ACT-450AⅡ

卓上型機種

 

スピンコーター ACT-450AⅡ  

Φ10インチウェハ対応
(Φ250/□180mm基板)対応

特徴
高性能かつ低価格のスピンコーター
インターロックセンサー付き安全カバーが標準装備
安全カバーには滴下用穴(スライドフタ付)があり回転中も滴下が可能
多段式で10ステップ・100パターン プログラムメモリ搭載
非常停止ボタンを標準装備
さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
自動搬送ロボットにも対応可能(特注仕様)
用途
液晶などのディスプレイ、CD/DVDなどの光ディスク、半導体、太陽電池、ナノテク/バイオ、住宅機材、最先端医療 関連
   

仕様

基板サイズ Φ5~Φ250 (Max.Φ10インチ、□180mm) 基板対応
ワークの重量 300g以下 (ご相談ください)
カップ(内径) Φ450
外形寸法 520w×625d×330h
電源 1Φ 100V-6A (ACサーボモータ400W) 50/60Hz
回転制御速度/回転精度 0~5000rpm/±1rpm以下 (負荷時)
※基板サイズ等の条件が合えば6000rpmも可能です。ご相談ください。
基板吸着圧力 -70~-80KPa
真空ポンプ排気量 40L/min以上必要 (装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
ステップ数&パターン数

10ステップ・100パターン (プログラムメモリ機能 標準)

50ステップ・20パターンに変更可能(ご注文時にご指定下さい)

表示画面 液晶表示(表示20文字4行)
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法 マイコン制御 (テンキー入力でプログラム簡単)
本体外装カバー・カップ材質

SUS304 電解研磨(オプションにてテフロンコーティング可)

安全対策

インターロックセンサー付き安全カバー(回転中カバー開で自動回転停止)

基板吸着圧力のインターロック機能付き(未吸着時は回転しない)

非常停止ボタン

重量 約40Kg
受注後の標準納期 約40日間(都度ご確認ください)

価格表

本体価格 卓上型機種 要御見積
梱包・運賃費 軒先渡し・車上渡し 別途御見積

オプション

試料台(チャック)
材質・耐薬データ

(納期 : 約20日間)

基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択:POM、ダイフロン、テフロン、PEEK、アルミ

※アルミはテフロンコーティング選択可

別途御見積
(¥40,000~)

真空ポンプ

(基板吸着用)

・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ30S 接続口改造
・排気速度(L/min):24/30(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥73,000
・小型ダイアフラム式ドライ真空ポンプ12S 接続口改造
・排気速度(L/min):12/14(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥40,000
安全カバー電磁ロック

レシピスタート~終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない

¥120,000
カップ カップ&インナーカップ内面テフロンコーティング ¥70,000
センターリング簡易治具

基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製(デルリン製)

別途御見積
(¥80,000~)

スピンコーター標準機一覧

スピンコーター
ACT-220AⅡ
スピンコーター ACT-220AⅡ
本体価格 : \650,000
Φ4インチウェハ対応
(Φ100/□70mm基板)
 
スピンコーター
ACT-300AⅡ
スピンコーター ACT-300AⅡ
本体価格 : \730,000
Φ6インチウェハ対応
(Φ150/□110mm基板)
スピンコーター
ACT-400AⅡ
スピンコーター ACT-400AⅡ
本体価格 : \1,500,000
Φ8インチウェハ対応
(Φ200/□150mm基板)
 
スピンコーター
ACT-450AⅡ
スピンコーター ACT-450AⅡ
本体価格 : 要見積
Φ10インチウェハ対応
(Φ250/□180mm基板)
スピンコーター ACT-500AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-500AⅡ

Φ12インチウェハ対応
(Φ300/□220mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

詳細を見る
ACT-600AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-600AⅡ

Φ16インチウェハ対応
(Φ400/□300mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

詳細を見る
スピンコーター ACT-700AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-700AⅡ

Φ20インチウェハ対応
(Φ500/□360mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~3000rpm/±5rpm以下(負荷に応じて要相談)

詳細を見る
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