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Φ20インチウェハ対応
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特徴 |
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・ | 高性能かつ低価格のスピンコーター |
・ | インターロックセンサー付き安全カバーが標準装備 |
・ | 多段式で10ステップ・100パターン プログラムメモリ搭載 |
・ | 非常停止ボタンを標準装備 |
・ | さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応 |
・ | 自動搬送ロボットにも対応可能(特注仕様) |
用途 |
液晶などのディスプレイ、CD/DVDなどの光ディスク、半導体、太陽電池、ナノテク/バイオ、住宅機材、最先端医療 関連 |
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基板サイズ | Φ5~Φ500 (Max.Φ20インチ、□360mm) 基板対応 |
ワークの重量 | ワークの重量についてはご相談ください。 |
カップ(内径) | Φ700 |
外形寸法 | 975w×1015d×580h |
電源 | 3相 200V-20A ※ACサーボモータの出力は基板サイズと重量により別途決定致します。 |
回転制御速度/回転精度 | 0~3000rpm/±5rpm以下 (負荷に応じて要相談) |
基板吸着圧力 | -70~-80KPa |
真空ポンプ排気量 40L/min以上必要 (装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続) | |
ステップ数&パターン数 | 10ステップ・100パターン (プログラムメモリ機能 標準) |
表示画面 | 液晶表示(表示20文字4行) レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示 |
制御方法 | マイコン制御 (テンキー入力でプログラム簡単) |
本体外装カバー・カップ材質 |
SUS304 電解研磨(オプションにてテフロンコーティング可) |
安全対策 |
インターロックセンサー付き安全カバー(回転中カバー開で自動回転停止) 基板吸着圧力のインターロック機能付き(未吸着時は回転しない) 非常停止ボタン |
重量 | 仕様内容による。別途お知らせ致します。 |
受注後の標準納期 | 約3ヶ月間(都度ご確認ください) |
本体価格 | 自立型機種 | 要御見積 |
梱包・運賃費 | 車上渡し | 別途御見積 |
(納期 : 約20日間) |
基板サイズにより、打ち合わせ後製作 ※アルミはテフロンコーティング選択可 |
別途御見積 (¥100,000~) |
真空ポンプ (基板吸着用) |
・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ40S 接続口改造 ・排気速度(L/min):40/46(50/60Hz) ・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製 |
¥85,000 |
・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ30S 接続口改造 ・排気速度(L/min):24/30(50/60Hz) ・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製 |
¥73,000 | |
安全カバー電磁ロック |
レシピスタート~終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない |
¥120,000 |
カップ | カップ&インナーカップ内面テフロンコーティング | ¥150,000 |
センターリング簡易治具 |
基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製(デルリン製) |
別途御見積 (¥80,000~) |
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スピン制御技術を活用したスピン洗浄機、スピン乾燥機、スピンエッチング装置も各御要望に合わせた製品が納入可能です。