小型高温真空炉ACA オプションについて
オプションをご指定いただくことにより多目的に実験を行なうことが可能となります。お客様の目的の試験項目に基づき下記より選定していただきご指定ください。
- ・水素ガス導入ユニット
- ・高精度流量調整ユニット(マスフローコントロール)
- ・高精度水素ガス流量調整ユニット(マスフローコントロール)
- ・真空ポンプ変更
- ・特殊専用試料台
- ・覗き窓
- ・増設温度測定ポート
- ・記録計
- ・消耗品セット NO.1~NO.3
オプション詳細内容
1. 水素ガス導入ユニット
- ・水素ガス流量計
- ・ストップバルブ
- ・アフターバーナーユニット(ヒーター)
- ・バーナー電源
※このユニットは、安全上単独にてのご使用は、危険防止のためおやめください。
※各ガス流量は、3L、5L、10Lより選択してください。
※各ガス流量は、3L、5L、10Lより選択してください。
2. 高精度ガス流量調整ユニット(窒素ガスまたは、アルゴンガス)
- ・デジタルマスフローコントロールユニット
- ・デジタル流量表示器(電源ユニットを含みます。)
- ・ストップバルブ
- ・バイパス回路(流量計をバイパスしパージ時間を短縮します。)
- ・逆支弁
- ・炉内圧ゲージ
- ・マスフローユニット及びストップバルブ用ブラケット
※各ガス流量は、3L、5L、10Lより選択してください。
3. 高精度水素ガス流量調整ユニット
- ・水素ガス流量計
- ・ストップバルブ
- ・アフターバーナーユニット(ヒーター)
- ・バーナー電源
※このユニットは、安全上単独にてのご使用は、危険防止のためおやめください。
※各ガス流量は、3L、5L、10Lより選択してください。
※各ガス流量は、3L、5L、10Lより選択してください。
4. 真空ポンプ変更
標準のディフュージョンポンプからターボ分子ポンプやクライオポンプへの変更については、下記の通りとなります。
- ・標準仕様品ご購入後のターボ分子ポンプへの変更
- ・標準仕様品ご購入後のクライオポンプへの変更
- ・ご購入前のオプションによるターボ分子ポンプの選択
- ・ご購入前のオプションによるクライオポンプの選択
5. 特殊専用試料台
- ・お客様の目的のサンプルに合わせた専用試料台を設計製作いたします。
- ・費用は、お打ち合わせ後お見積もりいたします。
- ・試料台の変更により対荷重及び各種試料形状に幅広く対応可能となります。
6. 覗き窓
- ・ご指定により昇温時の確認窓を設置いたします。
- ・φ10石英硝子仕様による覗き窓です。
7. 増設用温度測定ポート
- ・サンプル温度を直接測定したい場合に使用するための熱電対導入用測定ポートです。
- ・下記記録計との併用をすることによりプログラム進行に合わせて炉内温度とサンプル温度の対比が可能となりより正確なデータ集計作業を行なうことが可能となります。
8. 記録計
- ・打点式記録計を設置することにより炉内温度を随時記録することが出来ます。
- ・ハイブリットタイプを選択することで温度以外にも真空度も記録できます。
- ・パソコン出力タイプもありデータ管理においてお役に立てます。
- 1. 100mmチャート6打点式記録計
- 2. 100mmチャートハイブリット6打点式記録計
- 3. 100mmチャートハイブリット6打点式記録計(パソコン出力つき)
9. 消耗品セットNO.1(基本セット)
- ・当社の経験により選定しました消耗品のセットです。
- ・万一軽微な故障が発生しても容易に復旧可能となります。
- 1. 各種O-リング
- 2. 真空ポンプオイル2種(ロータリー及びディフュージョン用)
- 3. 真空計測定子
- 4. 熱電対
- 5. 真空グリース
- 6. ヒューズ
- 7. クリーニングセット(ゴム手袋、ワイパー)
10. 消耗品セットNO.2(ヒーターセット)
- ・万一ヒーターが破損や消耗した場合、お客様にて取扱説明書をご覧いただき短時間で交換可能となります。
- ・予備をお持ちになることで稼動ストップの時間を限界まで短くすることができ、実験への影響を最小限にとどめることが可能となります。
- 1. モリブデンヒーターユニット
- 2. アルミナ絶縁碍子
11. 消耗品セットNO.3(リフレクターセット)
- ・万一リフレクターが破損や消耗した場合、お客様にて取扱説明書をご覧いただき交換可能となります。
- ・セッティングは、比較的簡単な構造としてありますがご指定により技術員を派遣いたします。
- ・または、本体を送り返していただくことにより復旧後再度発送手続きをとります。
- ・当社にて作業を行なう場合は、簡単なテスト及び炉内のクリーニングも含めて行ないます。
- ・作業の御依頼の場合は、都度状況により適切なお見積もりを致します。
- ・予備をお持ちになることで稼動ストップの時間を限界まで短くすることが出来、実験への影響を最小限にとどめることが可能となります。
- 1. モリブデンリフレクターユニット
- 2. アルミナ絶縁碍子
- 3. 絶縁碍子保持ピン及びナット
消耗品については、電気炉本体を末永くお使いいただく上で最小限の物です。
これをお持ちいただくことで突発の故障に対し迅速な対応が可能となり、また、定期的なメンテナンスを実行するためにも必要です。是非1セットお持ちになることをお勧めいたします。
メンテナンスについては、当社規定により保守点検サービスの契約も行っており、これについてもお問い合わせ頂ければ対応させていただきます。(専用書式あり)
オプション価格(別途ご相談)
※コロナ禍と半導体盛況の影響を受け部品価格の変動が激しい為、都度ご相談となります※
1. 水素ガス導入ユニット
2. 高精度ガス流量調整ユニット
3. 高精度水素ガス流量調整ユニット
4-1. ターボポンプ変更(追加変更)
4-2. クライオポンプ変更(追加変更)
4-3. ターボポンプ変更(事前変更)
4-4. クライオポンプ変更(事前変更)
5. 特殊専用試料台
6. 覗き窓
7. 増設用温度測定ポート
8-1. 記録計6打点
8-2. 記録計6打点ハイブリッド
8-3. 記録計6打点ハイブリッド(パソコン対応)
9. 消耗品セットNo.1(基本セット)
10. 消耗品セットNo.2(ヒータセット)
11. 消耗品セットNo.3(リフレクターセット)