ACT-300DⅡ

低価格機種

ACT-300DⅡ
スピンコーター  

Φ6インチウェハ対応
(Φ150/□110mm基板)対応

特徴
高性能・高生産性かつ低価格のスピンコーター

安全カバーが標準装備

多段式で10ステップ・100パターン プログラムメモリ搭載

さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応

用途

液晶などのディスプレイ関連、CD/DVDなどの光ディスク関連、

半導体関連、ナノテク/バイオ関連、太陽電池関連、住宅機材関連、

最先端医療関連

       
 

仕様

基板サイズ Φ10~Φ150 (Max.Φ6インチ、□110mm) 基板対応
ワークの重量 300g以下 (ご相談ください)
カップ(内径) Φ300 (インナーカップΦ297)
外形寸法 350w×450d×290h (安全カバー付330h)
電源 1Φ 100V-10A (DCモータ80W) 50/60Hz
回転範囲/回転数精度 300~8000rpm/±3rpm以下 (負荷時)
真空 Torr(mmHg) 350Torr (mmHg)
排気量12L/min以上必要 (装置側Φ6接続口)
ステップ数&パターン数 10ステップ・100パターン (プログラムメモリ機能 標準)
表示画面 蛍光表示管 (表示20文字4行) レシピ、回転数、時間の表示
制御方法 マイコン制御 (テンキー入力でプログラム簡単)
カップ材質 ステンレス製 ミガキ#400標準
カップコーティング オプション:テフロンコーティング (カップ&インナーカップ内面)
重量 約23Kg
受注後納期 25日以内

価格表

本体価格 小型・低価格機種 \680,000
梱包・運賃費 国内一律 /車上渡し \20,000

オプション

試料台(チャック)
材質、耐薬データ

(納期 : 20日以内)

基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択:デルリン、テフロン、PEEK、

アルミ (テフロンコーティング選択可) 

\40,000~

真空ポンプ

(基板吸着用)

・真空ポンプ30S (排気量24L/minダイヤフラム式)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥73,000
・小型真空ポンプ12S (排気量12L/minダイヤフラム式)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥40,000
安全カバーセンサー

・インターロックセンサー付き

(回転中カバー開で自動回転停止)

¥20,000
安全カバー電磁ロック

・レシピスタート~終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない

¥100,000
カップ ・カップ内面テフロンコーティング ¥50,000
センターリング簡易治具

・基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製

(デルリン製)

¥30,000
滴下ユニット(1系統) ・50mlディスポシリンジ加圧式 (滴下量時間制御) ¥480,000
・1L加圧タンク方式 (滴下量時間制御) ¥480,000
特注仕様 お客様の希望に合わせて安価に設計・製作いたします。 別途御見積

試料台/機能の詳細説明ページ

スピンコーター標準機一覧

スピンコーター
ACT-300DⅡ
スピンコーター ACT-300DⅡ
本体価格 : \680,000
Φ6インチウェハ対応
(Φ150/□110mm基板)
 
スピンコーター
ACT-300AⅡ
スピンコーター ACT-300AⅡ
本体価格 : \730,000
高性能仕様、Φ6インチ
(Φ150/□110mm基板)
スピンコーター
ACT-400AⅡ
スピンコーター ACT-400AⅡ
本体価格 : \1,500,000
高性能仕様 Φ8インチ
(Φ200/□140mm基板)
 
スピンコーター
ACT-450AⅡ
スピンコーター ACT-450AⅡ
本体価格 : \2,450,000
高性能仕様、Φ8インチ
(Φ280/□200mm基板)

セミカスタマイズ製品

スピンコーター ACT-500AⅡS
本体価格 : 要見積
納期 : 45日以内
 
スピンコーター
ACT-500AⅡS

Φ12インチ
(Φ300/□210mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転範囲/回転精度 :

10~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

詳細を見る
ACT-600AⅡS
本体価格 : 要見積
納期 : 50日以内
 
スピンコーター
ACT-600AⅡS

電送BOX分離式
Φ16インチ
(Φ400/□300mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転範囲/回転精度 :

10~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

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スピンコーター ACT-700AⅡS
本体価格 : 要見積
納期 : 60日以内
 
スピンコーター
ACT-700AⅡS

Φ20インチ
(Φ500/□360mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転範囲/回転精度 :

10~3000rpm/±5rpm以下(負荷に応じて要相談)

詳細を見る
 
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