ACT-220DⅡ

小型・低価格機種

ACT-220DⅡスピンコーター  

Φ4インチウェハ対応
(Φ100/□70mm基板)対応

特徴
高性能・高生産性かつ低価格のスピンコーター

安全カバーが標準装備

多段式で10ステップ・100パターン プログラムメモリ搭載

さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応

用途

液晶などのディスプレイ関連、CD/DVDなどの光ディスク関連、

半導体関連、ナノテク/バイオ関連、太陽電池関連、住宅機材関連、

最先端医療関連

       
 

ACT-220DⅡのメリット

ACT-220DⅡは持ち運びができるため場所を問わずご使用いただけます。
また操作パネルがシンプルのため簡単操作ができ、納品後すぐにご利用頂けます。
ポイントを押さえたわかりやすいマニュアルもお付けしています。
ご不明点がございましたらサポートまでお気軽にご連絡下さい。


主な導入先:小規模な研究室~大手企業・大学、官公庁

仕様

基板サイズ Φ10~Φ100 (Max.Φ4インチ、□70mm) 基板対応
ワークの重量 200g以下 (ご相談ください)
カップ(内径) Φ220 (インナーカップΦ217)
外形寸法 250w×330d×290h (安全カバー付330h)
電源 1Φ 100V-10A (DCモータ80W) 50/60Hz
回転範囲/回転数精度 300~8000rpm/±3rpm以下 (負荷時)
真空 Torr(mmHg) 350Torr(mmHg)
排気量12L/min以上必要 (装置側Φ6接続口)
ステップ数&パターン数 10ステップ・100パターン (プログラムメモリ機能 標準)
表示画面 蛍光表示管 (表示20文字4行) レシピ、回転数、時間の表示
制御方法 マイコン制御 (テンキー入力でプログラム簡単)
カップ材質 ステンレス製 ミガキ#400標準
カップコーティング オプション:テフロンコーティング (カップ&インナーカップ内面)
重量 約18Kg
受注後納期 25日以内

価格表

本体価格 小型・低価格機種

\600,000

梱包・運賃費 国内一律 /車上渡し \20,000

オプション

試料台(チャック)
材質、耐薬データ

(納期 : 20日以内)

基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択:デルリン、テフロン、PEEK

アルミ (テフロンコーティング選択可) 

\40,000~

真空ポンプ

(基板吸着用)

・真空ポンプ30S (排気量24L/minダイヤフラム式)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥73,000

・小型真空ポンプ12S (排気量12L/minダイヤフラム式)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製

¥40,000
安全カバーセンサー

・インターロックセンサー付き

(回転中カバー開で自動回転停止)

¥20,000
カップ ・カップ内面テフロンコーティング ¥50,000
センターリング簡易治具

・基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製

(デルリン製)

¥30,000

試料台/機能の詳細説明ページ