「スピンコーターのよくあるご質問」を更新いたしました

スピンコーターに興味はあるもののよく分からないこと、疑問点がある方はぜひご覧ください。

Q＆Aを見て解決しない問題はお問い合わせいただけますと幸いです。

Q　長方形の基板をスピンコートするのにどの機種を選べばいいですか？

A　対策はございます。
スピンコーターは回転の遠心力で薄膜をえる仕組みのため、回転によって生じる風を不均一に受けやすい内接円から外れた4コーナーに膜厚のばらつき（ムラ）ができやすいですが、風キリの影響を解消する密閉式試料台でベストなスピンコート条件を出せれば角基板の4隅までかなり綺麗に成膜ができます。

Q　上位の装置でスピンコーターを制御できますか？

A　可能です。
基板搬送ロボットとドッキングし、スピンコーター（マイコン制御）と絡め全体のプログラムをPLC（シーケンサ）で制御するご依頼はよく承っております。
是非詳細をお聞かせください。必要に応じてWEB会議も可能です。