スピンコーターの膜厚とは

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膜厚を均一にするスピンコーター

スピンコーターの膜厚とは

膜厚(膜の厚さ)を一定にするためには技術が必要ですが、スピンコーターを使用することで高品質の塗膜を効率よく均一に生成することができます。
薬液の粘度(粘性)や環境、温度などの変化によっても条件が変わってしまうことがあるため、これらによって膜厚を均一にすることができなくなる場合もあります。
微妙なズレが膜厚の条件を変えてしまい、結果的に膜圧のムラになってしまうため、いかに膜圧にムラができないようにする均一性が重要となります。

スピンコーターを選ぶ際の注意点

スピンコーターは半導体の製造や金属、レンズなどの幅広い分野で使用されていて、塗膜を効率よく生成させるために使用されるだけでなく、洗浄や乾燥コーティングなどにも利用することができます。
塗膜の厚みを均一にするために必要となってくるのがスピンコーターですが、薬液の粘度や性質に合わせたものでなければ膜厚を均等に保つことができなくなってしまいます。
基板の材質やサイズなどが合ったものを使用しないと、効果的な結果を得ることができなくなるので注意が必要です。

アクティブのスピンコーターは実績がある

アクティブのスピンコーターは、現在抱えている課題や要望に合わせて細かな設定をすることができます。
その種類は10ステップ・100パターンあるため、標準装備でも多くの試験状況の設定も可能となります。
1ステップの動作でも「加減数」「回転数」「キープ時間」を同時に設定できるので、レシピ設定も100通りと、様々な条件下での試験も可能です。

さらにオプションやカスタマイズ内容によっては、最高のスピンコーターとなり、今まで実現できなかった動作環境を作り出すこともできます。
アクティブのスピンコーターでは、100A~100μmの範囲でも実績があります。
膜厚のムラを抑え、正確な試験を行いたい場合はぜひアクティブのスピンコーターをご活用ください。
塗布対象となる基盤とコーティング用薬液をお送りいただくか、お立ち会いのもとでサンプルテストも行うことができます。

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