電装BOX分離式 スピンコーター

スピンコーター 電装ボックス分離式
φ5基板~対応(仕様による)
特徴
  • ・電装BOX分離式スピンコーターも作成可能です
  • ・簡易防爆仕様にも対応いたします
  • ・ご希望に合わせて特注機を制作しております
  • ・まずはお気軽にご相談ください
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
仕様
基板サイズ
仕様内容による。別途お知らせ致します。(φ5基板~対応)
ワーク(基板)の重量
ワークの重量についてはご相談ください。
カップ内径
仕様内容による。別途お知らせ致します。
外形寸法
仕様内容による。別途お知らせ致します。
電源
仕様内容による。別途お知らせ致します。
回転制御速度 / 回転精度
仕様内容による。別途お知らせ致します。
基板吸着圧力
仕様内容による。別途お知らせ致します。
プログラムステップ数・パターン数
10ステップ・100パターン(プログラムメモリ機能標準)
20ステップ・50パターンに変更可能(ご注文時にご指定ください)
50ステップ・20パターンに変更可能(ご注文時にご指定ください)
表示画面
仕様内容による。別途お知らせ致します。
制御方法
仕様内容による。別途お知らせ致します。
本体外装カバー・カップ材質
SUS304 電解研磨(オプションにてテフロンコーティング可)
安全対策
インターロックセンサー付き(回転中カバー開で自動回転停止)
重量
仕様内容による。別途お知らせ致します。
受注後の標準納期
仕様内容による。別途お知らせ致します。
価格表
製品価格
本体価格
特注機
要御見積
梱包・運賃費
国内一律 / 車上渡し
別途御見積
オプション
基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択:POM、PCTFE、PTFE、PEEK、アルミ
※アルミはテフロンコーティング選択可
別途御見積
真空ポンプ
(基板吸着用)
・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ40S 接続口改造
・排気速度(L/min):40/46(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥85,000
・小型ダイアフラム式ドライ真空ポンプ12S 接続口改造
・排気速度(L/min):12/14(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥40,000
レシピスタート ~ 終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない
¥145,000
カップ&インナーカップ 接液部のテフロンコーティング
別途御見積
基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製(POM+SUS304製)
別途御見積

各種お問い合わせ窓口

How to スピンコーター

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