スピンコーターACT-300AⅡとは｜製造メーカーの株式会社アクティブ

液晶などのディスプレイ、CD/DVDなどの光ディスク、半導体、太陽電池、ナノテク/バイオ、住宅機材、最先端医療関連

基板サイズ	Φ5～Φ150 （Max.Φ6インチ、□110ｍｍ）基板対応
ワークの重量	300ｇ以下（ご相談ください）
カップ（内径）	Φ300 （インナーカップΦ297）
外形寸法	350w×450d×325h（安全カバー閉時）
電源	1Φ　100Ｖ－5Ａ（ACサーボモータ200Ｗ） 50／60Ｈｚ
回転制御速度/回転精度	0～6000rpm/±1rpm以下 (負荷時)
基板吸着圧力	-70～-80KPa
基板吸着圧力	真空ポンプ排気量　12L/min以上（装置側　外径Φ6チューブワンタッチ接続）
ステップ数＆パターン数	10ステップ・100パターン（プログラムメモリ機能　標準） 50ステップ・20パターンに変更可能（ご注文時にご指定下さい）
表示画面	液晶表示 (表示20文字4行) レシピ、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法	マイコン制御（テンキー入力でプログラム簡単）
本体外装カバー・カップ材質	ステンレス製　ミガキ＃400標準（オプションにてカップ＆インナーカップ内面テフロンコーティング可）
安全対策	インターロックセンサー付き安全カバー（回転中カバー開で自動回転停止）基板吸着圧力のインターロック機能付き（未吸着時は回転しない）
重量	約22Kg
受注後の標準納期	約25日間（都度ご確認ください）

本体価格	小型・卓上型・低価格機種	\730,000
梱包・運賃費	国内一律　/軒先渡し	\10,000

試料台（チャック）材質・耐薬データ（納期 : 約20日間）	基板サイズにより、打ち合わせ後製作材質選択：POM、ダイフロン、テフロン、ＰＥＥＫ、アルミ ※アルミはテフロンコーティング選択可	別途御見積 (¥40,000～)
真空ポンプ（基板吸着用）	・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ30S　接続口改造・排気速度(L/min)：24/30(50/60Hz) ・真空チューブ　Φ6×3ｍ　透明ウレタン製	¥73,000
真空ポンプ（基板吸着用）	・小型ダイアフラム式ドライ真空ポンプ12S　接続口改造・排気速度(L/min)：12/14(50/60Hz) ・真空チューブ　Φ6×3ｍ　透明ウレタン製	¥40,000
安全カバー電磁ロック	レシピスタート～終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない	¥120,000
カップ	カップ＆インナーカップ内面テフロンコーティング	¥50,000
センターリング簡易治具	基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製（デルリン製）	別途御見積 (¥60,000～)
滴下ユニット（1系統）	・50mlディスポシリンジ加圧式（滴下量時間制御）	別途御見積 (¥480,000～)
滴下ユニット（1系統）	・1L加圧タンク方式（滴下量時間制御）	別途御見積 (¥480,000～)
特注仕様	お客様の希望に合わせて安価に設計・製作いたします。	別途御見積