人気の特注機　自動滴下スピンコーター

自動滴下スピンコーター
特徴
  • ・人気の特注機、自動滴下スピンコーター
  • ・自動スイングアーム付き
  • ・エッジリンスやバックリンスにも対応いたします
  • ・ご希望に合わせて特注機を制作しております
  • ・まずはお気軽にご相談ください
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産

製品動画

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製品情報

仕様

基板サイズ
仕様内容による（φ5基板～対応）
ワーク（基板）の重量
ワークの重量についてはご相談ください。
カップ内径
仕様内容による
外形寸法
仕様内容による
電源
仕様内容による
回転制御速度 / 回転精度
仕様内容による
基板吸着圧力
仕様内容による
プログラムステップ数・パターン数
10ステップ・100パターン（プログラムメモリ機能標準）
（変更希望の場合は見積り時にお知らせください）
表示画面
仕様内容による
制御方法
仕様内容による
本体外装カバー・カップ材質
仕様内容による
安全対策
安全カバーマグネットセンサ付インターロック機能
（カバー開時レシピスタートしない＆回転中カバー開で自動回転停止）
基板吸着圧力のインターロック機能（未吸着時は回転しない）
非常停止ボタン
重量
仕様内容による
受注後の標準納期
仕様内容による

価格表

製品価格
本体価格
特注機
要御見積
梱包・運賃費
国内一律 / 車上渡し
別途御見積
オプション
基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択：POM、PCTFE、PTFE、PEEK、アルミ
※アルミはテフロンコーティング選択可
別途御見積
真空ポンプ
（基板吸着用）
・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ40S　接続口改造
・排気速度(L/min)：40/46(50/60Hz)
・真空チューブ　Φ6×3ｍ　透明ウレタン製
￥85,000
・小型ダイアフラム式ドライ真空ポンプ12S　接続口改造
・排気速度(L/min)：12/14(50/60Hz)
・真空チューブ　Φ6×3ｍ　透明ウレタン製
￥45,000
レシピスタート ～ 終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない
￥145,000
カップ＆インナーカップのテフロンコーティング
別途御見積
基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製（POM+SUS304製）
別途御見積

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    よろしければ「この内容で送信」ボタンを押してください。

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