スピン洗浄機・スピン乾燥機

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スピン洗浄機仕様事例

アクティブのスピン制御技術を活用したスピン洗浄機、スピン乾燥機のご紹介です。

W-1:スピン洗浄機仕様事例 スピン洗浄機(枚葉式)

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  • スピン洗浄機

特徴:

自動スイングアーム付きスピン洗浄機
超音波1.5MHzの超音波洗浄

 

基板サイズ:φ10~φ200 (Max.φ8インチ、□200mm)基板対応

AC100V Max.6000rpm

SIZE:740w×740d×935h (ACT-400AⅡSW)

 

W-2:スピン洗浄機仕様事例 卓上型の簡易防爆仕様

                   (モーター部N2パージ+電装部セパレート方式)

スピン洗浄機(乾燥機)

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  • スピン洗浄機(乾燥機)

特徴:

3液の自動滴下 薬液ノズル 1:アセトン 2:IPA 3:純水

セレクトスイッチ手動操作滴下簡易ドラフト設置

 

基板サイズ:Max.Φ6インチウエハー及び□100mmガラス基板

AC100V Max.5000rpm

SIZE:スピンコーター本体 350W×350D×312H

        操作ボックス 360W×300D×200H

        卓上型透明塩ビドラフト:600W×500D×1000H (ACT-300AS)

 

W-3:スピン洗浄機仕様事例 スピン洗浄機(乾燥機)

スピン洗浄機(乾燥機)

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  • スピン洗浄機(乾燥機)
  • 卓上型 枚葉式

特徴: 

接液部は塩ビ製またはPP製 
カップ内の雰囲気を窒素雰囲気にできる様に開閉カバーの中心部に窒素を封入できる継手を設置

 

基板サイズ:Max.Φ6インチウエハー及び□100mmガラス基板

AC100V Max.6000rpm

SIZE:500W×686D×400H (ACT-400WⅡS)

 

W-4:スピン洗浄機仕様事例 スピン洗浄機

スピン洗浄機(乾燥機)

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  • スピン洗浄機
  • 卓上型 枚葉式
  • 自動滴下装置

自動スイングアーム式滴下ユニット (加圧タンク方式)

特徴:

接液部は塩ビ製またはPP製

リンス洗浄は加圧タンクより純水を供給し表面洗浄を行う装置

 

基板サイズ:Max.Φ6インチウエハー及び□100mmガラス基板

AC100V Max.5000rpm

SIZE:410W×600D×500H (ACT-300WS)

 

W-5:スピン乾燥機仕様事例 スピン乾燥機

スピン洗浄機(乾燥機)

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  • スピン乾燥機
  • 卓上型 枚葉式

 

特徴:

接液部は塩ビ製またはPP製

装置背面に廃液口設置 

 

基板サイズ:Max.Φ6インチウエハー及び□100mmガラス基板

AC100V Max.5000rpm

SIZE:350W×405D×400H (ACT-300AⅡDry)

 

W-6:スピン洗浄機仕様事例 スピン洗浄機(乾燥機)

スピン洗浄機(乾燥機)

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  • スピン洗浄機(乾燥機)
  • 卓上型 枚葉式

特徴:

任意に指定の薬液を滴下しながらスピン洗浄を自動プログラムで行う装置

接液部はPP製  メカニカルチャック採用 

廃液タンク3液分液可能

タッチパネル制御

 

基板サイズ:Max.Φ8インチウエハー及び□150mmガラス基板

三相200V Max.5000rpm

SIZE:1200W×900D×2000H (ACT-400AWS)

 

W-7:洗浄ヘッドユニット(洗浄ノズル)拡大図

 

スピン洗浄機 洗浄ヘッドユニット

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  • 純水滴下ユニット

ノズル種類1:希フッ酸+超音波

         純水+超音波

     2:オゾン水

     3:IPA

       4:アセトン

       5:窒素ガス

 

W-8:スピン洗浄機仕様事例 Φ12インチ基板用 スピンエッチング装置 バックリンス付

スピン洗浄機(乾燥機)

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  • スピン洗浄
  • 自動滴下ユニット

 

特徴:

リンス滴下ノズルの自動制御によりエッチリンスを行う装置

 

基板サイズ:Max.Φ12基板

三相200V Max.3000rpm

SIZE:850W×1000D×1300H (ACT-500AⅡ)