ACT-400AⅡ

高性能仕様機種

ACT-400AⅡスピンコーター  

Φ8インチウェハ対応
(Φ200/□140mm基板)対応

特徴
高性能・高生産性かつ低価格のスピンコーター

安全カバーが標準装備

多段式で10ステップ・100パターン プログラムメモリ搭載

さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応

用途

液晶などのディスプレイ関連、CD/DVDなどの光ディスク関連、

半導体関連、ナノテク/バイオ関連、太陽電池関連、住宅機材関連、

最先端医療関連

       
 

仕様

基板サイズ Φ10~Φ200 (Max.Φ8インチ、□140mm) 基板対応
ワークの重量 300g以下 (ご相談ください)
カップ(内径) Φ400
外形寸法 450w×550d×330h
電源 1Φ 100V-10A (ACサーボモータ400W) 50/60Hz
回転範囲/回転数精度 10~6000rpm/±1rpm以下 (負荷時)
真空 Torr(mmHg) 350Torr (mmHg)
排気量24L/min以上必要 (装置側Φ6接続口)
ステップ数&パターン数 10ステップ・100パターン (プログラムメモリ機能 標準)
表示画面 キャラクタ表示液晶モジュール (表示20文字4行) レシピ、回転数、時間の表示
制御方法 マイコン制御 (テンキー入力でプログラム簡単)
カップ材質 ステンレス製 ミガキ#400標準
カップコーティング オプション:テフロンコーティング (カップ&インナーカップ内面)
重量 約30Kg
受注後納期 30日以内 (都度ご相談下さい)

価格表

本体価格 高精度機種 \1,500,000
梱包・運賃費 国内一律 /車上渡し \30,000

オプション

試料台(チャック)
材質、耐薬データ

(納期 : 20日以内)

基板サイズにより、打ち合わせ後製作 
材質選択:デルリン、テフロン、PEEK、

アルミ (テフロンコーティング選択可) 

\40,000~

真空ポンプ

(基板吸着用)

・真空ポンプ30S (排気量24L/minダイヤフラム式)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥73,000
安全カバーセンサー

・インターロックセンサー付き

(回転中カバー開で自動回転停止)

¥20,000
安全カバー電磁ロック

・レシピスタート~終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない

¥100,000
カップ ・カップ内面テフロンコーティング ¥60,000
センターリング簡易治具

・基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製

(デルリン製)

¥30,000
滴下ユニット(1系統) ・50mlディスポシリンジ加圧式 (滴下量時間制御) ¥480,000
・1L加圧タンク方式 (滴下量時間制御) ¥480,000
高回転・高精度仕様

・スピン専用中空軸モータMax.8000rpm対応

(±5rpm以下、三相200V300W)

¥800,000
特注仕様 お客様の希望に合わせて安価に設計・製作いたします。 別途御見積

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