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会社情報
ACT-300AⅡ
小型・卓上型・低価格機種
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Φ6インチウェハ対応
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特徴 |
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| ・ | 高性能かつ低価格のスピンコーター |
| ・ | インターロックセンサー付き安全カバーが標準装備 |
| ・ | 安全カバーには滴下用穴（スライドフタ付）があり回転中も滴下が可能 |
| ・ | 多段式で10ステップ・100パターン プログラムメモリ搭載 |
| ・ | さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応 |
| ・ | 自動搬送ロボットにも対応可能（特注仕様） |
用途 |
| 液晶などのディスプレイ、CD/DVDなどの光ディスク、半導体、太陽電池、ナノテク/バイオ、住宅機材、最先端医療 関連 |
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製品動画
仕様
| 基板サイズ | Φ5～Φ150 （Max.Φ6インチ、□110ｍｍ） 基板対応 |
| ワークの重量 | 300ｇ以下 （ご相談ください） |
| カップ（内径） | Φ300 （インナーカップΦ297） |
| 外形寸法 | 350w×450d×325h（安全カバー閉時） |
| 電源 | 1Φ 100Ｖ－5Ａ （ACサーボモータ200Ｗ） 50／60Ｈｚ |
| 回転制御速度/回転精度 |
0～6000rpm/±1rpm以下 (負荷時) |
| 基板吸着圧力 | -70～-80KPa |
| 真空ポンプ排気量 12L/min以上 （装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続） | |
| ステップ数＆パターン数 |
10ステップ・100パターン （プログラムメモリ機能 標準） 50ステップ・20パターンに変更可能（ご注文時にご指定下さい） |
| 表示画面 | 液晶表示(表示20文字4行) レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示 |
| 制御方法 | マイコン制御 （テンキー入力でプログラム簡単） |
| 本体外装カバー・カップ材質 |
SUS304 電解研磨（オプションにてテフロンコーティング可） |
| 安全対策 |
インターロックセンサー付き安全カバー（回転中カバー開で自動回転停止） 基板吸着圧力のインターロック機能付き（未吸着時は回転しない） |
| 重量 | 約22Kg |
| 受注後の標準納期 | 約25日間（都度ご確認ください） |
価格表
| 本体価格 | 小型・卓上型・低価格機種 | \730,000 |
| 梱包・運賃費 | 国内一律 /軒先渡し | \10,000 |
オプション
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（納期 : 約20日間） |
基板サイズにより、打ち合わせ後製作
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別途御見積 (¥40,000～) |
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（基板吸着用） |
・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ30S 接続口改造 |
¥73,000 |
| ・小型ダイアフラム式ドライ真空ポンプ12S 接続口改造 ・排気速度(L/min)：12/14(50/60Hz) ・真空チューブ Φ6×3ｍ 透明ウレタン製 |
¥40,000 | |
| 安全カバー電磁ロック |
レシピスタート～終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない |
¥120,000 |
| カップ | カップ＆インナーカップ内面テフロンコーティング | ¥50,000 |
| センターリング簡易治具 |
基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製（デルリン製） |
別途御見積 (¥60,000～) |
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