試料台物性・耐薬データ

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スピンコーター用試料台 材質ごとの物性表

※このデータは材料の一般的なデータを記載したもので、製品における保証値ではありません。
※参考値としてご利用ください。
材料の種類 ポリアセタール
(POM)
3フッ化塩化エチレン
(PCTFE)
四フッ化エチレン
PTFE)
ポリエーテルエーテルケトン
PEEK)
通称 デルリン
ジュラコン
ダイフロン テフロン
ポリフロン
ピーク
主な特徴 磨耗や引張強度にも優れた摩擦係数の小さい安価なエンプラ 耐薬品性・耐熱性などの性質は四フッ化にやや劣るものの、より硬い為に強度をもたせる事が可能なスーパーエンプラ 化学的に安定で耐熱性、耐薬品性に優れるスーパーエンプラ 耐熱性、耐薬性、
耐加水分解性、耐放射性が極めて良いスーパーエンプラ
試験項目 単位 試験方法
ASTM




比重   D792 1.41~1.42 2.08~2.20 2.14~2.20 1.32
比容積 cm/Kg 712   465~451  
密度 g/cm   2.10~2.20    
屈折率nd   D542 1.48   1.35  
透明性     半透~不透明 半透明~不透明 不透明  
吸水率 % D570 0.22   0.00 0.14
吸水率(24h)   0.01    




引張強さ MPa D638 60 31~41 27~34  
引張破断強さ MPa 54     100
伸び % 15~75 80~250 200~400 20
引張弾性率 103Hg/cm 26.4~28.8   4.1  
Mpa   1000~2100    
摩擦係数     0.15   0.1~0.04  
動摩擦係数(0.69MPa)   D1894   0.4    
圧縮強さ MPa D695 107 30~51   121
曲げ強さ MPa D638   51-76    
D790 96   173
曲げ弾性率 MPa 2580 1250~1800 550 4100
衝撃強さ
(ノッチ有)
J/m D638   133-267    
D256 74   160 83.4
衝撃強さ
(ノッチ無)
890  
衝撃強さ D256A    130~145  
硬質
ロックウェル
  D785 R120 R75-112 50~60(ショアD) R120
かたさ(ショア)   D2240   D55~80    



熱伝導度 Kcal/cm・s・℃ C177 0.2   0.25 0.22
熱伝導率 W/m・K   0.20~0.22    
比熱 Kcal/kg・℃   0.35   1.05 0.32
10J/kg・K D240   0.9    
線膨張係数 cm/cm/℃ D696 9×10-5   10×10-5 5.0×10-5
10-5/℃   3.6~7.0    
10-5/K   4.5~7.0    
耐熱温度   105   260 250
荷重たわみ温度
0.45MPa
D648 158 126 121  
荷重たわみ温度
1.82MPa
D648 110 90 55 155
融点  D2117 165   327  
 D4591   220    
最高使用温度(連続)     120    



体積固有抵抗率 Ω・cm D257 1014~1015   >1018 1016
体積抵抗率(23℃、50%RH))   >1018    
絶縁破壊の強さ KV/mm D149 20 20-24 19 19
絶縁耐力(短時間) kV/m   22    
誘電率
10Hz
  D150 3.7   <2.1 3.3
誘電率
60Hz
    2.2~2.8    
誘電率
10Hz
  - 2.3~2.8 <2.1 3.3
誘電率
106Hz
  - 2.3~2.6 <2.1 -
誘電正接
60Hz
    0.0012    
誘電正接
10Hz
    0.023~0.027    
誘電正接
106Hz
    0.020    
耐アーク性 sec D495 240(燃える)  >360 >300  


耐日光性     大体不変 不変  不変  
機械加工性        
燃焼速度(耐炎)   D635 遅燃  不燃 不燃  
燃焼性 3.2mm厚 UL-94   V-0    
限界酸素指数   D2863   >95    




