ACT-300AⅡS
㎕レベルで制御可能・積層の作成に最適
Φ6インチウェハ対応
丸基板ならMAXφ150mm、四角基板ならMAX□110mmまで対応
スピンコーター ACT-300AⅡS(~φ150)
自動滴下スピンコーター
マイクロシリンジポンプ式
(スピンコート機)
ACT-300AⅡS
上記製作例では下記等も搭載されております
  • ・天面にクリーンエアーの吸気口
  • ・スピンコート時のフタ閉め機構
その他ご要望のオプションを搭載可能です
特徴
  • ・積層(多層膜)の成膜作成に適した高精度な自動滴下スピンコーター
  • ・マイクロシリンジポンプは最大で15台連結可能
  • ・シリンジ容量は2.5ml・5ml・10mlより選択可能
  • ・インターロックセンサー付き安全カバーが標準搭載
  • ・非常停止ボタンを標準装備
  • ・多段式で10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
  • ・スピンドル部のチラー冷却により成膜の安定性が向上
  • ・角基板の4隅部の成膜性向上ユニット搭載
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
主な導入先
小規模な研究室~大手企業・大学、官公庁
デモ機・サンプルテスト
標準機の220・300サイズは無償でデモ機の貸し出しやサンプルテストを承っております。
ご依頼は下記よりお問い合わせ下さい。
仕様
基板サイズ
Φ5~Φ150mm (Max.Φ6インチ、□110mm) 基板対応
カップ内径
Φ300mm
外形寸法(mm)
W785×D700×H900(アジャスタ付水平調整可能)
マイクロシリンジポンプ3台搭載時 搭載台数変更時は別途決定
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
電源
1Φ 100V-10A (ACサーボモータ200W) 50/60Hz
回転制御速度 / 回転精度
0~6000rpm/±1rpm以下 (負荷時)
最高回転数までの加速時間
6000rpm/1.5sec以下(標準負荷時)
基板吸着圧力
-70 ~ -80kPa
真空ポンプ排気量 12L/min以上
(装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
プログラムステップ数・パターン数
10ステップ・100パターン(プログラムメモリ機能標準)
20ステップ・50パターンに変更可能(ご注文時にご指定ください)
50ステップ・20パターンに変更可能(ご注文時にご指定ください)
表示画面
液晶表示 (表示40文字4行)
レシピNo.、吸着圧力、回転数、加減速時間、回転時間、ノズル選択、ノズルSTART・STOP座標入力 が常時表示
制御方法
マイコン制御(テンキー入力でプログラム簡単)
本体外装カバー・カップ材質
SUS304 電解研磨(オプションにてテフロンコーティング可)
安全対策
安全カバーマグネットセンサ付インターロック機能
(カバー開時レシピスタートしない&回転中カバー開で自動回転停止)
基板吸着圧力のインターロック機能(未吸着時は回転しない) 非常停止ボタン
重量
約40kg
※仕様によって変わりますので参考値とお考え下さい
受注後の標準納期
都度ご確認ください
※仕様詳細はお打ち合わせの上、ご要望に沿うように決定してまいります。
※上記基本スペックは搭載オプション・仕様により変更になる可能性がございます。
※是非一度お問い合わせ下さい。
価格表
オプション価格
基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択:POM、PCTFE、PTFE、PEEK、アルミ
※アルミはテフロンコーティング選択可
別途御見積
¥65,000~仕様による
真空ポンプ
(基板吸着用)
・小型ダイアフラム式ドライ真空ポンプ12S 接続口改造
・排気速度(L/min):12/14(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥40,000
レシピスタート ~ 終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない
¥145,000
カップ&インナーカップのテフロンコーティング
別途御見積
¥120,000~仕様による
基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製(POM+SUS304製)
別途御見積
¥70,000~仕様による
MAX14000rpmまで可能です。ご相談ください。
別途御見積
お客様の希望に合わせて安価に設計・製作いたします。
別途御見積
Q&A
  • スピンコーター標準機に求める性能がないのですが?
  • 特注対応もしておりますので一度ご相談ください。

    例えば、自動滴下やエッジリンス、バックリンス、クリーンユニット、排気をとる機能、廃液の回収機能など、 お客様のご希望の仕様に合わせたスピンコーターを製作できます。
  • 購入した商品の不具合や故障には対応してもらえますか?
  • ご対応致します。

    スピンコーター本体の背面に記載しております機種名(MODEL)とシリアル番号(S/No)、 症状をご連絡頂ければ担当者がサポートします。
  • 購入前にアクティブスピンコーターを試したいのですが?
  • 卓上型標準機においては、デモ機として2週間無料レンタルをしております。
    またスピンコートのサンプルテストも行っております。
    ※ご返送時の送料はご負担願います。
    ※試料台は弊社所持の試料台であれば無償ですが、新規製作の場合は有償となります。
  • 思うような成膜ができません。アドバイスはもらえますか?
  • ご対応致します。

    膜厚が均一化されず塗布ムラがある、実験テーマが変わった、基板・薬液を変えたら上手くいかない、などお困りの状況をお知らせいただけましたら、知りうる情報をご提供いたします。
    当社との取引が無い場合でも無料で膜厚相談を承っております。

      以下の内容でお問い合わせを送信します。
      よろしければ「この内容で送信」ボタンを押してください。

      興味のある製品

      お問い合わせ内容詳細

      お名前

      ふりがな

      会社名(学校・団体名)

      部署名

      電話番号

      メールアドレス

      ご住所

      郵便番号: -

      都道府県:

      市区町村:

      番地:

      ビル名:


      あなたにおすすめの製品

      各種お問い合わせ窓口

      How to スピンコーター

      スピンコーター ご依頼の多い特注機