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会社情報
ACT-700AⅡ
自立型機種
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Φ20インチウェハ対応
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特徴 |
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| ・ | 高性能かつ低価格のスピンコーター |
| ・ | インターロックセンサー付き安全カバーが標準装備 |
| ・ | 多段式で10ステップ・100パターン プログラムメモリ搭載 |
| ・ | 非常停止ボタンを標準装備 |
| ・ | さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応 |
| ・ | 自動搬送ロボットにも対応可能（特注仕様） |
用途 |
| 液晶などのディスプレイ、CD/DVDなどの光ディスク、半導体、太陽電池、ナノテク/バイオ、住宅機材、最先端医療 関連 |
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仕様
| 基板サイズ | Φ5～Φ500 （Max.Φ20インチ、□360ｍｍ） 基板対応 |
| ワークの重量 | ワークの重量についてはご相談ください。 |
| カップ（内径） | Φ700 |
| 外形寸法 | 975w×1015d×580h |
| 電源 | 3相 200V－20A ※ACサーボモータの出力は基板サイズと重量により別途決定致します。 |
| 回転制御速度/回転精度 | 0～3000rpm/±5rpm以下 (負荷に応じて要相談） |
| 基板吸着圧力 | -70～-80KPa |
| 真空ポンプ排気量 40L/min以上必要 （装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続） | |
| ステップ数＆パターン数 | 10ステップ・100パターン （プログラムメモリ機能 標準） |
| 表示画面 | 液晶表示 (表示20文字4行) レシピ、回転数、時間、吸着圧力表示 |
| 制御方法 | マイコン制御 （テンキー入力でプログラム簡単） |
| 本体外装カバー・カップ材質 |
ステンレス製 ミガキ＃400標準 （オプションにてカップ＆インナーカップ内面テフロンコーティング可） |
| 安全対策 |
インターロックセンサー付き安全カバー（回転中カバー開で自動回転停止） 基板吸着圧力のインターロック機能付き（未吸着時は回転しない） |
| 重量 | 仕様内容による。別途お知らせ致します。 |
| 受注後の標準納期 | 約３ヶ月間（都度ご確認ください） |
価格表
| 本体価格 | 自立型機種 | 要御見積 |
| 梱包・運賃費 | 車上渡し | 別途御見積 |
オプション
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（納期 : 約20日間） |
基板サイズにより、打ち合わせ後製作 ※アルミはテフロンコーティング選択可 |
別途御見積 (¥100,000～) |
| 真空ポンプ （基板吸着用） |
・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ40S 接続口改造 ・排気速度(L/min)：40/46(50/60Hz) ・真空チューブ Φ6×3ｍ 透明ウレタン製 |
¥85,000 |
| ・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ30S 接続口改造 ・排気速度(L/min)：24/30(50/60Hz) ・真空チューブ Φ6×3ｍ 透明ウレタン製 |
¥73,000 | |
| 安全カバー電磁ロック |
レシピスタート～終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない |
¥120,000 |
| カップ | カップ＆インナーカップ内面テフロンコーティング | ¥150,000 |
| センターリング簡易治具 |
基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製（デルリン製） |
別途御見積 (¥80,000～) |
| スイングアーム ＆滴下ユニット |
・50mlディスポシリンジ加圧式 （滴下量時間制御） | 別途御見積 |
| ・1L加圧タンク方式 （滴下量時間制御） | ||
| 高回転仕様 |
ご相談ください。 |
別途御見積 |
| 特注仕様 | お客様の希望に合わせて安価に設計・製作いたします。 | 別途御見積 |
試料台/機能の詳細説明ページ
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