ACT-220DⅡ※生産終了

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本機種は2018年5月に生産を中止しています。

 

2023年までサポートは継続します。

 

※後継新モデル（ACT-220AⅡ）はこちらから

 

小型・低価格機種

 

ACT-220DⅡスピンコーター  

Φ4インチウェハ対応
（Φ100／□70mm基板）対応

特徴
・ 高性能・低価格のスピンコーター
・

安全カバーが標準装備
・ 多段式で10ステップ・100パターン　プログラムメモリ搭載
・

さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
用途

液晶などのディスプレイ関連、CD/DVDなどの光ディスク関連、

半導体関連、ナノテク/バイオ関連、太陽電池関連、住宅機材関連、

最先端医療関連
後継機種

ACT-220AⅡ

スピンコーター標準機一覧

スピンコーター
ACT-220AⅡ
スピンコーター　ACT-220AⅡ
本体価格 ： \650,000
Φ4インチウェハ対応
(Φ100／□70mm基板)
 
スピンコーター
ACT-300AⅡ
スピンコーター　ACT-300AⅡ
本体価格 ： \730,000
Φ6インチウェハ対応
(Φ150／□110mm基板)
スピンコーター
ACT-400AⅡ
スピンコーター　ACT-400AⅡ
本体価格 ： \1,500,000
Φ8インチウェハ対応
(Φ200／□150mm基板）
 
スピンコーター
ACT-450AⅡ
スピンコーター　ACT-450AⅡ
本体価格 ： 要見積
Φ10インチウェハ対応
(Φ250／□180mm基板)
スピンコーター　ACT-500AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-500AⅡ

Φ12インチウェハ対応
(Φ300／□220mm基板)

電源 : 三相200V　20A

回転制御速度/回転精度 :

0～5000rpm/±1rpm以下（負荷に応じて要相談）
詳細を見る
ACT-600AⅡ
本体価格 ： 要見積
 
スピンコーター
ACT-600AⅡ

Φ16インチウェハ対応
(Φ400／□300mm基板)

電源 : 三相200V　20A

回転制御速度/回転精度 :

0～5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談）
詳細を見る
スピンコーター　ACT-700AⅡ
本体価格 ： 要見積
 
スピンコーター
ACT-700AⅡ

Φ20インチウェハ対応
(Φ500／□360mm基板)

電源 : 三相200V　20A

回転制御速度/回転精度 :

0～3000rpm/±5rpm以下（負荷に応じて要相談）
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