弱酸の影響   D543  ◎
強酸の影響   ×  
弱アルカリの影響    ◎
強アルカリの影響   ×  
耐有機溶剤性    ○
※株式会社KDA様HP掲載日本弗素樹脂工業会HP引用資料、村上電業株式会社様HP掲載データ、およびその他公表されているデータを参照して掲載しております。気を付けてはおりますが誤植のある可能性もございます。詳細のデータは別途お調べください。

スピンコーター用試料台 材質ごとの耐薬データ

※このデータは材料の一般的なデータを記載したもので、製品における保証値ではありません。
※参考値としてご利用ください。
  全くあるいはほとんど影響がない
  若干の影響はあるが十分使用に耐える
  なるべく使用しない方が良い・条件によっては使用可能
×   大きく影響があるため使用に適さない
  データ無し
薬品名 (濃度重量% 温度℃) POM PCTFE PTFE PEEK アルミニウム








亜硫酸 Sulfurous acid(10・RT)      
塩酸
Hydrochloric acid
(10・RT)   ×
(20・RT)   ×
(20・80) ×   ×
(35・RT)   ×
(35・50)        
(35・100)        
王水 Aqua regia ×     ×
過塩素酸 Perchloric acid       ×
クロム酸
Chromic acid
(2・70) × ×
(5・70) × ×
(10・70) × ×
(25・70) × × ×
(50・100)        
クロロスルホン酸 Chlorousulfonic acid ×    
クロロベンゼン
Chlorobenzene
(100・RT)        
(100・100)        
酸洗浄
Pickling solution
(硝酸20%+ふっ酸4%)        
(硫酸40%+硝酸15%)        
次亜塩素酸
Hypochlorous acid
 (ー・RT)   ◎    ×
(50・100)        
シアン化水素酸 Hydrocyanic acid        
臭化水素
Hydrobromic acid
(20・RT)        
(20・70) ×      
(37・RT)       ×
硝酸
Nitric acid
(5・RT) ×
(10・70) × ×
(20・RT) × ×
(30・70) ×   ×
(60・RT) × ×
(60・50)        
(60・100)        
(発煙・RT) ×   ×
炭酸 Carbonic acid      
砒酸 Arsenic acid      
フッ化ケイ酸 Fluosilicic acid        
フッ化水素酸(フッ酸)
Hydrofluoric acid
(10・RT)     ×
(20・RT)   ×
(40・RT)   ×
(40・100)        
フッ化ほう素酸 Fluorboric acid        
ほう酸 Boric acid     ×
無水フッ素 Hydrofluoric acid anhydrous ×      
硫酸
Sulfuric acid
(10・RT)  
(10・70)  
(30・RT) ×
(30・70) ×
(90・RT) × ×
(90・100)        
(発煙・RT) ×  
りん酸
Phosphoric acid
(50・RT) ×
(50・70) ×
(75・RT)   ×
(80・100)        










アンモニア(無水) Ammonia(anhydrous)        
アンモニアガス
Ammonia gas
(冷)      
(熱)      
アンモニア水
Ammonium hydroxide
 (ー・RT)
(28・100)        
液体アンモニア Ammonia liquid      
水酸化ナトリウム(苛性ソーダ)
Sodium hydroxide
(10・RT) ×
(30・RT)   ×
(30・70)   ×
(50・100)        
水酸化カリウム Potassium hydroxide    
水酸化カルシウム
Calcium hydroxide
(ー・RT)   ×
(30・100)        
水酸化バリウム Barium hydroxide     ×
水酸化マグネシウム Magnesium hydroxide  
ヒドラジン Hydrazine      






















































































































































