自動滴下スピンコーター

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高性能仕様機種

自動滴下スピンコーター  

φ5~φ100 (Max.φ6インチ、□110mm)基板対応

特徴
高性能・高生産性かつ低価格のスピンコーター

自動スイングアーム付きスピンコーター

カップ外周排気

瞬間スピンコーティング 角基板の膜圧高精度対応

用途

液晶などのディスプレイ関連、CD/DVDなどの光ディスク関連、

半導体関連、ナノテク/バイオ関連、太陽電池関連、住宅機材関連、

最先端医療関連

         
 

仕様

基板サイズ φ5~φ100 (Max.φ6インチ、□110mm)基板対応
ワークの重量 お問い合わせください。
カップ(内径) お問い合わせください。
外形寸法 620w×560d×900h (ACT-300AⅡS)
電源 AC100V
回転範囲/回転数精度 Max.5000rpm
真空 Torr(mmHg) お問い合わせください。
お問い合わせください。
ステップ数&パターン数 お問い合わせください。
表示画面 お問い合わせください。
制御方法 お問い合わせください。
カップ材質 お問い合わせください。
カップコーティング お問い合わせください。
重量 お問い合わせください。
受注後納期 45日

価格表

本体価格 小型・低価格機種

お問い合わせください。

梱包・運賃費 国内一律 /車上渡し お問い合わせください。

オプション

試料台(チャック)
材質、耐薬データ

(納期 : 20日以内)

基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択:デルリン、テフロン、PEEK

アルミ (テフロンコーティング選択可) 

お問い合わせください。

真空ポンプ

(基板吸着用)

・真空ポンプ30S (排気量24L/minダイヤフラム式)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
お問い合わせください。

・小型真空ポンプ12S (排気量12L/minダイヤフラム式)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製

お問い合わせください。
安全カバーセンサー

・インターロックセンサー付き

(回転中カバー開で自動回転停止)

お問い合わせください。
カップ ・カップ内面テフロンコーティング お問い合わせください。
センターリング簡易治具

・基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製

(デルリン製)

お問い合わせください。

試料台/機能の詳細説明ページ

スピンコーター標準機一覧

スピンコーター
ACT-300DⅡ
スピンコーター ACT-300DⅡ
本体価格 : \680,000
Φ6インチウェハ対応
(Φ150/□110mm基板)
 
スピンコーター
ACT-300AⅡ
スピンコーター ACT-300AⅡ
本体価格 : \730,000
高性能仕様、Φ6インチ
(Φ150/□110mm基板)
スピンコーター
ACT-400AⅡ
スピンコーター ACT-400AⅡ
本体価格 : \1,500,000
高性能仕様 Φ8インチ
(Φ200/□140mm基板)
 
スピンコーター
ACT-450AⅡ
スピンコーター ACT-450AⅡ
本体価格 : \2,450,000
高性能仕様、Φ8インチ
(Φ280/□200mm基板)

セミカスタマイズ製品

スピンコーター ACT-500AⅡS
本体価格 : 要見積
納期 : 45日以内
 
スピンコーター
ACT-500AⅡS

Φ12インチ
(Φ300/□210mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転範囲/回転精度 :

10~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

詳細を見る
ACT-600AⅡS
本体価格 : 要見積
納期 : 50日以内
 
スピンコーター
ACT-600AⅡS

電送BOX分離式
Φ16インチ
(Φ400/□300mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転範囲/回転精度 :

10~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

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スピンコーター ACT-700AⅡS
本体価格 : 要見積
納期 : 60日以内
 
スピンコーター
ACT-700AⅡS

Φ20インチ
(Φ500/□360mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転範囲/回転精度 :

10~3000rpm/±5rpm以下(負荷に応じて要相談)

詳細を見る
 
スピンコーター特注機に関するご案内はこちらから

スピンコーターのカスタマイズ製品をお求めの方はこちらから。多種多様なニーズに応えるため、仕様選択が可能です。

 

スピン洗浄機・スピン乾燥機に関するご案内はこちらから

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