電装ボックス分離式

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電装BOX分離式 スピンコーター

電装BOX分離式スピンコーター  

φ5基板~対応(仕様による)

特徴
電装BOX分離式スピンコーターも作成可能です
簡易防爆仕様にも対応いたします
ご希望に合わせて特注機を制作しております
まずはお気軽にご相談ください
用途
液晶などのディスプレイ、CD/DVDなどの光ディスク、半導体、太陽電池、ナノテク/バイオ、住宅機材、最先端医療 関連

仕様

基板サイズ 仕様内容による。別途お知らせ致します。(φ5基板~対応)
ワークの重量 ワークの重量についてはご相談ください。
カップ(内径) 仕様内容による。別途お知らせ致します。
外形寸法 仕様内容による。別途お知らせ致します。
電源 仕様内容による。別途お知らせ致します。
回転範囲/回転数精度 仕様内容による。別途お知らせ致します。
真空 Torr(mmHg) 仕様内容による。別途お知らせ致します。
ステップ数&パターン数 10ステップ・100パターン (プログラムメモリ機能 標準)
表示画面 仕様内容による。別途お知らせ致します。
制御方法 仕様内容による。別途お知らせ致します。
本体外装カバー・カップ材質

ステンレス製 ミガキ#400標準

(オプションにてカップ&インナーカップ内面テフロンコーティング可)

安全カバー インターロックセンサー付き(回転中カバー開で自動回転停止)
重量 仕様内容による。別途お知らせ致します。
受注後納期 仕様内容による。別途お知らせ致します。

価格表

本体価格 特注機 要御見積
梱包・運賃費 国内一律 /車上渡し 別途御見積

オプション

試料台(チャック)
材質・耐薬データ
(納期 : 20日以内)

基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択:デルリン、テフロン、PEEK、アルミ

※アルミはテフロンコーティング選択可

別途御見積

真空ポンプ
(基板吸着用)

 

・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ40S 接続口改造
・排気速度(L/min):40/46(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製

¥85,000
・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ30S 接続口改造
・排気速度(L/min):24/30(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥73,000

・小型ダイアフラム式ドライ真空ポンプ12S 接続口改造
・排気速度(L/min):12/14(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製

¥40,000

安全カバー電磁ロック レシピスタート~終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない ¥120,000
カップ カップ&インナーカップ内面テフロンコーティング 別途御見積
センターリング簡易治具

基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製(デルリン製)

別途御見積

スピンコーター標準機一覧

スピンコーター
ACT-220AⅡ
スピンコーター ACT-220AⅡ
本体価格 : \650,000
Φ4インチウェハ対応
(Φ100/□70mm基板)
 
スピンコーター
ACT-300AⅡ
スピンコーター ACT-300AⅡ
本体価格 : \730,000
高性能仕様、Φ6インチ
(Φ150/□110mm基板)
スピンコーター
ACT-400AⅡ
スピンコーター ACT-400AⅡ
本体価格 : \1,500,000
高性能仕様 Φ8インチ
(Φ200/□150mm基板)
 
スピンコーター
ACT-450AⅡ
スピンコーター ACT-450AⅡ
本体価格 : \2,450,000
高性能仕様、Φ10インチ
(Φ250/□180mm基板)
スピンコーター ACT-500AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-500AⅡ

Φ12インチ
(Φ300/□220mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

詳細を見る
ACT-600AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-600AⅡ

Φ16インチ
(Φ400/□300mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

詳細を見る
スピンコーター ACT-700AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-700AⅡ

Φ20インチ
(Φ500/□360mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~3000rpm/±5rpm以下(負荷に応じて要相談)

詳細を見る
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