スピンコーターのよくあるご質問
お客様からよくお問い合わせを頂く内容です。その他ご不明点などございましたら、直接お問い合わせください。
スピンコーター本体だけで使用できますか?
使用できません。
別途、基板吸着用の真空ポンプと基板をのせる試料台が必要です。
ただし、真空吸着によらない基板固定法であれば真空ポンプは不要です。
プログラム運転ができて、プログラムが保存できるものはありますか?
ございます。
弊社のスピンコーターは全機種にプログラムメモリ機能を装備しております。
弊社独自のスピンコート技術により10ステップからなる100パターンのレシピを登録できます。
1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定する仕組みです。
20ステップ・50パターン、50ステップ・20パターンに変更も可能です。お問い合わせ下さい。
スピンコーター標準機が複数ありますが、価格が高い方が高性能ですか?
そうとも言えますし、違うとも言えます。
スピンコーター標準機の機種は基板のサイズでご選定ください。
より大きい基板をスピンコーティングできるスピンコーターは、基板をセットする場所(カップ)のサイズも大きくなりますので、本体も大きくなり、価格も高くなります。
また大きい基板は重さもでますので回転に使うモーターも力強いものになりますが、スピンコートのMAX回転数は減っていきます。
求めるスピンコートをするのにスピンコーター標準機仕様で回転数が足りない場合はご相談ください。
大きい基板に対応する自立型のスピンコーターを卓上型にすることはできますか?
推奨はしておりませんが、ご相談にはのれます。
スピンコーター標準機の ACT-220AⅡACT-300AⅡACT-400AⅡACT-450AⅡACT-500AⅡは卓上型ですが、大きい基板に対応可能な大型機である ACT-600AⅡACT-700AⅡは自立型で設計しております。
基板をセットするカップの内径が大きくなる分人が持てない重さとなり、簡単には持ち運びができないからです。また、高さもでるので普通の作業台にのせるとスピンコートしにくい作業高さとなり、専用の台をご用意いただくよりは自立型のほうが良いと考えております。
特注仕様の場合は同じカップ内径が標準機仕様で卓上型であってもスピンコーターの仕様内容によっては、スピンコートしやすいよう、また運搬しやすいように、自立型、あるいは専用架台付でお見積りすることがございます。
対応基板サイズ内であればどのサイズの基板もスピンコートできますか?
対応する試料台があれば可能です。
スピンコーター本体が対応する基板サイズであっても、その基板をのせる試料台が無ければスピンコートは行えません。
ひとつですべてのサイズに対応する試料台はスピンコーターのしくみ上製作できませんので、まずはスピンコートしたい基板のサイズをお決めください。複数ある場合はすべてお知らせください。
カップ内径をみるともっと大きな基板も回せそうですが?
物理的には回せます。
アクティブではスピンコートの安全面と塗膜の仕上がりを考慮して対応基板サイズを設定しております。
例えばACT-220AⅡのカップ内径はφ220mmですが、対応基板サイズは MAXφ100mmまでとしております。
物理的にはもっと大きい基板も回せますが、弊社では保証しておりません。カップ壁面が基板に近すぎると、遠心力でとばしたスピンコート液が跳ね返り、仕上がりに影響が出る可能性があるのも理由のひとつです。
オプションを何もつけないスピンコーターでも安全対策はされていますか?
しております。
スピンコーターには標準で安全カバーがつきます。回転中にカバーが開くと自動回転停止します。
オプションにはなりますが、回転中にそも安全カバーが開かないようにすることも可能です。
また、スピンコートしたい基板が真空吸着されていないと回転しません。ACT-450AⅡ以上には標準で非常停止ボタンも装備しております。
安全カバーのない状態で実験したいのですが?
可能です。
安全カバー不要という事であれば、そのように製作いたします。巻き込まれぬよう、十分にご注意の上ご使用ください。
また、「回転中にスピンコート液を滴下したい」という目的だけであれば、安全カバーの中央がスライドで開くようになっておりますので安全カバーありのままで問題ないです。
スピンコーター標準機に求める性能がないのですが?
特注対応もしております。
