ACT-500AⅡ

卓上型機種

スピンコーター ACT-500AⅡ  

Φ12インチウェハ対応
(Φ300/□220mm基板)対応

特徴
高性能かつ低価格のスピンコーター
インターロックセンサー付き安全カバーが標準装備
多段式で10ステップ・100パターン プログラムメモリ搭載
さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
自動搬送ロボットにも対応可能(特注仕様)
用途
液晶などのディスプレイ、CD/DVDなどの光ディスク、半導体、太陽電池、ナノテク/バイオ、住宅機材、最先端医療 関連
   

仕様

基板サイズ Φ5~Φ300 (Max.Φ12インチ、□220mm) 基板対応
ワークの重量 ワークの重量についてはご相談ください。
カップ(内径) Φ500
外形寸法 570w×675d×00h
電源 3相 200V-20A
※ACサーボモータの出力は基板サイズと重量により別途決定致します。
回転制御速度/回転精度 0~5000rpm/±1rpm以下 (負荷に応じて要相談)
基盤吸着圧力 -70~-80KPa
真空ポンプ排気量 40L/min以上必要  (装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
ステップ数&パターン数 10ステップ・100パターン (プログラムメモリ機能 標準)
表示画面 液晶表示 (表示20文字4行) レシピ、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法 マイコン制御 (テンキー入力でプログラム簡単)
本体外装カバー・カップ材質

ステンレス製 ミガキ#400標準

(オプションにてカップ&インナーカップ内面テフロンコーティング可)

安全対策

インターロックセンサー付き安全カバー(回転中カバー開で自動回転停止)

基板吸着圧力のインターロック機能付き(未吸着時は回転しない)

重量 仕様内容による。別途お知らせ致します。
受注後納期 3.5ヵ月以内(都度ご相談ください)

価格表

本体価格 卓上型機種 要御見積
梱包・運賃費 国内一律 /車上渡し 別途御見積

オプション

試料台(チャック)
材質・耐薬データ

(納期 : 20日以内)

基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択:デルリン、テフロン、PEEK、アルミ

※アルミはテフロンコーティング選択可

別途御見積
(¥40,000~)

真空ポンプ

(基板吸着用)

・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ40S 接続口改造
・排気速度(L/min):40/46(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥85,000
安全カバー電磁ロック

レシピスタート~終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない

¥120,000
カップ カップ&インナーカップ内面テフロンコーティング ¥80,000
センターリング簡易治具

基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製(デルリン製)

別途御見積
(¥80,000~)
滴下ユニット(1系統) ・50mlディスポシリンジ加圧式 (滴下量時間制御) 別途御見積
(¥500,000~)
・1L加圧タンク方式 (滴下量時間制御)
高回転・高精度仕様

スピン専用モータMax.8000rpm負荷時±5rpm以下、

3相200V450W

別途御見積
(¥800,000~)
特注仕様 お客様の希望に合わせて安価に設計・製作いたします。 別途御見積

スピンコーター標準機一覧

スピンコーター
ACT-220AⅡ
スピンコーター ACT-220AⅡ
本体価格 : \650,000
Φ4インチウェハ対応
(Φ100/□70mm基板)
 
スピンコーター
ACT-300AⅡ
スピンコーター ACT-300AⅡ
本体価格 : \730,000
高性能仕様、Φ6インチ
(Φ150/□110mm基板)
スピンコーター
ACT-400AⅡ
スピンコーター ACT-400AⅡ
本体価格 : \1,500,000
高性能仕様 Φ8インチ
(Φ200/□150mm基板)
 
スピンコーター
ACT-450AⅡ
スピンコーター ACT-450AⅡ
本体価格 : \2,450,000
高性能仕様、Φ10インチ
(Φ250/□180mm基板)
スピンコーター ACT-500AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-500AⅡ

Φ12インチ
(Φ300/□220mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

詳細を見る
ACT-600AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-600AⅡ

Φ16インチ
(Φ400/□300mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

詳細を見る
スピンコーター ACT-700AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-700AⅡ

Φ20インチ
(Φ500/□360mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~3000rpm/±5rpm以下(負荷に応じて要相談)

詳細を見る
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