人気の特注機 自動滴下スピンコーター
自動滴下スピンコーター
特徴
  • ・人気の特注機、自動滴下スピンコーター
  • ・自動スイングアーム付き
  • ・エッジリンスやバックリンスにも対応いたします
  • ・ご希望に合わせて特注機を制作しております
  • ・まずはお気軽にご相談ください
用途
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産
製品動画
※他のスピンコーター動画もアクティブのYouTubeでご覧いただけます※
仕様
基板サイズ
仕様内容による。別途お知らせ致します。(φ5基板~対応)
ワークの重量
ワークの重量についてはご相談ください。
カップ(内径)
仕様内容による。別途お知らせ致します。
外形寸法
仕様内容による。別途お知らせ致します。
電源
仕様内容による。別途お知らせ致します。
回転範囲 / 回転数精度
仕様内容による。別途お知らせ致します。
真空 Torr(mmHg)
仕様内容による。別途お知らせ致します。
表示画面
仕様内容による。別途お知らせ致します。
制御方法
仕様内容による。別途お知らせ致します。
本体外装カバー・カップ材質
ステンレス製 ミガキ#400標準
(オプションにてカップ&インナーカップ内面テフロンコーティング可)
安全カバー
インターロックセンサー付き(回転中カバー開で自動回転停止)
重量
仕様内容による。別途お知らせ致します。
受注後の標準納期
仕様内容による。別途お知らせ致します。
価格表
製品価格
本体価格
特注機
要御見積
梱包・運賃費
国内一律 / 車上渡し
別途御見積
オプション
基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択:デルリン、テフロン、PEEK、アルミ
※アルミはテフロンコーティング選択可
別途御見積
真空ポンプ
(基板吸着用)
・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ40S 接続口改造
・排気速度(L/min):40/46(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥85,000
・小型ダイアフラム式ドライ真空ポンプ12S 接続口改造
・排気速度(L/min):12/14(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥40,000
レシピスタート ~ 終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない
¥120,000
カップ&インナーカップ内面テフロンコーティング
別途御見積
基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製(デルリン製)
別途御見積
How to スピンコーター
スピンコーター ご依頼の多い特注機