スピンコーター特注機

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必要にあわせたカスタマイズが可能です

半導体製造工程でのウエハーへのレジスト塗布に欠かせないスピンコーティング技術。

アクティブのスピンコーターACTシリーズは仕様選択が可能ですので多種多様なニーズに応えます。

スピンコーターACTシリーズは、多段式で10ステップ・100パターン プログラムメモリ搭載。

お客様でも設定変更により50ステップ・20パターンに容易に変更も可能です。

様々な薬液(溶液)を用いた開発や評価にも対応できます。

特殊仕様 製作事例

 

 

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S-1:自動滴下スピンコーター

  • 瞬間スピンコーティング
  • 角基板の膜圧高精度対応
  • 自動滴下ユニット
  • カップ外周排気

自動スイングアーム付きスピンコーター

マイクロシリンジポンプ 精密滴下装置

 

基板サイズ:φ5~φ100 (Max.φ6インチ、□110mm)基板対応

AC100V Max.5000rpm

SIZE:620w×560d×900h (ACT-300AⅡS)

受注後納期  45日間

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S-2:枚葉式リンサードライヤー

  • HEPAチャンバーユニット
  • 純水滴下ユニット

自動スイングアーム式滴下ユニット 

超純水による洗浄→クリーンN2ブローによる乾燥

 

基板サイズ:Φ4インチ基板

AC100V Max.5000rpm

SIZE:650W×550D×690H (ACT-300AⅡDry)

受注後納期  60日間

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S-3:自動滴下ユニット付属型

  • 自動滴下ユニット
  • 簡易センタリング治具
  • カップ外周排気機能

自動スイングアーム式滴下ユニット バックリンス付

   (左:薬液50ccシリンジ方式  右:エッチリンス加圧タンク方式)

 

基板サイズ:Φ2~6インチ基板

AC100V Max.5000rpm

SIZE:740W×775D×715H (ACT-300AⅡS)

受注後納期  50日間

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S-4:自動滴下ユニット+HEPAユニット付属型

  • HEPAユニット
  • 自動滴下ユニット

自動スイングアーム式滴下ユニット 加圧タンク供給

HEPAユニット付 クリーンブル内での自動滴下によるスピンコーティング

 

基板サイズ:Φ5~10mmガラス基板

AC100V Max.3000rpm

SIZE:500W×670D×890H (ACT-400AⅡS)

受注後納期  45日間

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S-5:エッジリンス装置

  • エッジリンス装置
  • 自動滴下ユニット
  • バックリンス付

自動スイングアーム式滴下 バックリンス付

  (左:薬液滴下 加圧タンク方式  右:エッチリンス 加圧タンク方式)

 

基板サイズ:MaxΦ200mm基板

三相200V Max.3000rpm

SIZE:970W×650D×520H (ACT-500AⅡS)

受注後納期  60日間

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S-6:手動滴下ユニット付属型

  • 手動滴下ユニット

手動スイングアーム式滴下ユニット (50ccシリンジ方式)

シリンジに薬液を必要量入れ滴下させることが可能で実験に最適

 

基板サイズ:MaxΦ150mm基板

AC100V Max.6000rpm

SIZE:470W×460D×470H (ACT-300AⅡS)

受注後納期  30日間

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S-7:UV樹脂コーティング

  • UV硬化樹脂コーティング

UV硬化樹脂のコーティング(UVランプを上部に設置することで可能)
本体カバー上部に石英板取付

 

基板サイズ:Max.Φ8インチ及び□150mm基板

AC100V Max.5000rpm

SIZE:530W×640D×550H (ACT-400AS)

受注後納期  40日間

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S-8:自動滴下ユニット増設機

  • 自動滴下ユニット

ACT-300AⅡに自動スイングアーム式滴下ユニットを増設

 

基板サイズ:MaxΦ150mm基板

AC100V Max.5000rpm

SIZE:スピンコーター本体350W×450D×335H

     増設部180W×450D×500H (ACT-300AⅡS)

受注後納期  40日間

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S-9:手動滴下ユニット エッチリンス装置

  • 手動滴下ユニット
  • バックリンス付

手動スイングアーム式滴下ユニット

  (左:薬液 50ccシリンジ方式 右:エッチリンス 加圧タンク方式)

手動スイング式バックリンスノズル付

 

基板サイズ:MaxΦ150mm基板

AC100V Max.5000rpm

SIZE:745W×575D×765H (ACT-300AⅡS)

受注後納期  45日間

ソニーテクノクリエイト.JPG

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S-10:乾燥機コントローラ付属

  • 自動滴下ユニット
  • ブロー乾燥
自動スイングアーム式滴下ユニット

  (左:薬液Aノズル 加圧タンク方式+乾燥ブローノズル 右:薬液Bノズル 加圧タンク方式)

