高精度・高速回転スピンコーター(MAX14000rpm)

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スピンコーター高精度・高速回転仕様

ACT-300AⅡ-HS高速回転スピンコーター  

高粘度のスピンコート液に最適な
高精度を維持した高速回転スピンコーター

3サイズを準標準機としてラインナップ
MAX14000±2rpmの高速回転で貴方の課題を解決いたします
ACT-220AⅡ-HS(準備中)

ACT-300AⅡ-HS

ACT-400AⅡ-HS(準備中)
より大きな基板に対応する高速回転仕様スピンコーターも製作可能です。
ご相談下さい。

機種選定について
スピンコーティングしたい基板のMAXサイズより選定します。

価格表

スピンコートしたい基板のMAXサイズより選定します。高速回転以外にもお掃除のしやすさを高めるテフロンコートや自動滴下など様々なオプションを追加可能です。

スピンコーターの機種選定について

まずは回したい基板の最大サイズからスピンコーターの機種を選定いたします。

ACT-220AⅡ-HSは最も小型の機種で安価で基板サイズの条件さえあえばおすすめです。
回転数が14000rpmでは足りない場合、φ20mm程度の基板であればMAX6万rpmの超高速回転スピンコーターACT-200SM-Sもご検討ください。

スピンコートしたい基板がフィルム上で薄い、厚みがある、基板材質が軽く浮きやすいものである、粘度の高い液体をスピンコートしたい、など求められる条件はお客様により様々です。求める性能、基板の材質・形状や、滴下する薬液によって適切なオプションも異なります。お気軽にご相談下さい。

機種

基板サイズ(mm)

φ5~100

φ150

φ200

φ250

φ300

φ400

φ500

□5~70

□110

□150

□180

□220

□300

□360

ACT-220Ⅱ-HS

 

 

 

 

 

 

ACT-300AⅡ-HS

 

 

 

 

 

ACT-400AⅡ-HS

 

 

 

 

ACT-450AⅡ-HS

 

 

 

ACT-500AⅡ-HS

 

 

ACT-600AⅡ-HS

 

ACT-700AⅡ-HS

スピンコーター高精度・高速回転仕様・オプション価格表

(価格単位:円)

高速回転仕様 ACT-
220AⅡ-HS
ACT-
300AⅡ-HS
ACT-
400AⅡ-HS
ACT-
450AⅡ-HS
ACT-
500AⅡ-HS
ACT-
600AⅡ-HS
ACT-
700AⅡ-HS
回転数(rpm)
~MAX
0~14000 標準仕様よりも高回転仕様にすることは可能です
ご相談ください
回転制御 ±2rpm
対応基板MAXサイズ
(mm)
φ100 φ150 φ200 φ250 φ300 φ400 φ500

□70

□110 □150 □180 □220 □300 □360
納期 45日間
見積
試料台 40,000~ 100,000~




12S
排気量12L/min
40,000
30S
排気量24L/min
73,000
40S
排気量40L/min
85,000
安全カバー電磁ロック 120,000
カップ内面
テフロンコーティング
50,000 60,000 70,000 80,000 150,000 150,000
センターリング
簡易治具
30,000~ 40,000~ 60,000~
スイングアーム
&滴下ユニット
見積
特注 見積
※φ20mm程度の小さい基板であればMAX6万rpmまでの超高回転仕様ACT-200SM-Sもございます。
※高回転仕様でだせる回転数はスピンコートしたい基板等の条件により変わり、記載のMAX回転数に安全面からも設定できない場合がございます。回転数の詳細はご相談にて決定いたします。
※真空ポンプの排気量は50Hzの際のものです。

試料台/機能の詳細説明ページ

スピンコーター ご依頼の多い特注機

高精度・高回転
ACT-300AⅡ-HS
スピンコーター 高精度・高回転ACT-300AⅡ-HS
MAX14,000±2rpm
Φ6インチウェハ対応
(Φ150/□110mm基板)
 
超高速回転
ACT-200SM-S
スピンコーター 超高速回転ACT-200SM-S
1,000~60,000rpm±1%以下
φ20mm基板用試料台実績値
(Φ3~50mm基板対応)
精密自動滴下
ACT-300AⅡS
スピンコーター 精密自動滴下ACT-300AⅡS
マイクロシリンジポンプ
最大15台連結可能
Φ6インチウェハ対応
(Φ150/□110mm基板)
 
試料台加熱式
ACT-300AⅡ-H
スピンコーター 試料台加熱式ACT-300AⅡ-H
常温~150℃±5℃(PID制御)
Φ6インチウェハ対応
(Φ150/□110mm基板)

スピンコーター特注機に関するご案内はこちらから

スピンコーターのカスタマイズ製品をお求めの方はこちらから。多種多様なニーズに応えるため、仕様選択が可能です。

 

スピンエッチング装置・スピン洗浄機・スピン乾燥機に関するご案内はこちらから

スピン制御技術を活用したスピン洗浄機、スピン乾燥機、スピンエッチング装置も各御要望に合わせた製品が納入可能です。