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会社情報
ACT-220DⅡ
小型・低価格機種
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Φ4インチウェハ対応
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特徴 |
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| ・ | 高性能・高生産性かつ低価格のスピンコーター |
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安全カバーが標準装備 |
| ・ | 多段式で10ステップ・100パターン プログラムメモリ搭載 |
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さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応 |
用途 |
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液晶などのディスプレイ関連、CD/DVDなどの光ディスク関連、 半導体関連、ナノテク/バイオ関連、太陽電池関連、住宅機材関連、 最先端医療関連 |
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ACT-220DⅡのメリット
ACT-220DⅡは持ち運びができるため場所を問わずご使用いただけます。
また操作パネルがシンプルのため簡単操作ができ、納品後すぐにご利用頂けます。
ポイントを押さえたわかりやすいマニュアルもお付けしています。
ご不明点がございましたらサポートまでお気軽にご連絡下さい。
主な導入先：小規模な研究室～大手企業・大学、官公庁
仕様
| 基板サイズ | Φ10～Φ100 （Max.Φ4インチ、□70ｍｍ） 基板対応 |
| ワークの重量 | 200ｇ以下 （ご相談ください） |
| カップ（内径） | Φ220 （インナーカップΦ217） |
| 外形寸法 | 250w×330d×290h (安全カバー付330ｈ） |
| 電源 | 1Φ 100Ｖ－10Ａ （DCモータ80Ｗ） 50／60Ｈｚ |
| 回転範囲/回転数精度 | 300～8000rpm/±3rpm以下 (負荷時) |
| 真空 Ｔｏｒｒ(mmHg) | 350Torr(mmHg) |
| 排気量12L/min以上必要 （装置側Φ6接続口） | |
| ステップ数＆パターン数 | 10ステップ・100パターン （プログラムメモリ機能 標準） |
| 表示画面 | 蛍光表示管 (表示20文字4行) レシピ、回転数、時間の表示 |
| 制御方法 | マイコン制御 （テンキー入力でプログラム簡単） |
| カップ材質 | ステンレス製 ミガキ＃400標準 |
| カップコーティング | オプション：テフロンコーティング （カップ＆インナーカップ内面） |
| 重量 | 約18Kg |
| 受注後納期 | 25日以内 |
価格表
| 本体価格 | 小型・低価格機種 |
\600,000 |
| 梱包・運賃費 | 国内一律 /車上渡し | \20,000 |
オプション
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(納期 : 20日以内） |
基板サイズにより、打ち合わせ後製作 アルミ （テフロンコーティング選択可） |
\40,000～ |
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真空ポンプ （基板吸着用） |
・真空ポンプ30S （排気量24L/minダイヤフラム式） ・真空チューブ Φ6×3ｍ 透明ウレタン製 |
¥73,000 |
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・小型真空ポンプ12S (排気量12L/minダイヤフラム式) |
¥40,000 | |
| 安全カバーセンサー |
・インターロックセンサー付き （回転中カバー開で自動回転停止） |
¥20,000 |
| カップ | ・カップ内面テフロンコーティング | ¥50,000 |
| センターリング簡易治具 |
・基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製 （デルリン製） |
¥30,000 |
試料台/機能の詳細説明ページ
