本機種は2018年5月に生産を中止しています。
2023年までサポートは継続します。
安全カバーが標準装備
さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
液晶などのディスプレイ関連、CD/DVDなどの光ディスク関連、
半導体関連、ナノテク/バイオ関連、太陽電池関連、住宅機材関連、
最先端医療関連
Φ12インチウェハ対応(Φ300/□220mm基板)
電源 : 三相200V 20A
回転制御速度/回転精度 :
0~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)
Φ16インチウェハ対応(Φ400/□300mm基板)
0~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)
Φ20インチウェハ対応(Φ500/□360mm基板)
0~3000rpm/±5rpm以下(負荷に応じて要相談)
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