スピンエッチング装置・スピン洗浄機・スピン乾燥機

スピンエッチング装置、スピン洗浄機、スピン乾燥機などの装置も、スピンコーターに強いアクティブのスピン制御技術を活用して製作可能です。

スピン洗浄機

基板上面の目に見えないほどの小さなゴミ（パーティクル）や油分、その他汚染物質を除去する装置です。
半導体装置等の基板を洗浄する用途でご依頼頂くケースが多いです。
枚葉式・バッジ式や防爆構造、超音波洗浄など様々な機能を組み合わせた特注機種での製作が可能です。

スピン乾燥機

回転の遠心力と気流で乾燥を促す装置です。
スピン洗浄機と乾燥機の一体型機種も製作可能です。
特に半導体装置等の基板は取り扱いがデリケートになる場合が多いため、洗浄・乾燥の両方に対応した製品をご要望頂くことが多いです。

スピンエッチング装置

主に半導体製造において、事前処理にて露出させた必要な回路部分以外の不要な薄膜を、滴下した溶剤で腐食させ剥離させる装置です。

スピンコーター特注機と同じく、お客様のご要望に合わせてサイズや仕様をカスタマイズして造り上げます。
例えば酸化を防ぐため窒素ガス雰囲気の中で回すことや、数種類の溶剤を自動で滴下することも可能です。
スピン製品の製造実績が豊富なため、お客様の用途に合わせたアドバイス等も積極的に行っています。ぜひご相談ください。