~14000 標準仕様よりも高回転仕様にすることは可能です
ご相談ください
回転制御 ±2rpm
対応基板MAXサイズ
(mm)
φ100 φ150 φ200 φ250 φ300 φ400 φ500

□70

□110 □150 □180 □220 □300 □360
納期 45日間
見積
試料台 65,000~(材質・サイズ・仕様によって変わります)




12S
排気量12L/min
40,000
40S
排気量40L/min
85,000
安全カバー電磁ロック 145,000
カップ内面
テフロンコーティング
50,000 60,000 70,000 80,000 150,000
センターリング
簡易治具
60,000~(基板サイズと材質によって変わります)
スイングアーム
&滴下ユニット
見積
特注 見積
※φ20mm程度の小さい基板であればMAX6万rpmまでの超高回転仕様ACT-200SM-Sもございます。
※高回転仕様でだせる回転数はスピンコートしたい基板等の条件により変わり、記載のMAX回転数に安全面からも設定できない場合がございます。回転数の詳細はご相談にて決定いたします。
※真空ポンプの排気量は50Hzの際のものです。
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