例えば、自動滴下やエッジリンス、バックリンス、クリーンユニット、排気をとる機能、廃液の回収機能、などの追加をご要望としてよく頂いております。 お客様にとって必要十分のスピンコート装置となる様、製作いたします。 是非ご相談ください。
安価なACT-220AⅡを特注仕様にできますか?
カップサイズをφ220mmで製作することは可能です。
ただ、標準機のACT-220AⅡは筐体そのものが小さくカスタマイズ分の電装を収納する余地のない、小型かつ安価であることに特化した機種になります。
電装部分をセパレートする分離式のような特注であれば別ですが、加熱式・高回転仕様・自動滴下仕様など多くの特注依頼においてカップサイズをφ220mmで製作しても、φ300mmで製作しても外形サイズ、コストに差が出ません。
その為、現時点の課題ではφ100mm(□70mm)基板までスピンコートできれば十分であっても、将来的にスピンコートしたい基板が増える可能性を考慮しカップサイズφ300mmでご依頼いただくケースが多いです。
スピンコーター、スピン洗浄機、スピン乾燥機、スピンエッチング装置の違いは?
用途の違いになります。
どれも回転による遠心力を用いて基板に結果を与える装置です。
アクティブ主力のスピンコーターは主に塗膜を得るために使われる機械です。スピン洗浄機はゴミなど不純物を取り除くために、スピン乾燥機は効率よく乾かすために、スピンエッチング装置は半導体製造工程のひとつに使われます。それぞれに適した工夫があります。これらはベースとなるスピンコーター標準機をカスタマイズして製作する特注機となります。
試料台は大は小を兼ねますか?
兼ねません。
基板を真空吸着する試料台吸着部のサイズと、基板のサイズが重要です。
吸着部に対して基板が小さい場合、真空吸着ができません。
逆に吸着部に対して基板が大きすぎる場合、スピンコートの回転による遠心力に負けて基板が吹っ飛ぶ危険性がございます。
アクティブではスピンコーティングしたい基板のサイズに合わせ、試料台を製作可能です。
複数の基板をひとつの試料台でスピンコーティングできますか?
基板サイズが近しければ可能です。
スピンコートしたい基板専用の試料台がおすすめではございますが、事前にご相談いただくことで、兼用として試料台を製作しております。
兼用が厳しい場合もございますので、まずはご相談ください。
見積にあるセンターリング治具は必要ですか?
見積に記載させていただいた場合は使用を推奨しております。
スピンコーティングの仕上がりを決める要素のひとつにきちんと中心があっているかが挙げられます。
大きな基板ですと目視であわせるのが難しくなってまいります。特にエッジリンスをする場合中心があっていないと基板の縁にしっかりと当らなくなりよい結果が出せません。
センターリング治具はこの中心あわせを助けるための治具になります。
代理店経由での販売でしょうか?
直接販売させていただいております。
もちろん、お客様のご希望される商社様経由でも販売可能です。
スピンコート装置は車上渡しでしょうか?
ご注文内容によります。
ACT-220AⅡACT-300AⅡACT-400AⅡ は宅配便で配送可能なサイズになりますので、軒先渡しです。
ACT-450AⅡACT-500AⅡ は主にボックスチャーター便を使用しておりますのでボックスが入れるところまでで、一ヶ所で積み下ろしとなります。
ACT-600AⅡACT-700AⅡ は主にチャーター便となりますので車上渡しです。
特注機になりますとカップサイズがφ300mmであっても標準仕様の ACT-300AⅡ より外形がサイズアップする場合は車上渡しとなるケースがございます。
配送方法に関してはご相談ください。
スピンコーター納入時に製品説明にきていただけますか?
可能です。
ただ、スピンコートの標準機であれば簡単に使えることを念頭に製作しておりますので、電話のサポート(無償)で足りると考えております。現地までお伺いすると別途費用が発生いたします。
特注機等で必要と思われる場合はお見積りの段階でオペトレ項目を入れております。
思うような成膜ができません。アドバイスはいただけますか?
はい、是非ご相談ください。
実験テーマが変わった、ご購入時とは違う基板、薬液でスピンコートしたら思うようにいかない、などお困りの状況(実験の目的、使用薬液の粘度などの特徴、基板の種類など)をお知らせいただけましたら、知りうる情報をご提供いたします。