アクリル酸エチル Ethyl acrylate      
アクリル酸ブチル Butyl acrylate      
アクリロニトリル Acrylonitrile      
アセチレン Acetylene  ◎    
アセトアルデヒド
Acetaldehyde
(ー・RT)  
(100・50)   ×      
アセト酢酸エチル Ethyl acetoacetate        
アセトン
Acetone
(ー・RT)  △
(100・50)   ×      
アニリン Aniline    
アミルアルコール Amyl alcohol      
アミルナフタリン Amyl naphthalene        
安臭香酸ベンジル Benzyl benzoate      
イソオクタン Isooctane    
イソブチルアルコール Isobutyl alcohol    
イソプロピルアルコール Isopropyl alcohol  
イソプロピルエーテル Isopropyl ether    
エタノールアミン Etanolamine      
エチルアルコール(エタノール)
Ethyl alcohol
(ー・RT)    
(100・50)        
エチルセルロース Ethyl cellulose      
エチルベンゼン Ethyl benzene      
エチレンオキサイド Ethylene oxide      
エチレンジアミン Ethylene diamine     ×
エチレンクロルヒドリン Ethylene chlorohydrine      
エチレングリコール Ethylene glycol  
エピクロルヒドリン Epichlorohydrine        
塩化エチル Ethyl chloride ×  
塩化ベンジル Benzyl chloride      
塩化メチル Methyl chloride ×    
塩素化溶剤 Chlorinated solvents ×      
オクチアルコール Octyl alcohol    
オレイン酸 Oleic acid    
ぎ酸
Formic acid
(20・RT)  
(20・100)        
(50・RT)  
(50・100)   ×      
(90・RT)    
キシレン(キシロール)
Xylene
(ー・RT)
(100・100)        
クエン酸 Citric acid  ◎   ×
グリコールエーテル類(カルビトール) Carbitor  ◎      
グリセリン Glycerin  
クレゾール Cresol    
クロロアセトン Chloroacetone         ×
クロロトルエン Chlorotoluene ×      
クロロナフタリン Chloronaphthalene        
クロロホルム Chlorofprm ×
けい酸エチル Ethyl silicate      
酢酸
Acetic acid
(10・RT)    
(50・RT)  
(50・70)  
(75・RT)  
(75・50)        
(75・100)   ×      
酢酸アミル Amyl acetate    
酢酸イソプロピル Isopropyl acetate    
酢酸エチル
Ethyl acetate
(ー・RT)  
(100・50)        
酢酸ブチル Butyl acetate    
酢酸プロピル Propyl acetate        
酢酸メチル Methyl acetate  
サリチル酸 Salicylic acid      
酸化ジフェニル Diphenyl oxide        
ジイソプロピルケトン Diisopropyl ketone        
ジエチルエーテル Diethyl ether    
ジエチルグリコール Diethylene glycol      
四エチル鉛 Tetraethy lead        
ジエチルセバケート(DES) Diethyl sebacate        
四塩化炭素
Carbon tetrachloride
(ー・RT) ×
(100・50)        
ジオクチルセバケート(DOS) Dioctyl sebacate      
ジオクチルフタレート(DOP) Dioctyl phthalate      
シクロヘキサノール Cyclohexanol    
シクロヘキサノン(アノン) Cyclohexanone ×  
シクロヘキサン Cyclohexane    
ジクロロベンゼン Dichlorobenzene ×      
ジフェニル Diphenyl      
ジブチルエーテル Dibutyl ether      
ジブチルフタレート(DBP) Dibutyl phthalate      
ジベンジルエーテル Dibenzl ether      
ジメチルホルムアミド(DMF) Dimethyl formamide ×    
しゅう酸 Oxalic acid    
しゅう酸エチル Ethyl oxalate        
