高精度・高回転仕様のスピンコーターシリーズにACT-220AⅡ-HSを追加いたしました。

カップ内径がΦ220mmの装置で

対応基板サイズがΦ5～100mm（四角基板の場合は最大□70mmまで）です。

装置外形サイズや金額的にはカップ内径φ300mmのACT-300AⅡ-HSと変わりなく、

カップ内径のみが小さくなった装置になります。