特殊仕様 製品動画

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アクティブのスピンコーターACTシリーズは標準機も7サイズご用意し、オプションにて仕様選択も可能で多種多様なニーズに応えます。多段式で10ステップ・100パターン プログラムメモリを標準で搭載し、ご購入時にご指定いただくことで20ステップ・50パターン50ステップ・20パターンに変更も可能です。様々な薬液(溶液)を用いた開発や評価にも対応できます。

半導体製造工程でのウエハーへのレジスト塗布に欠かせないスピンコーティング技術ですが、標準機だけでは対応しきれない要望もあることと思います。そんな時は是非ご相談ください。自動滴下、エッジリンス、バックリンス、簡易防爆仕様、電装BOX分離式、自動ロボット搬送対応など標準機にない機能も特注機として承っております。
特注機のメリット
アクティブのスピンコーター特注機は、お客様の目的や要望を元に必要な各種ユニットを組み合わせて造り上げます。小規模な簡易スピンコート目的の装置から、大型基盤を用いた大掛かりな装置まで今までに何台も製作してまいりました。

ユーザー仕様のスピンコーターになる為、用途に合わせて使いやすく、かつ無駄のないスピンコーターをご提供可能です。
アクティブが特注機に強い理由
アクティブに多く寄せられるスピンコーター特注機の特徴として、例えば下記が挙げられます。

・薬液の自動滴下
・液垂れ防止
・エッジリンス、バックリンス対応

これらは卓上機で実装している事が少ないため、アクティブ独自の強みでもあります。
プロセスに関してのノウハウも提供可能です。

また、自動搬送ロボットにも対応しています。基板を自動で指定の箇所へ搬送させる技術です。
お客様が用意されている自動搬送ロボットとドッキングさせ使用して頂くことも可能です。

その他、お客様のご希望の仕様に合わせてコアユニットを組み合わせていくことが可能です。
長年スピンコート技術を提供してきたアクティブだからこそアドバイスできる点や、ノウハウもございます。
ご要望やご不明点などお伺いいたしますので、お気軽にお申し付けください。

特殊仕様 製作事例