酒石酸 Tartaric acid        
ステアリン酸 Stearic acid      
ステアリン酸ブチル Butyl stearate      
スチレン Styrene    
石炭酸(フェノール) Phenol      
セロソルブ Cellosolve      
タンニン酸 Tannic acid        
チオアルコール(メルカブタン) Ethyl mercaptan        
テトラヒドロフラン(THF) Tetrahydrofutan ×    
テトラクロロエタン Tetrachloroethane ×     ×
テトラリン(テトラヒドロナフタリン) Tetralin      
トリアセチン Triacetin        
トリエタノールアミン Triethanol amine    
トリクレジルホスフェート Tricresyl phosphate        
トリクロルエチレン(トリクレン)
Trichloroethylene
(ー・RT) ×
(100・100)        
トリブチルホスフェート Tributyl phosphate        
トルエン(トリオール)
Toluene
(ー・RT)
(100・100)        
ナフタリン Naphthalene    
ナフテン酸 Naphthenic acid         
二塩化エチレン(エチレンジクロライド)
Ethylene dichloride
(ー・RT) ×
(100・100)        
二塩化メチレン(メチレンクロライド)
Methylene dichloride
(ー・RT) ×  
 (100・50)    △      
ニトロエタン Nitroethane      
ニトロプロパン Nitropropane      
ニトロベンゼン
Nitrobenzene
(ー・RT) ×  
(100・50)        
(100・RT)   ×      
ニトロメタン Nitromethane      
乳酸 Lactic acid    
パークロルエチレン Perchloroethylene ×    
ハイドロキノン Hydroquinone      
パルミチン酸 Palmitic acid      
ピネン Pinene        
ピクリン酸 Picric acid        
ピペリジン Piperidine        
フェニルヒドラジン Phenyl hydrazine        
フェノール Phenol     ×
ブチルアルコール(ブタノール) Butyl alcohol      
フラン、フルフラン Furan,Furfuran        
フルフラノール Furfral      
プロピルアルコール Propyl alcohol        
フロロベンゼン Fluorobenzene        
フレオン
Freon
11        
12        
21        
22        
113        
114        
ヘキサアルデヒド (n-) Hexaldehyde        
ヘキサン Hexane    
ヘキシルアルコール Hexyl alcohol        
ベンジルアルコール Benzyl alcohol      
ベンズアルデヒド Benzaldehyde      
ベンゼン(ベンゾール)
Benzene(Benzol)
(-・RT)
(100・100)        
ベンゼンスルホン酸(ベシル酸) benzenesulfonic acid        
ほう酸アミル Amyl borate        
ホルムアルデヒド(ホルマリン)
Formaldehyde
 (ー・RT)      
(37・RT)        
マイレン酸 Maleic acid        
無水酢酸 Acetic anhydroide      
メタクリル酸メチル Methyl Methacrylate    
メチルアルコール
Methyl alcohol
(ー・RT)  
(100・50)        
メチルイソブチルケトン Methyl isobutyl ketone      
メチルエチルケトン
Methyl ethyl ketone(MEK)
(ー・RT) ×
(100・50)   ×      
メルカプタン(チオアルコール) Ethyl mercaptan        
モノエタノールアミン Monoethanolamine        
モノクロル酢酸
Chloroacetic acid
(20・RT)      
(20・100)        
モノクロロベンゼン Monochlorobenzene ×      
リノレン酸 Linoleic acid        
りんご酸 Malic acid        















































































