スピンコーターACT-700AⅡとは | スピンコート技術に特化｜製造メーカーの株式会社アクティブ

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基板サイズ	Φ5～Φ500 （Max.Φ20インチ、□360ｍｍ）基板対応
ワークの重量	ワークの重量についてはご相談ください。
カップ（内径）	Φ700
外形寸法	975w×1015d×580h
電源	3相　200V－20A ※ACサーボモータの出力は基板サイズと重量により別途決定致します。
回転制御速度/回転精度	0～3000rpm/±5rpm以下 (負荷に応じて要相談）
基板吸着圧力	-70～-80KPa
基板吸着圧力	真空ポンプ排気量　40L/min以上必要（装置側　外径Φ6チューブワンタッチ接続）
ステップ数＆パターン数	10ステップ・100パターン（プログラムメモリ機能　標準）
表示画面	液晶表示(表示20文字4行) レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法	マイコン制御（テンキー入力でプログラム簡単）
本体外装カバー・カップ材質	SUS304　電解研磨（オプションにてテフロンコーティング可）
安全対策	インターロックセンサー付き安全カバー（回転中カバー開で自動回転停止）基板吸着圧力のインターロック機能付き（未吸着時は回転しない）非常停止ボタン
重量	仕様内容による。別途お知らせ致します。
受注後の標準納期	約３ヶ月間（都度ご確認ください）

本体価格	自立型機種	要御見積
梱包・運賃費	車上渡し	別途御見積

試料台（チャック）材質・耐薬データ（納期 : 約20日間）	基板サイズにより、打ち合わせ後製作　材質選択：POM、ダイフロン、テフロン、ＰＥＥＫ、アルミ ※アルミはテフロンコーティング選択可	別途御見積 (¥100,000～)
真空ポンプ（基板吸着用）	・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ40S　接続口改造・排気速度(L/min)：40/46(50/60Hz) ・真空チューブ　Φ6×3ｍ　透明ウレタン製	¥85,000
真空ポンプ（基板吸着用）	・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ30S　接続口改造・排気速度(L/min)：24/30(50/60Hz) ・真空チューブ　Φ6×3ｍ　透明ウレタン製	¥73,000
安全カバー電磁ロック	レシピスタート～終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない	¥120,000
カップ	カップ＆インナーカップ内面テフロンコーティング	¥150,000
センターリング簡易治具	基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製（デルリン製）	別途御見積 (¥80,000～)