スピンコーターの膜厚とは

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実績あるスピンコーターならActive(アクティブ)

スピンコーターとは、高速回転の遠心力を使い平面な基材に塗膜を構成させる装置です。いかに理想通りの塗膜を得るか、それにはスピンコーターの能力と共にお使いいただく技術者の経験則に基づく環境設定が大きく影響します。

そこで重要となるのが回転プログラムの構築です。

アクティブのスピンコーターは、現在抱えている課題や要望に合わせて細かな設定をすることができます。10ステップ・100パターンで様々な条件の設定が可能です。1ステップの動作で「回転数」「加減速」「キープ時間」を同時に設定できるので、簡単に思い描く環境を実現できます。

上記仕様は全機種に標準装備されておりますが、さらに必要なオプションを追加したり、特注カスタマイズすることによりお客様専用のスピンコーターとなり、今まで実現できなかった動作環境を作り出すことも可能です。

膜厚のムラを抑え、正確な試験を行いたい場合はぜひアクティブのスピンコーターをご活用ください。アクティブのスピンコーターは、100Å~100μmの範囲で実績があります。

塗りたい薬液と基板がスピンコーターに適しているのかお悩みの方向けに、サンプルテストも行っております。塗布対象となる基板とコーティング用薬液をお送りいただく、あるいはお立ち会いのもとで行います。是非ご活用下さい。

均一な塗膜生成をご希望ならスピンコーターをご検討下さい

スピンコーターの膜厚とは

どのような手法を採用するにしても、膜厚を一定にするためには技術が必要ですが、スピンコーターは高品質の塗膜を効率よく均一に生成するのに長けた手段です。

薬液の粘度だけでなく、温度など環境の変化によっても条件は変わっていきます。求める均一性の精度はお客様によって異なりますが、デリケートな基板、薬液であればあるほど少しの変化で膜厚を均一にすることができなくなります。微妙なズレが膜厚の条件を変えてしまい、結果的に膜厚のムラに繋がるのです。

こうした難しい問題を解決するために、技術者の方は様々な条件を設定し実験を重ね適切な条件を探り出します。アクティブのスピンコーターなら必ずやそのお力になれる事でしょう。

スピンコーターを選ぶ際の注意点

スピンコーターは半導体の製造や金属、レンズなどの幅広い分野で使用され、塗膜を効率よく生成するだけでなく、スピンエッジングや洗浄や乾燥コーティングなどにも利用されています。

どの用途においても塗膜の厚みの均一さは課題となりますが、薬液の粘度や性質、基板の材質やサイズに合わせた仕様のスピンコーターと試料台を用いなければ課題達成が難しくなり、効果的な結果を得ることができなくなるので注意が必要です。

そうは言っても、いざ購入しようと選定を始め仕様をみたら、なにかひとつもの足りない事もあるでしょう。アクティブなら特注対応が可能です。

実際の現場では予算の問題もあり、なかなか満足のいく装置を入手できないこともあるでしょう。中古を考えるケースもあるかもしれません。その前にぜひ一度アクティブにご相談ください。

メーカーの目線でお客様のご要望をできる限り汲んだスピンコーター、試料台をご提案いたします。

スピンコーター購入をお悩みの方へ

How to スピンコーター

スピンコーターの構造  

スピンコーターの構造

スピンコーターの構造・部品の解説と、カップ内径・基板のサイズについて解説いたします。

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スピンコーターの設定について  

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アクティブのスピンコーターは、使用目的に合わせて、「回転数」「加減速」「キープ時間」を多彩に設定することが可能です。

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操作画面  

操作画面

アクティブのスピンコーターは、多彩なプログラムと操作がパネルで一覧。確認しながら操作できます。

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試料台物性表・資料耐薬データ  

試料台物性表・資料耐薬データ

スピンコーターの試料台物性表、および試料台耐薬データを紹介します。

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