例えば下記のようなアドバイスが可能です。
「お客様の使用するスピンコーター・薬液・基板にて、5μmの膜厚を得るための条件だしのプロセス相談」

粘度50cps程度、回転数1000rpm・SL(加速時間)3.0sec・TM(指定回転数でのキープ時間)30secでサンプルを製作してみてください。塗料(薬液)はできるだけ基板全面に滴下した方が良いです。
膜厚が5μmより厚ければ回転数を2000rpmに、薄ければ回転数を500rpmに変更して実験してください。
薬液を少なくしていく段階になったらSL3.0を0.0secに変更し、短時間で加速するように調整してください。
濡れ性(接触角)など、基板との相性により膜厚の条件が変わりますので何度かトライしてみてください。
スピンコーターを使うにあたり、安全対策以外に気を付けるべきことはありますか?
はい。
薬液が基板裏面から真空ラインに入り込まないようにご注意ください。
作業後は試料台を抜いて試料台の内径部と試料台を差し込む軸部を溶解液を含侵させた不織布等で良く拭き取ってください。
よくお寄せいただく下記トラブルの多くを未然に防ぐことができます。

・薬液が真空ラインに入り込んで試料台と主軸部が固着し抜けなくなった
・薬液が真空ラインに入り込んで真空ラインが詰まり基板吸着できなくなった
・薬液が真空ラインに入り込んで内部の電磁弁が動作不良を起こした
・試料台を落としたりぶつけたりして基板吸着圧力が上がらなくなった

もし真空ラインに薬液が回り込んでいる場合は、基板サイズと吸着面サイズが合っていない可能性もございますのでご相談ください。
購入した商品の不具合や故障には対応していただけますか?
ご対応致します。
ご安心ください。アクティブはスピンコーターの製造メーカーです。スピンコート装置のノウハウ・サポートには自信を持っております。
スピンコーター本体の背面に機種名(MODEL)とシリアル番号(S/No)が記載さ れておりますので、こちらの情報と症状をご連絡下さい。

故障の連絡はこちら
譲り受けた(中古購入の)スピンコーターに不具合があるのですが対応していただけますか?
ご対応致します。
ご安心ください。アクティブはスピンコーターの製造メーカーです。スピンコート装置のノウハウ・サポートには自信を持っております。
スピンコーター本体の背面に機種名(MODEL)とシリアル番号(S/No)が記載さ れておりますので、こちらの情報と症状をご連絡下さい。

故障の連絡はこちら
試料台だけ購入したいのですが?
可能です。
アクティブのスピンコーターをお使いの場合、スピンコーター本体の背面に機種名(MODEL)とシリアル番号(S/No)が記載されておりますので、こちらの情報と併せて、スピンコーティングしたい基板の厚みを含めたサイズ、形状(〇か□か)、材質(シリコン、ガラス、金属、フィルム、等)をお知らせください。
可能であればスピンコート液について、特に強酸・強アルカリ・高粘度など特徴的な場合は併せてお知らせいただけますとよりよいご提案が可能です。

お問い合わせはこちら
購入前にアクティブスピンコーターを試したいのですが?
可能です。
ご利用いただける機種や、試料台は限られますが、デモ機として2週間無料レンタルをしております。
恐れ入りますがご返却の際の送料はご負担ください。またスピンコートのサンプルテストも行っております。
お試しになりたい基板のサイズに合うデモ用試料台がない場合は有償となりますが製作することも可能です。
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