試料台

スピンコートする基板をのせる台
試料台
試料台
アクティブスピンコーターを使用するのに必須のアイテムとなります。

スピンコートしたい基板の厚みを含めたサイズ・形状(〇か□か)・材質、スピンコート液の特性(粘度など)、真空吸着の有無等により適切な試料台が異なる為お客様ごとにご提案しております。材質はPOM、PTFE、PCTFE、PEEK、アルミ(アルマイト処理)から選定しております。アルミはテフロンコーティングを施すことも可能です。

真空吸着による基板固定においては、ひとつの基板に対しひとつの試料台があるのが理想です。

試料台の真空吸着部よりも小さい基板はのせられません。真空吸着用の穴や溝が基板で塞がれず真空経路に液を吸込み装置が故障します。

逆に大きな基板はのせられますが、試料台の真空吸着部に対して基板が大きすぎれば、回転中心を合わせにくくなり、偏心しやすくなり、回転の遠心力に負けて基板が吹っ飛ぶ危険が増します。

複数の基板をスピンコートする場合は可能であれば兼用として設計製作することが可能ですので、見積依頼時にはすべての基板情報を痛ければと思います。なお、試料台は後から追加でご注文いただくことも可能です。

センターリング治具

基板を手動で試料台の中心に乗せるのを助ける治具
センターリング治具は基板を試料台に正しくセットするのをサポートする道具です。回転中心に基板の中心をあわせることで回転中に基板が偏心するのを防げます。

スピンコーターは回転により塗膜を生成する為、中心がずれると成膜に影響がでやすい傾向にあります。

目視で回転中心を合わせるのが難しくなる大きな基板をスピンコートする場合や、エッジリンス搭載のスピンコーターにおすすめしております。エッジリンスはその名の通り基板のエッジ(縁)を洗う為、中心がズレていると上手く機能ない為です。

真空ポンプ

基板を真空吸着するためのポンプ
真空ポンプ
真空ポンプ
アクティブスピンコーターを使用するのに必要な基板吸着用の真空ポンプです。

基板のサイズ等により必要な排気量が異なります。アクティブスピンコーターと簡単に接続できるよう接続口を改造してあり、透明ウレタン製Φ6mm真空チューブが3m付属します。

なお、真空吸着でない手法でスピンコートすることも可能です。ご相談ください。

安全カバー電磁ロック

レシピスタートから終了までの間、安全カバーをロックする
標準仕様でもインターロックセンサー付き安全カバーがついていますが、更に安全性を求める場合はこちらのオプションをお選びください。回転中は安全カバーが開かない仕様になり、より安心です。

〇標準仕様
安全カバー開閉時インターロックセンサ(マグネットセンサ)付属
回転中安全カバー開で自動回転停止

〇オプション追加
標準仕様のマグネットセンサを、電磁ロック機構に変更
レシピスタート~終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない

電磁ロック 開
スピンコーターACT-220AⅡ+試料台+電磁ロック 扉開
電磁ロック 閉
スピンコーターACT-220AⅡ+試料台+電磁ロック 扉閉

カップ・インナーカップ テフロンコーティング

耐薬品性・メンテナンス性を向上させるテフロンコーティング
ステンレス製のカップ・インナーカップの接液部にテフロンコーティングを施すことで耐薬品性を向上させることが可能です。 ご使用の溶剤、コーティング液に応じてご選択いただくオプションとなります。

テフロンコートをすることでカップの洗浄が楽になるメリットもございます。

ステンレス製の本体外装カバーのテフロンコーティングもご要望がございましたらお受けしておりますのでご相談ください。

スイングアーム&滴下ユニット

スイングアームと溶液を滴下するユニットを搭載して特注仕様に
スピンコーター オプション
スピンコーター特注機イメージ
(スピンコート機)
スピンコートする溶液や、リンス液を滴下するユニットです。もっともご要望の多いのは自動スイングアームと合わせた特注仕様で「自動滴下スピンコーター」になります。滴下の系統も複数搭載することが可能です。滴下の方法はいくつかございますので、詳細をお伺いしつつ適切なスピンコーターを設計製作いたします。

自動スイングアームはXY軸だけでなくZ軸にもステッピングモーターを搭載することで高い精度の位置合わせが可能になります。また、複数の自動スイングアームを搭載することも可能です。

自動までは不要という場合は、手動スイングアーム仕様にも設計可能です。


滴下ユニットには実験用に手軽なPPシリンジ微加圧仕様、実験用にも量産用にも向く精密な制御が可能で複数搭載しやすいコンパクトサイズのマイクロシリンジ仕様・容量が多く量産用に向く加圧タンク仕様などがございます。電動マイクロピペッターを搭載することも可能です。また、複数の滴下ユニットをひとつのスイングアームに搭載することも可能です。


スピンコートの後工程、洗浄目的であるリンス機能(エッジリンス・バックリンス)には容量の多い加圧タンク仕様が向いております。同じリンス液であることが多いため、加圧タンクを兼用としてコストを抑えることが可能です。


洗浄や乾燥の機能を持たせる場合は、超音波ノズル・二流体ノズル・高圧スプレーノズル・N2(窒素ガス) or CDA(クリーンドライエアー)などを搭載します。

高回転仕様

高速回転にアップグレードした特注仕様に
標準機の仕様よりも高い回転数を必要とする場合はご相談ください。
よりパワーのあるモーターや、プーリー(滑車)の仕組みを併用することで回転数を上げることが可能です。

ACT-300AⅡHであればMAX12000rpmまで、ACT-220AⅡHであればモーターメーカー保証は12000rpmまでですが、実績としてはMAX14000rpmまで上げることができます。
φ20mm程度の小さい基板であればMAX6万rpmまでの超高回転仕様ACT-200SM-Sもございます。

それ以上のカップサイズを有する機種ですと基板重量などとの兼ね合いがございますので回転数についてはご相談ください。

高回転仕様でだせる回転数はスピンコートしたい基板等の条件により変わり、記載のMAX回転数に安全面からも設定できない場合がございます。特注仕様となりますので、詳細をお伺いしつつ適切な回転数のスピンコーターを設計製作いたします。

特注仕様

ご希望に合わせて安価に設計・製作する特注仕様
スピンコーター オプション
スピンコーター特注機イメージ
(スピンコート機)
お客様の目的やご要望を元に必要な各種ユニットを組み合わせて造り上げます。

薬液の自動滴下、液垂れ防止、エッジリンス・バックリンス対応、自動搬送ロボット対応、高回転仕様、簡易防爆、電装ボックス分離式、スピン乾燥、スピン洗浄、スピンエッチング・・・など、まずはご希望をお聞かせください。


詳細はスピンコーター特注機にてご案内しております。


特注仕様も標準機と同じくカップサイズで機種を呼び分けておりますが、標準機とは電装部分の造りなどが全く異なってまいります。

例えば、標準機のACT-300AⅡと特注機のACT-300AⅡSはカップ径こそφ300mmと同じになりますが、中身は全く異なる装置になります。

"標準機に自動滴下パーツをのせれば自動滴下が可能な特注機になる"といった単純な造りではない為、あとから標準機を特注機へ改造しようとすると内容にもよりますが結構な改造が必要になってしまう事もございます。

ご予算との兼ね合いもあるかと存じますが、特注仕様をご検討いただいている場合はまずご相談いただけますと幸いです。