スピンコーター高精度・高速回転仕様
高粘度のスピンコート液に最適な高精度を維持した高速回転スピンコーター
3サイズを準標準機としてラインナップ
MAX14000±2rpmの高速回転で貴方の課題を解決いたします より大きな基板に対応する高速回転仕様スピンコーターも製作可能です。
ご相談下さい。
機種選定について
スピンコーティングしたい基板のMAXサイズより選定します。
価格表
スピンコートしたい基板のMAXサイズより選定します。高速回転以外にもお掃除のしやすさを高めるテフロンコートや自動滴下など様々なオプションを追加可能です。
スピンコーターの機種選定について
まずは回したい基板の最大サイズからスピンコーターの機種を選定いたします。

カップサイズφ300mmのACT-300AⅡ-HSが1番ご依頼の多い機種(サイズ)となります。

カップサイズφ220mmのACT-220AⅡ-HSも製作可能ですが、電装を収める関係で筐体のサイズ(外形)はACT-300AⅡ-HSと同等になり、コスト的にも大差ありません。

回転数が14000rpmでは足りない場合、φ20mm程度の基板であればMAX6万rpmの超高速回転スピンコーターACT-200SM-Sもご検討ください。

スピンコートしたい基板がフィルム状で薄い、厚みがある、基板材質が軽く浮きやすいものである、粘度の高い液体をスピンコートしたい、など求められる条件はお客様により様々です。求める性能、基板の材質・形状や、滴下する薬液によって適切なオプションも異なります。お気軽にご相談下さい。

実機購入を悩んでいるお客様の為にデモ機の貸し出しサンプルテストのご依頼も承っておりますので是非ご利用ください

機種

基板サイズ(mm)

φ5~100

φ150

φ200

φ250

φ300

φ400

φ500

□5~70

□110

□150

□180

□220

□300

□360

ACT-220Ⅱ-HS

 

 

 

 

 

 

ACT-300AⅡ-HS

 

 

 

 

 

ACT-400AⅡ-HS

 

 

 

 

ACT-450AⅡ-HS

 

 

 

ACT-500AⅡ-HS

 

 

ACT-600AⅡ-HS

 

ACT-700AⅡ-HS

スピンコーター高精度・高速回転仕様・オプション価格表
高速回転仕様 ACT-
220AⅡ-HS
ACT-
300AⅡ-HS
ACT-
400AⅡ-HS
ACT-
450AⅡ-HS
ACT-
500AⅡ-HS
ACT-
600AⅡ-HS
ACT-
700AⅡ-HS
回転数(rpm)
~MAX
0~14000 標準仕様よりも高回転仕様にすることは可能です
ご相談ください
回転制御 ±2rpm
対応基板MAXサイズ
(mm)
φ100 φ150 φ200 φ250 φ300 φ400 φ500

□70

□110 □150 □180 □220 □300 □360
納期 45日間
見積
試料台 65,000~(材質・サイズ・仕様によって変わります)




12S
排気量12L/min
40,000
40S
排気量40L/min
85,000
安全カバー電磁ロック 120,000
カップ内面
テフロンコーティング
50,000 60,000 70,000 80,000 150,000
センターリング
簡易治具
60,000~(基板サイズと材質によって変わります)
スイングアーム
&滴下ユニット
見積
特注 見積
※φ20mm程度の小さい基板であればMAX6万rpmまでの超高回転仕様ACT-200SM-Sもございます。
※高回転仕様でだせる回転数はスピンコートしたい基板等の条件により変わり、記載のMAX回転数に安全面からも設定できない場合がございます。回転数の詳細はご相談にて決定いたします。
※真空ポンプの排気量は50Hzの際のものです。
How to スピンコーター
スピンコーターコラム
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