ACT-220DⅡ※生産終了

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本機種は2018年5月に生産を中止しています。

 

2023年までサポートは継続します。

 

後継新モデル(ACT-220AⅡ)はこちらから

 

小型・低価格機種

 

ACT-220DⅡスピンコーター  

Φ4インチウェハ対応
(Φ100/□70mm基板)対応

特徴
高性能・低価格のスピンコーター

安全カバーが標準装備

多段式で10ステップ・100パターン プログラムメモリ搭載

さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応

用途

液晶などのディスプレイ関連、CD/DVDなどの光ディスク関連、

半導体関連、ナノテク/バイオ関連、太陽電池関連、住宅機材関連、

最先端医療関連

後継機種

ACT-220AⅡ

スピンコーター標準機一覧

スピンコーター
ACT-220AⅡ
スピンコーター ACT-220AⅡ
本体価格 : \650,000
Φ4インチウェハ対応
(Φ100/□70mm基板)
 
スピンコーター
ACT-300AⅡ
スピンコーター ACT-300AⅡ
本体価格 : \730,000
Φ6インチウェハ対応
(Φ150/□110mm基板)
スピンコーター
ACT-400AⅡ
スピンコーター ACT-400AⅡ
本体価格 : \1,500,000
Φ8インチウェハ対応
(Φ200/□150mm基板)
 
スピンコーター
ACT-450AⅡ
スピンコーター ACT-450AⅡ
本体価格 : 要見積
Φ10インチウェハ対応
(Φ250/□180mm基板)
スピンコーター ACT-500AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-500AⅡ

Φ12インチウェハ対応
(Φ300/□220mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

詳細を見る
ACT-600AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-600AⅡ

Φ16インチウェハ対応
(Φ400/□300mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

詳細を見る
スピンコーター ACT-700AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-700AⅡ

Φ20インチウェハ対応
(Φ500/□360mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~3000rpm/±5rpm以下(負荷に応じて要相談)

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