ACT-220AⅡ

小型・低価格機種

ACT-220AⅡスピンコーター  

Φ4インチウェハ対応
(Φ100/□70mm基板)対応

特徴
高性能かつ低価格のスピンコーター

インターロックセンサー付き安全カバーが標準装備

多段式で10ステップ・100パターン プログラムメモリ搭載

さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応

用途

液晶などのディスプレイ関連、CD/DVDなどの光ディスク関連、

半導体関連、ナノテク/バイオ関連、太陽電池関連、住宅機材関連、

最先端医療関連

       

製品動画

 

ACT-220AⅡのメリット

アクティブの人気機種、卓上型スピンコーターACT-220AⅡは弊社のスピンコーター標準機の中で最も小型のスピンコーターです。小型で約18kgと女性でも持てる程度の重さで持ち運びができるため、場所を問わずご使用いただけます。

抑えた価格ながら10ステップ100パターンのプログラムで求める条件をだしやすく、インターロックセンサー付きで基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で回転停止、と安全面にも配慮した1台です。また操作パネルがシンプルで操作も簡単です。納品後すぐにご利用頂けます。ポイントを押さえたわかりやすいマニュアルもお付けしております。

スピンコートしたい基板がΦ100mmまたは□70mm以下であればかなりお勧めできるスピンコーターです。
ご不明点がございましたらサポートまでお気軽にご連絡下さい。


主な導入先:小規模な研究室~大手企業・大学、官公庁

仕様

基板サイズ Φ5~Φ100 (Max.Φ4インチ、□70mm) 基板対応
ワークの重量 200g以下 (ご相談ください)
カップ(内径) Φ220 (インナーカップΦ217)
外形寸法 250w×330d×270h (安全カバーハッチ式付280h)
電源 1Φ 100V-5A (ACサーボモーター200W) 50/60Hz
回転制御速度/回転精度 0~7000rpm/±1rpm以下 (負荷時)
基盤吸着圧力 -70~-80KPa(350Torr(mmHg))
真空ポンプ排気量 12L/min以上 (装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
ステップ数&パターン数

10ステップ・100パターン (プログラムメモリ機能 標準)

50ステップ・20パターンに変更可能(ご購入時にご指定下さい)

表示画面 液晶表示 (表示20文字4行) レシピ、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法 マイコン制御 (テンキー入力でプログラム簡単)
カップ材質

ステンレス製 ミガキ#400標準

(オプションにてカップ&インナーカップ内面テフロンコーティング可)

安全対策

インターロックセンサー付き安全カバー(回転中カバー開で自動回転停止)

基板吸着圧力のインターロック機能付き(未吸着時は回転しない)

重量 約18Kg
受注後納期 約30日間

価格表

本体価格 小型・低価格機種

\650,000

梱包・運賃費 国内一律 /車上渡し \10,000

オプション

試料台(チャック)
材質、耐薬データ

(納期 : 20日以内)

基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択:デルリン、テフロン、PEEK、アルミ

※アルミはテフロンコーティング選択可

別途御見積
(¥40,000~)

真空ポンプ

(基板吸着用)

・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ30S 接続口改造
・排気速度(L/min):24/30(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥73,000

・小型ダイアフラム式ドライ真空ポンプ12S 接続口改造
・排気速度(L/min):12/14(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製

¥40,000
安全カバー電磁ロック

レシピスタート~終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない

¥120,000
カップ カップ&インナーカップ内面テフロンコーティング ¥50,000
センターリング簡易治具

基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製(デルリン製)

別途御見積
(¥30,000~)

スピンコーター標準機一覧

スピンコーター
ACT-220AⅡ
スピンコーター ACT-220AⅡ
本体価格 : \650,000
Φ4インチウェハ対応
(Φ100/□70mm基板)
 
スピンコーター
ACT-300AⅡ
スピンコーター ACT-300AⅡ
本体価格 : \730,000
高性能仕様、Φ6インチ
(Φ150/□110mm基板)
スピンコーター
ACT-400AⅡ
スピンコーター ACT-400AⅡ
本体価格 : \1,500,000
高性能仕様 Φ8インチ
(Φ200/□150mm基板)
 
スピンコーター
ACT-450AⅡ
スピンコーター ACT-450AⅡ
本体価格 : \2,450,000
高性能仕様、Φ10インチ
(Φ250/□180mm基板)
スピンコーター ACT-500AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-500AⅡ

Φ12インチ
(Φ300/□220mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

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ACT-600AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-600AⅡ

Φ16インチ
(Φ400/□300mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

詳細を見る
スピンコーター ACT-700AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-700AⅡ

Φ20インチ
(Φ500/□360mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~3000rpm/±5rpm以下(負荷に応じて要相談)

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