スピンコーター高精度・高速回転仕様

高粘度のスピンコート液に最適な
高精度を維持した高速回転スピンコーター

３サイズを準標準機としてラインナップ
MAX14000±2rpmの高速回転で貴方の課題を解決いたします
・	ACT-220AⅡ-HS（準備中）
・	ACT-300AⅡ-HS
・	ACT-400AⅡ-HS（準備中）
より大きな基板に対応する高速回転仕様スピンコーターも製作可能です。ご相談下さい。

価格表

スピンコートしたい基板のMAXサイズより選定します。高速回転以外にもお掃除のしやすさを高めるテフロンコートや自動滴下など様々なオプションを追加可能です。

スピンコーターの機種選定について

まずは回したい基板の最大サイズからスピンコーターの機種を選定いたします。

ACT-220AⅡ-HSは最も小型の機種で安価で基板サイズの条件さえあえばおすすめです。
回転数が14000rpmでは足りない場合、φ20mm程度の基板であればMAX6万rpmの超高速回転スピンコーターACT-200SM-Sもご検討ください。

スピンコートしたい基板がフィルム上で薄い、厚みがある、基板材質が軽く浮きやすいものである、粘度の高い液体をスピンコートしたい、など求められる条件はお客様により様々です。求める性能、基板の材質・形状や、滴下する薬液によって適切なオプションも異なります。お気軽にご相談下さい。

機種		基板サイズ（mm）
		φ5～100	φ150	φ200	φ250	φ300	φ400	φ500
		□5～70	□110	□150	□180	□220	□300	□360
スピンコ｜タ｜高精度・高速回転仕様	ACT-220Ⅱ-HS
	ACT-300AⅡ-HS
	ACT-400AⅡ-HS
	ACT-450AⅡ-HS
	ACT-500AⅡ-HS
	ACT-600AⅡ-HS
	ACT-700AⅡ-HS

スピンコーター高精度・高速回転仕様・オプション価格表

（価格単位：円）

高速回転仕様		ACT- 220AⅡ-HS	ACT- 300AⅡ-HS	ACT- 400AⅡ-HS	ACT- 450AⅡ-HS	ACT- 500AⅡ-HS	ACT- 600AⅡ-HS	ACT- 700AⅡ-HS
回転数(rpm) ～MAX		0～14000			標準仕様よりも高回転仕様にすることは可能ですご相談ください
回転制御		±2rpm
対応基板MAXサイズ (mm)		φ100	φ150	φ200	φ250	φ300	φ400	φ500
		□70	□110	□150	□180	□220	□300	□360
納期		45日間		見積
試料台		40,000～					100,000～
真空ポンプ	12S 排気量12L/min	40,000					—
	30S 排気量24L/min	73,000
	40S 排気量40L/min	—				85,000
安全カバー電磁ロック		120,000
カップ内面テフロンコーティング		50,000		60,000	70,000	80,000	150,000	150,000
センターリング簡易治具		30,000～			40,000～		60,000～
スイングアーム＆滴下ユニット		—	見積
特注		見積

※φ20mm程度の小さい基板であればMAX6万rpmまでの超高回転仕様ACT-200SM-Sもございます。
※高回転仕様でだせる回転数はスピンコートしたい基板等の条件により変わり、記載のMAX回転数に安全面からも設定できない場合がございます。回転数の詳細はご相談にて決定いたします。
※真空ポンプの排気量は50Hzの際のものです。