ホットエアーによるブロー乾燥

外部出力インターフェイス対応

 

基板サイズ:Φ3インチウエハー基板

AC100V Max.6000rpm

SIZE:995W×600D×460H (ACT-300AⅡS)

受注後納期  60日間

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S-11:UVランプユニット搭載機

  • UVランプユニット

UV硬化樹脂対応

手動上下機構及び手動シャッター付きUVランプユニット

 

基板サイズ:Max.□110×110×2t(mm)ガラス基板

三相200V Max.9985rpm

SIZE:890W×675D×690H (ACT-300AⅡS)

受注後納期  50日間

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S-12:有機ELパネル基板作製用スピンコーター

  • 自動滴下ユニット

自動スイングアーム式滴下 50ccSUS製シリンジ×4本搭載

 

基板サイズ:Max.Φ150mm、□110mmウエハー及びガラス基板

AC100V Max.6000rpm

SIZE:580W×575D×580H (ACT-300AⅡS)

受注後納期  50日間

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S-13:自動開閉式フタ 簡易密閉カップ付属型

  • 自動開閉式フタ
  • 簡易密閉カップ
  • 滴下用電動ポンプ
自動スイングアーム式滴下   (薬液、エアーブロー 各1系統)

 

基板サイズ:□5インチ×0.3~2.5t(mm)ガラス基板

AC100V Max.5000rpm

SIZE:600W×750D×700H (ACT-400AⅡS)

受注後納期  60日間

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S-14:遠赤外線ヒーター付属電装部分離型

  • 遠赤外線ヒーター
  • 電装部分離型

特徴: 

ホットプレートにより基板を加熱する機能と耐熱対策を有している装置

 

基板サイズ:Max.Φ6インチウエハー及び□110×2t(mm)ガラス基板

三相200V Max.8000rpm

SIZE:スピンコーター本体365W×350D×405H

     電装部480W×480D×275H (ACT-300DⅡS)

受注後納期  60日間

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S-15:シリンジポンプ付属型

  • 自動滴下ユニット
  • シリンジポンプ

自動スイングアーム式滴下 (薬液1系統)

特徴:

シリンジポンプにより一定量の薬液を滴下できる

 

基板サイズ:Max.□110mmガラス基板

AC100V Max.6000rpm

SIZE:500W×600D×730H (ACT-300AⅡS)

受注後納期  50日間

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S-16:メガネレンズ用スピンコーター(自立型)

  • 電動スライダー
  • レーザーセンサー
  • タッチパネル

電動スライダー

  (左:プライマー塗布、調光液塗布 右:調光液伸ばし用ヘラ、レンズ端面スクレイパ)

レンズ中心高さ測定レーザーセンサー付

 

基板サイズ:Φ60~90メガネレンズ

AC100V Max.6000rpm

SIZE:900W×1045D×2000H (ACT-300AⅡS)

受注後納期  75日間

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S-17:スプレー滴下+遠赤外線ヒーター付属型(自立型)

  • 自動滴下ユニット
  • スプレー滴下ユニット
  • 遠赤外線ヒーター

自動スイングアーム式滴下

    (左:スプレーノズル 右:50ccシリンジ方式)

特徴:

薬液滴下→スピンコート→加熱工程により薄膜形成を行う装置

 

基板サイズ:Max.Φ6インチウエハー基板

スピンコーター本体AC100V Max.5000rpm

遠赤外線ヒーター単相200V

SIZE:750W×845D×1650H (ACT-300AⅡS)

受注後納期  75日間

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S-18:カップ回転式装置

  • 上下動式2重カバー付
  • 廃液カップ着脱機構

特徴: 中型基板対応

 

基板サイズ:□300×400ガラス基板

三相200V Max.2000rpm

SIZE:1400W×1300D×1500H (ACT-900AⅡ)

受注後納期  80日間

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S-19:カップ回転式装置(手乗せ蓋付)

  • 22kwモーター搭載
  • 基板セット簡易治具付

特徴: 大型基板対応

 

基板サイズ:□1000×1000×20t 30kg基板

三相200V Max.1000rpm

SIZE:2000W×2000D×1200H (ACT-1800AⅡS)

受注後納期  90日間

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S-20:ドラフトチャンバー付装置

  • 廃液、排気は2系統
  • 簡易防爆仕様

特徴: 廃液、排気(有機用、耐酸用)各2系統自動切替付

 

基板サイズ:□400×239×0.5t ガラス基板

三相200V Max.2000rpm

SIZE:1250W×1250D×2000H (ACT-900AS)

受注後納期  90日間