スピンコーター高精度・高速回転仕様・オプション価格表
(価格単位:円)
高速回転仕様 | ACT- 220AⅡ-HS | ACT- 300AⅡ-HS | ACT- 400AⅡ-HS | ACT- 450AⅡ-HS | ACT- 500AⅡ-HS | ACT- 600AⅡ-HS | ACT- 700AⅡ-HS | |
回転数(rpm) ~MAX | 0~12000 | 標準仕様よりも高回転仕様にすることは可能です ご相談ください | ||||||
回転制御 | ±2rpm | |||||||
対応基板MAXサイズ (mm) | φ100 | φ150 | φ200 | φ250 | φ300 | φ400 | φ500 | |
□70 | □110 | □150 | □180 | □220 | □300 | □360 | ||
納期 | 45日間 | 見積 | ||||||
試料台 | 65,000円~(材質・サイズ・仕様によって変わります) | |||||||
真 空 ポ ン プ | 12S 排気量12L/min | 40,000円 | — | |||||
40S 排気量40L/min | — | 85,000円 | ||||||
安全カバー電磁ロック | 145,000円 | |||||||
カップテフロンコート | 見積 | |||||||
センターリング治具 | 70,000円~(基板サイズと材質によって変わります) | |||||||
スイングアーム &滴下ユニット | 見積 | |||||||
特注 | 見積 |
※φ50mm程度の小さい基板であればMAX6万rpmまでの超高回転仕様ACT-200SM-Sもご検討ください。
※高回転仕様でだせる回転数はスピンコートしたい基板等の条件により変わり、記載のMAX回転数に安全面からも設定できない場合がございます。回転数の詳細はご相談にて決定いたします。
※真空ポンプの排気量は50Hzの際のものです。
※高回転仕様でだせる回転数はスピンコートしたい基板等の条件により変わり、記載のMAX回転数に安全面からも設定できない場合がございます。回転数の詳細はご相談にて決定いたします。
※真空ポンプの排気量は50Hzの際のものです。