亜麻仁油 Linseed oil      
アスファルト Asphalt      
亜硝酸アンモニウム Ammonium mitrite        
亜硫酸ガス Sulfur dioxide      
亜硝酸ナトリウム Sodium sulfite      
硫黄 Sulfur      
ASTMオイル
ASTM oil
No.1        
No.2        
No.3        
ASTM標準燃料
ASTM reference fuel
A        
B        
C        
液化石油ガス Liquifide pertroleum gas      
液体塩素 Chlirine liquid ×      
塩化亜鉛 Zinc chloride      
塩化アルミニウム Aluminum chloride      
塩化アンモニウム Ammonium chloride  
塩化イオウ Solfur chloride        
塩化カリウム Potassium chloride    
塩化カルシウム Calcium chloride  
塩化第二水銀 Marcuric chloride      
塩化第二錫 Stannic chloride      
塩化第二鉄 Ferric chloride    
塩化チオニル Thionyl chloride        
塩化ニッケル Nickel chloride      
塩化バリウム Barium chloride      
塩化マグネシウム Magnesium chloride    
塩素ガス(乾) Chlorine gas(dry) ×    
塩素ガス(湿) Chlorine gas(wet) ×    
オゾン Ozone      
オリーブ油 Olive oil        
過酸化水素 Hydrogen peroxide      
過酸化ナトリウム Sodium peroxide        
ガソリン Gasolin      
過ほう酸ナトリウム Sodium perborate      
過マンガン酸カリ Potassium permanganate      
きり(桐)油 China wood(tung) oil      
グリース Grease        
クレオソート油 Creosote oil        
ケロシン(灯油) Kerosene ◎       
鉱油 Mineral oil      
酢酸鉛 Lead acetate    
酢酸亜鉛 Zinc acetate    
酢酸ニッケル Nickel acetate      
酸素 Oxygen      
シアン化銅 Copper cyyanide      
シアン化ナトリウム Sodium cyanide    
次亜塩素酸カルシウム Calcium hypochlorite      
次亜塩素酸ナトリウム(次亜塩素酸ソーダ)
Sodium hypochlotire
 (ー・RT)      
(5・70)      
(20・RT)        
(20・100)        
塩素
Salt water
(-・RT)    
(-・50)        
(-・100)   ×      
臭化アルミニウム Aluminum bromide        
臭素
Bromine
(-・RT) × ×  
(-・100)        
潤滑油 Lubricating oil      
重亜硫酸カルシウム Calcium bisulfite        
銃亜硫酸ナトリウム Sodium bisulfite        
重クロム酸カリウム Potassium dichloromate        
重炭酸ナトリウム Sodium bicarbonate      
重硫酸ナトリウム Sodium bisulfate        
シリコーングリース Silicone greases        
シリコーン油 Silicone oils      
硝酸鉛 Lead nitrate        
硝酸アルミニウム Aluminum nitrate        
硝酸アンモニウム Ammonium nitrate    
硝酸カルシウム Calcium nitrate        
硝酸銀 Silver nitrate    
硝酸第二鉄 Ferric nitrate        
硝酸ナトリウム Sodium nitrate  
食塩(工業塩) Sodium chloride    
Vinegar      
水蒸気
Steam
(150以下)      
(150以上) ×      
水素 Hydrogen      
石鹸水 Soap solutions      
水銀 Marcuqy arcury      
スルファミン酸鉛 Lead sulfamate        
青酸カリ(シアン化カリウム) Potassium cyanide      
石油 Petroleum      
ゼラチン Gelatin      
ソーダ灰(炭酸ナトリウム)
Soda ash
(ー・RT)      
(30・100)        
大豆油 Soybean oil      
タール Tar      
炭酸アンモニウム
Ammonium carbonate
(ー・RT)    
(50・100)        
炭酸ガス(液体炭素) Carbon dioxide      
チオ硫酸ナトリウム Sodium thiosulfate    
窒素 Nitrogen      
テレビン油 Turpentine oil        
天然ガス Natural gas      
トウモロコシ油 Corn oil      
ナフサ Naptha        
二硫化炭素
Carbon disulfide
(ー・RT) ×  
(100・50)        
燃料油(重油 Fuel oil        
パイン油 Pine oil        
ひまし油 Castor oil      
フッ化アルミニウム Alminum fluoride        
ブタン Butane      
プロパン Proppane      
プロピレン Propylene        
ベンジン Benzine        
ほう酸(ほう酸ナトリウム) Bonic acid    
Water      
海水 Seawater        
ミョウバン Alims NH3,Cr,K      
メタリン酸ナトリウム Sodium metaphosphate      
綿実油 Cottonseed oil      
ヤシ油 Cocoanut oil      
ラード Lard      
ラード(動物油) Animal oil (Lard oil)      
ラッカー Lacquer      
硫化亜鉛 Zine sulfate      
硫化カルシウム Calcium sulfide        
硫酸カルシウム(飽和) Calcium sulfate        
硫化水素 Hydrogen sulfide    
硫化バリウム Barium sulfate        
硫酸アルミニウム Alminum sulfate    
硫酸アンモニウム Ammonium sulfate    
硫酸カリウム Potassium sulfate    
硫酸第二鉄 Ferric sulfate      
硫酸銅 Copper sulfate      
硫酸ニッケル Nickel sulfate      
硫酸バリウム Barium sulfate      
硫酸マグネシウム Magnesium fulfate      
リン酸アンモニウム Ammonium phosphate      
※パッキンランド様HP掲載料データ、およびその他公表されているデータを参照して掲載しております。気を付けてはおりますが誤植のある可能性もございます。詳細のデータは別途お調べください。

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