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高粘度のスピンコート液に最適な
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3サイズを準標準機としてラインナップ |
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MAX14000±2rpmの高速回転で貴方の課題を解決いたします | |
・ | ACT-220AⅡ-HS(準備中) |
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・ | ACT-400AⅡ-HS(準備中) |
より大きな基板に対応する高速回転仕様スピンコーターも製作可能です。 ご相談下さい。 |
機種選定について |
スピンコーティングしたい基板のMAXサイズより選定します。 |
価格表 |
スピンコートしたい基板のMAXサイズより選定します。高速回転以外にもお掃除のしやすさを高めるテフロンコートや自動滴下など様々なオプションを追加可能です。 |
まずは回したい基板の最大サイズからスピンコーターの機種を選定いたします。
ACT-220AⅡ-HSは最も小型の機種で安価で基板サイズの条件さえあえばおすすめです。
回転数が14000rpmでは足りない場合、φ20mm程度の基板であればMAX6万rpmの超高速回転スピンコーターACT-200SM-Sもご検討ください。
スピンコートしたい基板がフィルム上で薄い、厚みがある、基板材質が軽く浮きやすいものである、粘度の高い液体をスピンコートしたい、など求められる条件はお客様により様々です。求める性能、基板の材質・形状や、滴下する薬液によって適切なオプションも異なります。お気軽にご相談下さい。
機種 |
基板サイズ(mm) |
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φ5~100 |
φ200 |
φ250 |
φ300 |
φ400 |
φ500 |
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□5~70 |
□150 |
□180 |
□220 |
□300 |
□360 |
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ス ピ ン コ | タ | 高 精 度 ・ 高 速 回 転 仕 様 |
ACT-220Ⅱ-HS |
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ACT-400AⅡ-HS |
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ACT-450AⅡ-HS |
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ACT-500AⅡ-HS |
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ACT-600AⅡ-HS |
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ACT-700AⅡ-HS |
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(価格単位:円)
高速回転仕様 | ACT- 220AⅡ-HS |
ACT- 300AⅡ-HS |
ACT- 400AⅡ-HS |
ACT- 450AⅡ-HS |
ACT- 500AⅡ-HS |
ACT- 600AⅡ-HS |
ACT- 700AⅡ-HS |
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回転数(rpm) ~MAX |
0~14000 | 標準仕様よりも高回転仕様にすることは可能です ご相談ください |
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回転制御 | ±2rpm | |||||||
対応基板MAXサイズ (mm) |
φ100 | φ150 | φ200 | φ250 | φ300 | φ400 | φ500 | |
□70 |
□110 | □150 | □180 | □220 | □300 | □360 | ||
納期 | 45日間 |
見積 | ||||||
試料台 | 40,000~ | 100,000~ | ||||||
真 空 ポ ン プ |
12S 排気量12L/min |
40,000 | — | |||||
30S 排気量24L/min |
73,000 | |||||||
40S 排気量40L/min |
— | 85,000 | ||||||
安全カバー電磁ロック | 120,000 | |||||||
カップ内面 テフロンコーティング |
50,000 | 60,000 | 70,000 | 80,000 | 150,000 | 150,000 | ||
センターリング 簡易治具 |
30,000~ | 40,000~ | 60,000~ | |||||
スイングアーム &滴下ユニット |
— | 見積 | ||||||
特注 | 見積 |
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スピンコーターのカスタマイズ製品をお求めの方はこちらから。多種多様なニーズに応えるため、仕様選択が可能です。
スピン制御技術を活用したスピン洗浄機、スピン乾燥機、スピンエッチング装置も各御要望に合わせた製品が納入可能です。