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会社情報
ACT-300AⅡ
高性能仕様機種
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Φ6インチウェハ対応
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特徴 |
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| ・ | 高性能・高生産性かつ低価格のスピンコーター |
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安全カバーが標準装備 |
| ・ | 多段式で10ステップ・100パターン プログラムメモリ搭載 |
| ・ |
さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応 |
用途 |
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液晶などのディスプレイ関連、CD/DVDなどの光ディスク関連、 半導体関連、ナノテク/バイオ関連、太陽電池関連、住宅機材関連、 最先端医療関連 |
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仕様
| 基板サイズ | Φ5～Φ100 （Max.Φ6インチ、□110ｍｍ） 基板対応 |
| ワークの重量 | 300ｇ以下 （ご相談ください） |
| カップ（内径） | Φ300 （インナーカップΦ297） |
| 外形寸法 | 350w×450d×280h (安全カバー付325ｈ） |
| 電源 | 1Φ 100Ｖ－5Ａ （ACサーボモータ200Ｗ） 50／60Ｈｚ |
| 回転範囲/回転数精度 |
0～6000rpm/±1rpm以下 (負荷時)、0rpm指令可能 |
| 真空 Ｔｏｒｒ(mmHg) | 350Torr (mmHg) |
| 排気量12L/min以上 （装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続） | |
| ステップ数＆パターン数 | 10（20）ステップ・100（50）パターン （プログラムメモリ機能 標準） |
| 表示画面 | 液晶表示(表示20文字4行) レシピ、回転数、時間、圧力の表示 |
| 制御方法 | マイコン制御 （テンキー入力でプログラム簡単） |
| カップ材質 | ステンレス製 ミガキ＃400標準（テフロンコーティング可） |
| カップコーティング | オプション：テフロンコーティング （カップ＆インナーカップ内面） |
| 重量 | 約23Kg |
| 受注後納期 | 25日以内 |
価格表
| 本体価格 | 小型・低価格機種 | \730,000 |
| 梱包・運賃費 | 国内一律 /車上渡し | \20,000 |
オプション
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（納期 : 20日以内） |
基板サイズにより、打ち合わせ後製作 アルミ （テフロンコーティング選択可） |
\40,000～ |
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真空ポンプ （基板吸着用） |
・真空ポンプ30S （排気量24L/minダイヤフラム式） ・真空チューブ Φ6×3ｍ 透明ウレタン製 |
¥73,000 |
| ・小型真空ポンプ12S (排気量12L/minダイヤフラム式) ・真空チューブ Φ6×3ｍ 透明ウレタン製 |
¥40,000 | |
| 安全カバーセンサー |
・インターロックセンサー付き （回転中カバー開で自動回転停止） |
¥20,000 |
| 安全カバー電磁ロック |
・レシピスタート～終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない |
￥100,000 |
| カップ | ・カップ内面テフロンコーティング | ¥50,000 |
| センターリング簡易治具 |
・基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製 （デルリン製） |
¥30,000 |
| 滴下ユニット（1系統） | ・50mlディスポシリンジ加圧式 （滴下量時間制御） | ￥480,000 |
| ・1L加圧タンク方式 （滴下量時間制御） | ￥480,000 | |
| 特注仕様 | お客様の希望に合わせて安価に設計・製作いたします。 | 別途御見積 |
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