CLEAN BOOTH

クリーンブースの清浄度を表す規格の一つ、米国連邦（FED)規格209D（FED-STD-209D）を理解するためには1立方フィート、1cf（キュービックフィート）という単位を知らなければなりません。
1cf＝1立方f（フィート）＝1辺が約30cmの立方体（28.32リットルの空気）と考えます。
この1cfに含まれる粒経（0.5μm以上）の微粒子（チリ・ゴミ）の数によってクラス分けしています。
FED規格では、空気1立方f（フィート）＝1cfの中に粒経0.5μm以上のチリやゴミが100個以内であれば、クラス100となります。1,000個以内であれば、クラス1,000となります。