ACT-600AⅡS

高精度仕様機種(電装BOX分離式)

 

Φ16インチウェハ対応
(Φ400/□300mm基板)対応

特徴
高性能・高生産性かつ低価格のスピンコーター

安全カバーはオプションにて装備可能

多段式で10ステップ・100パターン プログラムメモリ搭載

さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応

用途

液晶などのディスプレイ関連、CD/DVDなどの光ディスク関連、

半導体関連、ナノテク/バイオ関連、太陽電池関連、住宅機材関連、

最先端医療関連

     

仕様

基板サイズ Φ10~Φ400 (Max.Φ16インチ、□300mm) 基板対応
ワークの重量 ワークの重量についてはご相談ください
カップ(内径) Φ600
外形寸法 本体:780w×743d×450h
電装:300w×600d×550h
電源 3相 200V-20A (モータ出力は基板サイズと重量により別途決定致します)
回転範囲/回転数精度 10~5000rpm/±1rpm以下 (負荷に応じて要相談)
真空 Torr(mmHg) 350Torr (mmHg)
排気量60L/min以上必要 (装置側Φ6接続口)
ステップ数&パターン数 10ステップ・100パターン (プログラムメモリ機能 標準)
表示画面 タッチパネル カラー6インチ、レシピ、回転数、時間の表示、シミュレーター
制御方法 シーケンサ制御
カップ材質 ステンレス製 ミガキ#400標準
カップコーティング オプション:テフロンコーティング (カップ&インナーカップ内面)
重量 仕様内容による。別途お知らせ致します。
受注後納期 50日以内

価格表

本体価格 高精度機種 要見積
梱包・運賃費 国内一律 /車上渡し 別途御見積

オプション

試料台(チャック)
材質、耐薬データ

(納期 : 20日以内)

基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択:デルリン、テフロン、PEEK、

アルミ (テフロンコーティング選択可) 




別途御見積

真空ポンプ

(基板吸着用)

・真空ポンプ60S接続口改造 (排気量60L/minダイヤフラム式)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
安全カバーセンサー

・インターロックセンサー付き

(回転中カバー開で自動回転停止)

安全カバー電磁ロック

・レシピスタート~終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない

カップ ・カップ内面テフロンコーティング
センターリング簡易治具

・基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製

(デルリン製)

特注仕様 お客様の希望に合わせて安価に設計・製作いたします。

試料台/機能の詳細説明ページ