高速回転仕様

まずは回したい基板の最大サイズからスピンコーターの機種を選定いたします。

カップサイズφ300mmのACT-300AⅡ-HSが1番ご依頼の多い機種（サイズ）となります。

カップサイズφ220mmのACT-220AⅡ-HSも製作可能ですが、電装を収める関係で筐体のサイズ（外形）はACT-300AⅡ-HSと同等になり、コスト的にも大差ありません。

回転数が12000rpmでは足りない場合、φ50mm程度の基板であればMAX6万rpmの超高速回転スピンコーターACT-200SM-Sもご検討ください。

スピンコートしたい基板がフィルム状で薄い、厚みがある、基板材質が軽く浮きやすいものである、粘度の高い液体をスピンコートしたい、など求められる条件はお客様により様々です。求める性能、基板の材質・形状や、滴下する薬液によって適切なオプションも異なります。お気軽にご相談下さい。

実機購入を悩んでいるお客様の為にデモ機の貸し出し、サンプルテストのご依頼も承っておりますので是非ご利用ください

高速回転仕様		ACT- 220AⅡ-HS	ACT- 300AⅡ-HS	ACT- 400AⅡ-HS	ACT- 450AⅡ-HS	ACT- 500AⅡ-HS	ACT- 600AⅡ-HS	ACT- 700AⅡ-HS
回転数(rpm) ～MAX		0～12000		標準仕様よりも高回転仕様にすることは可能ですご相談ください
回転制御		±2rpm
対応基板MAXサイズ (mm)		φ100	φ150	φ200	φ250	φ300	φ400	φ500
		□70	□110	□150	□180	□220	□300	□360
納期		45日間		見積
試料台		65,000円～（材質・サイズ・仕様によって変わります）
真空ポンプ	12S 排気量12L/min	40,000円					—
	40S 排気量40L/min	—					85,000円
安全カバー電磁ロック		145,000円
カップテフロンコート		見積
センターリング治具		70,000円～（基板サイズと材質によって変わります）
スイングアーム＆滴下ユニット		見積
特注		見積

SPIN COATER

スピンコーター高精度・高速回転仕様

スピンコーターの機種選定について

スピンコーター高精度・高速回転仕様・オプション価格表

How to スピンコーター

スピンコーターコラム

各種お問い合わせ窓口

機種		基板サイズ（mm）
		φ5～100	φ150	φ200	φ250	φ300	φ400	φ500
		□5～70	□110	□150	□180	□220	□300	□360
スピンコ｜タ｜高精度・高速回転仕様	ACT-220Ⅱ-HS
	ACT-300AⅡ-HS
	ACT-400AⅡ-HS
	ACT-450AⅡ-HS
	ACT-500AⅡ-HS
	ACT-600AⅡ-HS
	ACT-700AⅡ-HS