ACT-400AⅡ

卓上型機種

スピンコーター ACT-400AⅡ  

Φ8インチウェハ対応
(Φ200/□150mm基板)対応

特徴
高性能かつ低価格のスピンコーター
インターロックセンサー付き安全カバーが標準装備
多段式で10ステップ・100パターン プログラムメモリ搭載
さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
自動搬送ロボットにも対応可能(特注仕様)
用途
液晶などのディスプレイ、CD/DVDなどの光ディスク、半導体、太陽電池、ナノテク/バイオ、住宅機材、最先端医療 関連
       

仕様

基板サイズ Φ5~Φ200 (Max.Φ8インチ、□150mm) 基板対応
ワークの重量 300g以下 (ご相談ください)
カップ(内径) Φ400(インナーカップΦ397
外形寸法 450w×550d×330h
電源 1Φ 100V-6A (ACサーボモータ400W) 50/60Hz
回転制御速度/回転精度 0~5000rpm/±1rpm以下 (負荷時)
※基板サイズ等の条件が合えば6000rpmも可能です。ご相談ください。
基盤吸着圧力 -70~-80KPa
真空ポンプ排気量 24L/min以上 (装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
ステップ数&パターン数

10ステップ・100パターン (プログラムメモリ機能 標準)

50ステップ・20パターンに変更可能(ご注文時にご指定下さい)

表示画面 液晶表示 (表示20文字4行) レシピ、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法 マイコン制御 (テンキー入力でプログラム簡単)
本体外装カバー・カップ材質

ステンレス製 ミガキ#400標準

(オプションにてカップ&インナーカップ内面テフロンコーティング可)

安全対策

インターロックセンサー付き安全カバー(回転中カバー開で自動回転停止)

基板吸着圧力のインターロック機能付き(未吸着時は回転しない)

重量 約38Kg
受注後納期 約45日間(都度ご相談下さい)

価格表

本体価格 卓上型機種 \1,500,000
梱包・運賃費 国内一律 /車上渡し \30,000

オプション

試料台(チャック)
材質・耐薬データ

(納期 : 20日以内)

基板サイズにより、打ち合わせ後製作 
材質選択:デルリン、テフロン、PEEK、アルミ 
※アルミはテフロンコーティング選択可 

別途御見積
(¥40,000~)

真空ポンプ

(基板吸着用)

・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ30S 接続口改造
・排気速度(L/min):24/30(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥73,000
・小型ダイアフラム式ドライ真空ポンプ12S 接続口改造
・排気速度(L/min):12/14(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥40,000
安全カバー電磁ロック

レシピスタート~終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない

¥120,000
カップ カップ&インナーカップ内面テフロンコーティング ¥60,000
センターリング簡易治具

基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製(デルリン製)

別途御見積
(¥60,000~)
滴下ユニット(1系統) ・50mlディスポシリンジ加圧式 (滴下量時間制御) 別途御見積
(¥480,000~)
・1L加圧タンク方式 (滴下量時間制御)
高回転・高精度仕様

スピン専用中空軸モータMax.8000rpm対応

(±5rpm以下、三相200V300W)

別途御見積
(¥800,000~)
特注仕様 お客様の希望に合わせて安価に設計・製作いたします。 別途御見積

スピンコーター標準機一覧

スピンコーター
ACT-220AⅡ
スピンコーター ACT-220AⅡ
本体価格 : \650,000
Φ4インチウェハ対応
(Φ100/□70mm基板)
 
スピンコーター
ACT-300AⅡ
スピンコーター ACT-300AⅡ
本体価格 : \730,000
高性能仕様、Φ6インチ
(Φ150/□110mm基板)
スピンコーター
ACT-400AⅡ
スピンコーター ACT-400AⅡ
本体価格 : \1,500,000
高性能仕様 Φ8インチ
(Φ200/□150mm基板)
 
スピンコーター
ACT-450AⅡ
スピンコーター ACT-450AⅡ
本体価格 : \2,450,000
高性能仕様、Φ10インチ
(Φ250/□180mm基板)
スピンコーター ACT-500AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-500AⅡ

Φ12インチ
(Φ300/□220mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

詳細を見る
ACT-600AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-600AⅡ

Φ16インチ
(Φ400/□300mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

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スピンコーター ACT-700AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-700AⅡ

Φ20インチ
(Φ500/□360mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~3000rpm/±5rpm以下(負荷に応じて要相談)

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