空気のキレイさの表し方
清浄度の指標には代表的に4つの規格があり現在、現在一般に使用されている清浄度クラス表示は統一されていません。クリーンルームは米国から導入した技術ですので、長い間米国連邦規格(FED規格)が用いられてきました。
JIS方式
JIS B9920の清浄度クラスの表示で1m3中の0.1μm以上の粒子数を10のべき乗で表したときの指数で表します。
■ 表示方式:クラス1 ~ クラス8
FED-STD-209D(米国連邦規格)
1立方フィート(1ft3=1cf)あたりの最大許容粒子数を示す言い方です
実際には一番良く使われていると思います。 アクティブのクリーンブースもこの規格で表示してあります。
■表示方式:クラス1、10、100、1,000、10,000、100,000
FED-STD-209E(米国連邦規格)
単位はメートル法(IS単位)を優先し英国単位(FS単位)を併記します。清浄度クラスは0.5μm以上粒子を基準とし、粒子数を10X乗個/m3で表しX値をクラスとします。メートル法使用を明確とするためMを付加しクラスM(X)とします。
■ 表示方式:クラスM1 ~ クラスM7
ISO規格
日米欧を中心に初の世界統一規格として作成が進められ「クリーンルームと付帯する制御環境」を規定した次の二つから成ります。
1)ISO 14644-1 Part1 「空気清浄度のクラス分け」
2)ISO 14644-2 Part2 「試験及びモニター手法」
ISOクラス表示では基準粒子径は0.1μm、基準体積は1m3でJIS方式を使用。
■表示方式:ISOクラス1 ~ ISOクラス9
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